Translation of "Streifender einfall" in English
Erfindungsgemäß
wird
mittels
monochromatischem,
kohärentem
Licht,
welches
die
Wellenkämme
der
Oberfläche
quer
zu
ihrer
Längserstreckung
bei
großem
Einfallswinkel
-
annähernd
streifender
Einfall
-
trifft,
unter
Ausnutzung
der
Beugung
an
der
wellenförmigen
Oberflächenstruktur
als
Beugungsgitter
ein
Beugungsbild
erzeugt
und
die
Intensitätsverteilung
in
demselben
ausgewertet.
These
and
other
objects
and
advantages
are
achieved
by
the
detection
method
and
apparatus
according
to
the
invention,
by
providing
monochromatic,
coherent
light
which
strikes
the
wave
crests
on
the
surface
at
right
angles
to
their
length
at
a
large
angle
of
incidence—approximately
grazing
incidence.
By
exploiting
the
diffraction
by
the
waved
surface
structure
as
a
diffraction
grating,
a
diffraction
image
is
produced
and
the
intensity
distribution
therein
is
evaluated.
EuroPat v2
Ein
streifender
Einfall
liegt
dann
vor,
wenn
ein
Einfallswinkel
a
zwischen
einer
Einfalls-
bzw.
Ausfalls-Hauptrichtung
des
Beleuchtungslichts
3
und
einer
Normalen
N
auf
einen
mit
dem
Beleuchtungslicht
3
beaufschlagten
Reflexionsflächenabschnitt
des
jeweiligen
Spiegels
größer
ist
als
60°.
Grazing
incidence
is
present
if
an
angle
a
of
incidence
between
a
principal
direction
of
incidence
or
reflection
of
the
illumination
light
3
and
a
normal
N
to
a
reflection
surface
section
of
the
respective
mirror
on
which
the
illumination
light
3
impinges
is
greater
than
60°.
EuroPat v2
Die
Einfallswinkel
wurden
hierbei
von
0°,
d.
h.
senkrechter
Einfall
der
Strahlung,
bis
90°,
d.
h.
streifender
Einfall
der
Strahlung,
aufgetragen.
Here,
the
incident
angles
have
been
plotted
from
0°,
i.e.,
vertical
incidence,
to
90°,
i.e.,
grazing
incidence.
EuroPat v2
Bei
einer
bevorzugten
Detailgestaltung
ist
dabei
eine
den
Rohren
gegenüberliegende
Wand
des
Sammlers
gegenüber
einer
zu
den
Rohren
senkrechten
Richtung
geneigt,
wodurch
ein
streifender
Einfall
des
Gasstroms
auf
die
Wandung
und
ein
optimales
Vorantreiben
des
Kondensatfilms,
insbesondere
entgegen
einer
Schwerkraftwirkung,
in
Richtung
des
Auslasses
ermöglicht
ist.
In
a
preferred
detail
design,
a
wall
of
the
collector
box
opposite
the
tubes
is
inclined
in
a
direction
that
is
perpendicular
to
the
tubes,
which
enables
the
incident
gas
flow
to
be
incident
upon
the
wall
in
a
grazing
manner
and
to
optimally
drive
the
condensation
film
in
the
direction
of
the
outlet,
in
particular
against
an
effect
of
gravity.
EuroPat v2
Das
EUV-Strahlungsbündel
14
trifft
auf
das
Einzelspiegelarray
17
unter
einem
Einfallswinkel
auf,
der
größer
ist
als
70
°
(streifender
Einfall,
grazing
incidence)
und
größer
sein
kann
als
75
°,
und
trifft
auf
die
beiden
Facettenspiegel
20,
21
unter
einem
Einfallswinkel
auf,
der
kleiner
oder
gleich
25
°
ist.
The
EUV
radiation
beam
14
impinges
on
the
individual
mirror
array
17
at
an
angle
of
incidence
that
is
greater
than
70°
(grazing
incidence)
and
can
be
greater
than
75°,
and
impinges
on
the
two
facet
mirrors
20,
21
at
an
angle
of
incidence
that
is
less
than
or
equal
to
25°.
EuroPat v2
Die
Erfinder
sind
zu
folgenden
Erkenntnissen
gelangt:
Bei
Bearbeitungsverfahren,
bei
denen
die
Laserstrahlung
durch
Aufschmelzen,
Verdampfen,
Sublimieren
oder
Zersetzen
des
Materials
in
das
zu
bearbeitende
Material
eindringt,
also
zum
Beispiel
Bohren,
Abtragen,
Schneiden,
Schweißen,
trifft
die
Laserstrahlung
typischerweise
mit
einem
großen
Winkel
zwischen
dem
Normalenvektor
der
Wechselwirkungsoberfläche
und
der
lokalen
Ausbreitungsrichtung
der
Strahlung
auf
(streifender
Einfall).
The
following
conclusion
was
determined:
With
machining
methods,
where
the
laser
radiation
penetrates
the
material
to
be
machined
through
melting,
evaporating,
sublimating
or
disintegrating
the
material,
that
is,
for
example,
drilling,
removing,
cutting
or
welding,
the
laser
radiation
typically
strikes
at
a
large
angle
between
the
normal
vector
of
the
interface
and
the
local
direction
of
propagation
of
the
radiation
(grazing
incidence).
EuroPat v2
Die
gleichen
Banden
sind
bei
Reflexion
mit
streifendem
Einfall
deutlich
abgeschwächt.
The
same
peaks
are
significantly
weakened
on
reflection
with
grazing
incidence.
EuroPat v2
Analyse
von
strukturellen
Eigenschaften
mithilfe
von
Röntgenkleinwinkelstreuung
unter
streifendem
Einfall
(GISAXS)
Analysis
of
structural
properties
by
means
of
grazing-incidence
X-ray
scattering
(GISAXS)
ParaCrawl v7.1
Diese
werden
vorzugsweise
in
streifendem
Einfall
betrieben.
The
latter
are
preferably
operated
with
grazing
incidence.
EuroPat v2
Dabei
ist
u.a.
auch
der
Betrieb
von
Spiegeln
unter
streifendem
Einfall
bekannt.
Here,
inter
alia,
the
operation
of
mirrors
under
grazing
incidence
is
also
known.
EuroPat v2
Mindestens
einer
der
Umlenkspiegel
für
streifenden
Einfall
kann
als
konvexer
Zylinderspiegel
ausgeführt
sein.
At
least
one
of
the
deflection
mirrors
for
grazing
incidence
can
be
embodied
as
a
convex
cylindrical
mirror.
EuroPat v2
Mindestens
einer
der
Umlenkspiegel
für
streifenden
Einfall
kann
als
konkaver
Zylinderspiegel
ausgeführt
sein.
At
least
one
of
the
deflection
mirrors
for
grazing
incidence
can
be
embodied
as
a
concave
cylindrical
mirror.
EuroPat v2
Die
Zusammensetzung
der
Phasengradientenschicht
wurde
mittels
röntgenographischer
Dünnschichtanalyse
im
streifenden
Einfall
ermittelt.
The
composition
of
the
phase-gradient
layer
was
determined
by
means
of
X-ray
thin-layer
analysis,
with
grazing
incidence.
EuroPat v2
Dieser
Wert
würde
streifenden
Einfall
erfordern.
This
value
would
require
a
glancing
incidence.
EuroPat v2
In
einer
besonders
vorteilhaften
Weiterbildung
des
Verfahrens
wird
Strahlung
in
streifendem
Einfall
auf
das
Transportband
emittiert.
In
a
particularly
advantageous
refinement
of
the
method,
the
radiation
is
emitted
on
the
conveyor
belt
at
a
grazing
incidence.
EuroPat v2
Im
vorliegenden
Beispiel
ist
lediglich
der
Kollektorspiegel
13
als
Spiegel
für
streifenden
Einfall
ausgelegt.
In
the
present
example,
only
the
collector
mirror
13
is
designed
as
a
mirror
for
grazing
incidence.
EuroPat v2
Die
Spiegel
für
streifenden
Einfall
sind
für
einen
Einfallswinkel
größer
als
60°
gestaltet.
The
mirrors
for
grazing
incidence
are
designed
for
an
angle
of
incidence
of
greater
than
60°.
EuroPat v2
Röntgenkleinwinkelstreuung
unter
streifendem
Einfall
(GISAXS)
wird
zur
Auswertung
von
Nanopartikeln
und
Porosität
verwendet.
Grazing-incidence
Small
Angle
Scattering
(GISAXS)
is
used
for
evaluation
of
nanoparticles
and
porosity.
ParaCrawl v7.1
Beim
streifenden
Einfall
verteilt
sich
die
Energie
des
Strahls
nämlich
auf
eine
großere
Fläche,
so
daß
der
Strahl
dort
auf
die
Stirnfläche
des
Bleches
erheblich
mehr
Energie
an
das
Blech
abgeben
und
insbesondere
in
den
Berührungsbereichen
tritt
dabei
ein
Wärmestau
auf,
der
ein
Schmelzen
des
Werkstückmaterials
und
die
gewünschte
Schweißverbindung
an
den
Berührungsbereichen
16
bewirkt.
With
the
described
scanning
incidence
the
energy
of
the
beam
is
in
fact
distributed
over
the
larger
panel
surfaces,
so
that
the
beam
will
deliver
considerably
more
energy
to
the
panels
in
the
contact
areas
16
where
a
localization
of
heat
is
produced,
causing
a
melting
of
the
sheet
metal
and
the
desired
welded
connection
at
the
contact
areas
16.
EuroPat v2
Plangitter-Monochromator
nach
Anspruch
1,
da-durch
gekennzeichnet,
daß
das
Beugungsgitter
mit
streifendem
Einfall
der
zu
zerlegenden
Strahlung
arbeitet.
A
plane-grating
monochromator
as
defined
by
claim
1,
characterized
in
that
the
diffraction
grating
operates
with
a
grazing
incidence
on
the
part
of
the
radiation
to
be
decomposed.
EuroPat v2
Der
Einfallswinkel
kann
dabei
von
sehr
kleinen
Werten
(entsprechend
einem
streifenden
Einfall)
bis
in
die
Nähe
von
90°
geändert
werden.
The
angle
of
incidence
can
be
varied,
from
very
low
values
(representing
grazing
incidence)
up
to
the
vicinity
of
90°.
EuroPat v2
Grundsätzlich
gilt
für
diese
bekannte
Vorrichtung
als
auch
allgemein,
daß
bei
streifendem
Einfall
von
Röntgenstrahlung
auf
plane
Oberflächen
die
primäre
Röntgenstrahlung
nur
eine
nur
geringe
vertikale
Eindringtiefe
in
den
Körper
unterhalb
der
Oberfläche
aufweist.
Basically,
applicable
for
this
known
apparatus
as
well
as
in
general,
upon
glancing
incidence
of
X-ray
beams
onto
a
planar
surface,
the
primary
X-ray
beam
penetrates
only
slightly
vertically
into
the
body
below
the
surface.
EuroPat v2
Dieser
an
sich
bekannte
Effekt
macht
Anordnungen
zur
Messung
der
charakteristischen
Fluoreszenzstrahlung
(Sekundärstrahlung)
bei
streifendem
Einfall
der
Primärstrahlung
grundsätzlich
zu
einem
potentiell
geeigneten
Instrument
zur
Elementbestimmung
in
oberflächennahen
Schichten.
This
known
effect
makes
arrangements
for
measuring
the
characteristic
fluorescent
radiation
(secondary
radiation
or
beam)
upon
glancing
incidence
of
the
primary
radiation
principally
into
a
potentially
suitable
instrument
for
determining
elements
in
layers
close
to
the
surface.
EuroPat v2
Der
flach
streifende
Einfall
hat
den
Vorteil
einer
bis
zu
50fach
höheren
elektrischen
Feldstärke
an
der
Oberfläche
im
Vergleich
zum
senkrechten
Einfall,
jedoch
natürlich
den
Nachteil
der
mit
dem
Einfallswinkel
abnehmenden
Flächenintensität.
The
grazing
incidence
has
the
advantage
of
an
up
to
50
times
higher
electric
field
strength
at
the
surface
in
comparison
with
a
perpendicular
incidence,
but,
of
course,
it
has
the
disadvantage
that
the
surface
intensity
decreases
according
as
the
angle
of
incidence
becomes
smaller.
EuroPat v2
So
sind
beispielsweise
Röntgenmikroskope
beschrieben
worden,
in
denen
Spiegeloptik
für
die
Abbildung
des
Objekts
auf
den
Detektor
benutzt
wird
zum
Beispiel
eine
Wolter-Optik,
die
das
Objekt
unter
streifendem
Einfall
der
Röntgenstrahlung
abbildet.
X-ray
microscopes
are
described,
for
example,
wherein
mirror
optics
are
used
for
imaging
the
specimen
on
the
detector
such
as
a
Wolter
optic
which
images
the
specimen
with
a
grazing
incidence
of
the
X-radiation.
EuroPat v2
Diese
Bildfehler
-
bei
Spiegeloptiken,
die
unter
streifendem
Einfall
arbeiten,
ist
das
beispielsweise
der
sogenannte
Winkeltangentenfehler
-
begrenzen
die
von
der
Apertur
der
Optik
vorgegebene,
prinzipiell
mögliche
Auflösung,
die
sich
mit
dem
Mikroskop
erzielen
läßt.
In
mirror
optics
operating
with
grazing
incidence,
the
image
error
associated
therewith
is
the
so-called
angle-tangent
error.
These
image
errors
limit
in
principle
the
possible
resolution
which
can
be
obtained
with
the
microscope
and
is
pregiven
by
the
aperture
of
the
optics.
EuroPat v2
Beispielsweise
kann
der
Spiegelkondensor
ein
Segment
eines
Ellipsoids
sein,
das
die
Röntgenstrahlung
unter
streifendem
Einfall
auf
das
Objekt
fokussiert.
For
example,
the
reflecting
condenser
can
be
a
segment
of
an
ellipsoid
which
focusses
the
X-radiation
with
a
grazing
incidence
on
the
specimen.
EuroPat v2
Der
Spiegelkondensor
(3)
hat
die
Form
eines
Rotationsellipsoides
und
reflektiert
die
auf
seine
Spiegelflächen
auffallende
Röntgenstrahlung
unter
streifendem
Einfall.
The
reflecting
condenser
3
has
the
form
of
a
rotational
ellipsoid
and
reflects
the
X-radiation
incident
on
its
mirror
surfaces
at
a
grazing
incidence.
EuroPat v2
Beim
streifenden
Einfall
verteilt
sich
die
Energie
des
Strahls
nämlich
auf
eine
größere
Fläche,
so
daß
das
Blech
dort
auf
die
Stirnfläche
des
Bleches
erheblich
mehr
Energie
an
das
Blech
abgeben
und
insbesondere
in
den
Berührungsbereichen
tritt
dabei
ein
Wärmestau
auf,
der
ein
Schmelzen
des
Werkstückmaterials
und
die
gewünschte
Schweißverbindung
an
den
Berührungsbereichen
16
bewirkt.
With
the
described
scanning
incidence
the
energy
of
the
beam
is
in
fact
distributed
over
the
larger
panel
surfaces,
so
that
the
beam
will
deliver
considerably
more
energy
to
the
panels
in
the
contact
areas
16
where
a
localization
of
heat
is
produced,
causing
a
melting
of
the
sheet
metal
and
the
desired
welded
connection
at
the
contact
areas
16.
EuroPat v2
Der
Planspiegel
2
steht
unter
streifendem
Einfall
mit
wenigen
Grad
Einfallswinkel,
so
daß
Totalreflexion
auftritt
(Materie
hat
für
weiche
Röntgenstrahlung
einen
Brechungsindex,
der
kleiner
als
eins
ist)
und
eine
hohe
Reflektivität
erzielt
wird.
The
plane
mirror
2
is
at
grazing
incidence
with
a
few
degrees
of
incidence
angle,
with
the
result
that
total
reflection
occurs
(for
soft
X-ray
radiation,
the
material
has
a
refraction
index
which
is
smaller
than
one)
and
a
high
reflectivity
is
achieved.
EuroPat v2