Translation of "Y-richtung" in English
Die
Tischposition
in
X-
und
Y-Richtung
wird
mit
Hilfe
des
Interferometersystems
festgestellt.
The
table
position
in
X
and
Y
is
recorded
using
the
interferometer
system.
EuroPat v2
Der
auftreffende
Lichtstrahl
10
wird
dadurch
schrittweise
in
der
y-Richtung
abgelenkt.
The
impinging
light
beam
10
will
be
deflected
in
y-direction
in
a
step
by
step
operation.
EuroPat v2
Dieses
kann
erreicht
werden
durch
geringfügiges
Verschieben
der
Zwischenplatte
in
x-
und
y-Richtung.
This
may
be
achieved
by
a
slight
sliding
relocation
of
the
intermediate
plate
in
the
x-
and
y-directions.
EuroPat v2
Linear
beweglich
in
y-Richtung
ist
beidseitig
je
ein
Reinigungsorganträger
123
vorgesehen.
A
cleaning
element
carrier
123
is
provided
on
either
side
which
is
linearly
movable
in
y-direction.
EuroPat v2
Diese
Signale
bestimmen
auch
das
Verhältnis
des
Vorschubs
in
X-
bzw.
Y-Richtung.
These
signals
also
determine
the
relationship
of
the
feed
in
the
X-,
respectively
the
Y-direction.
EuroPat v2
Eine
entsprechende
Größe
wird
für
die
y-Richtung
benötigt.
A
corresponding
value
is
needed
for
the
y
direction.
EuroPat v2
In
FIG
1
liegen
diese
z.B.
in
x?-
und
in
y?-Richtung.
In
FIG.
1,
these
are
in
the
x'
and
y'
direction,
for
example.
EuroPat v2
Der
Antriebsmotor
My
und
der
Positionsgeber
Py
für
die
y-Richtung
ist
in
Fig.
The
drive
motor
My
and
the
position
detector
Py
for
the
y
direction
are
not
shown
in
FIG.
EuroPat v2
Ein
paralleler
Spalt
von
genügender
Höhe
integriert
in
y-Richtung.
A
parallel
gap
of
sufficient
height
integrates
in
y-direction.
EuroPat v2
Um
diese
zu
verkleinern,
wird
nun
die
Fräseinheit
beidseitig
in
Y-Richtung
verfahren.
In
order
to
reduce
it,
the
milling
unit
is
now
moved
on
both
sides
in
Y
direction.
EuroPat v2
Es
weist
jeweils
512
Pixel
in
x-
und
y-Richtung
auf.
It
has
512
pixels
in
both
the
x
and
y
directions.
EuroPat v2
Im
Ausführungsbeispiel
ist
das
für
die
y-Richtung
vorgesehen
worden.
This
has
been
provided
for
the
y-direction
in
the
sample
embodiment.
EuroPat v2
Senkrecht
zur
z-Richtung
verlaufen
die
x-Richtung
und
die
y-Richtung.
The
x-direction
and
y-direction
proceed
perpendicular
to
the
z-direction.
EuroPat v2
Bei
der
beschriebenen
Ausführungsform
verlaufen
die
X-
und
die
Y-Richtung
rechtwinklig
zueinander.
In
the
embodiment
described
herein,
the
X
and
Y
directions
extend
at
right
angles
to
one
another.
EuroPat v2
Auf
der
Plattform
64
ist
ein
Transportschieber
65
in
y-Richtung
verschiebbar
angeordnet.
A
conveying
slider
65,
displaceable
in
the
y-direction,
is
disposed
on
the
platform
64.
EuroPat v2
Die
Seite
ist
0200H
in
Y-Richtung
groß.
The
page
is
0200H
big
in
Y-direction.01
EuroPat v2
In
diesem
Fall
ist
der
Kontaktpunkt
P
in
y-Richtung
nach
innen
verschoben.
In
that
case,
the
contact
point
P
is
displaced
inward
in
the
y-direction.
EuroPat v2
Ersichtlich
bilden
diese
vier
weiteren
Elemente
insgesamt
eine
Referenz
in
x-und
in
y-Richtung.
It
is
apparent
that
these
other
four
elements
together
form
a
reference
in
the
x-
and
y-directions.
EuroPat v2
Er
müßte
erst
wieder
in
Y-Richtung
in
die
erste
Position
zurückbewegt
werden.
It
would
first
have
to
be
moved
back
in
the
Y-direction
into
the
first
position.
EuroPat v2
Die
Drehachse
des
Zylinders
ist
hierbei
in
y-Richtung
orientiert.
In
this
case
the
axis
of
rotation
of
the
cylinder
is
oriented
in
the
y-direction.
EuroPat v2
Die
Bestimmung
der
anisotropen
Skalierungsfaktoren
ist
nicht
auf
die
x-
und
y-Richtung
festgelegt.
The
determination
of
anisotropic
scaling
factors
is
not
fixed
onto
the
x
and
y
direction.
EuroPat v2
Demgegenüber
ist
die
Ausdehnung
der
Lichtquelle
1
in
y-Richtung
etwa
ein
Mikrometer.
In
contrast
in
y-direction
the
light
source
1
has
an
extension
of
approximately
1
?m.
EuroPat v2
In
y-Richtung
besteht
ebenfalls
ein
Versatz
Vy
von
etwa
9
Mikrometern.
In
the
y
direction,
there
is
likewise
an
offset
Vy
of
approximately
9
micrometers.
EuroPat v2
Dadurch
bleibt
eine
Restverzeichnung
in
y-Richtung
erhalten.
Accordingly,
a
residual
distortion
remains
in
the
y-direction.
EuroPat v2
Durch
diese
Anordnung
wird
ein
Totweg
an
den
Führungen
in
Y-Richtung
vermieden.
This
arrangement
prevents
an
idle
path
at
the
guides
in
the
Y-direction.
EuroPat v2