Translation of "Exposure bias" in German
When
exposed
to
DUV,
for
example
at
a
wavelength
of
248
nm,
photoresists
with
these
types
of
base
polymers,
which
as
photoactive
constituents
contain
diazo
naphthoquinone
derivatives
or
diazoketone
derivatives,
require
a
dose
of
about
70
to
80
mJ/cm2
for
a
zero
bias
exposure.
Photoresists
mit
derartigen
Basispolymeren,
die
als
photoaktive
Komponente
Diazonaphthochinon-
oder
Diazoketonderivate
aufweisen,
benötigen
bei
DUV-Belichtung,
beispielsweise
bei
einer
Wellenlänge
von
248
nm,
für
eine
maßhaltige
Belichtung
eine
Dosis
von
etwa
70
bis
80
mJ/cm².
EuroPat v2
Photoresists
with
such
base
polymers,
which
have
diazonaphthoquinone
or
diazoketone
derivatives
as
the
photoactive
components,
*
require
a
dose
of
about
70
to
80
mJ/cm2
for
a
zero
bias
exposure.
Photoresists
mit
derartigen
Basispolymeren,
die
als
photoaktive
Komponente
Diazonaphthochinon-
oder
Diazoketonderivate
aufweisen,
benötigen
bei
DUV-Belichtung,
beispielsweise
bei
einer
Wellenlänge
von
248
nm,
für
eine
maßhaltige
Belichtung
eine
Dosis
von
etwa
70
bis
80
mJ/cm².
EuroPat v2