Translation of "Dimension measurement" in German
The
two
conditions
are
a
necessary
prerequisite
for
a
highly
accurate
optical
critical
dimension
measurement.
Beide
Bedingungen
sind
eine
notwendige
Voraussetzung
für
eine
optische
Strukturbreiten-Messung
mit
hoher
Genauigkeit.
EuroPat v2
All
energy
on
Earth
has
dimension,
measurement,
and
scale.
Alle
Energie
auf
der
Erde
hat
eine
Dimension,
Maß
und
Skala.
ParaCrawl v7.1
By
contrast
with
the
SDOCT
156,
the
TDOCT
155
measures
only
in
one
dimension
in
the
measurement
object.
Das
TDOCT
155
misst
im
Gegensatz
zum
SDOCT
156
im
Messgegenstand
nur
in
einer
Dimension.
EuroPat v2
The
distance
by
which
the
planes
of
incidence
are
off-set
from
one
other
should
preferably
be
at
least
20%,
particularly
preferably
30%
and
optimally
at
least
40%
of
the
greatest
dimension
of
the
measurement
surface.
Bevorzugt
sollte
der
Abstand,
um
den
die
Einfallsebenen
zueinander
versetzt
sind
mindestens
20
%,
besonders
bevorzugt
30
%
und
optimal
mindestens
40
%
der
größten
Dimension
der
Meßfläche
betragen.
EuroPat v2
Within
the
scope
of
the
workshop
“Surface
defects
and
their
detection
on
rolled
stock
for
semi-finished
products
and
profiles
in
the
hot
and
cold
state”,
our
online
dimension
measurement
comes
to
the
fore.
Im
Rahmen
des
Workshops
„Oberflächenfehler
und
deren
Detektion
an
Walzgut
für
Halbzeuge
und
Profile
im
heißen
und
kalten
Zustand“,
rückt
unsere
Online
Dimensionsvermessung
in
den
Vordergrund.
ParaCrawl v7.1
One
advantageous
development
of
the
disclosure
proposes
that
the
computation
unit
is
intended
to
activate
the
sensor
elements
in
succession
along
at
least
one
dimension
for
a
measurement,
thus
making
it
possible
to
advantageously
achieve
a
high
spatial
resolution
during
measuring
operation
of
the
position-finding
apparatus.
In
einer
vorteilhaften
Weiterbildung
der
Erfindung
wird
vorgeschlagen,
dass
die
Recheneinheit
dazu
vorgesehen
ist,
die
Sensorelemente
entlang
zumindest
einer
Dimension
nacheinander
für
eine
Messung
zu
aktivieren,
wodurch
eine
hohe
Ortsauflösung
während
eines
Messbetriebs
der
Ortungsvorrichtung
vorteilhaft
erreicht
werden
kann.
EuroPat v2
Moreover,
simple
mounts
for
additional
sensors
at
the
input
and
output
of
the
scale
should
be
developed
so
as
to
enable
at
least
one
dimension
measurement
to
be
made.
Außerdem
sollen
einfache
Halterungen
für
zusätzliche
Sensoren
am
Ein-
und
Ausgang
der
Waage
entwickelt
werden,
die
mindestens
eine
Dimensionsmessung
ermöglichen.
EuroPat v2
According
to
the
preferred
first
embodiment
variant,
the
dimension
measurement
of
the
width
and
thickness
takes
place
with
the
one
module
(FIG.
10)
and
an
additional
module
having
a
width
sensor
LSB*
(FIG.
4B)
and
entirely
within
the
dynamic
scale,
in
contrast
to
the
aforementioned
arrangement
for
determining
the
length
of
a
flat
good,
which
is
arranged
only
partially
within
the
dynamic
scale.
Die
Dimensionsmessung
der
Breite
und
Dicke
erfolgt
nach
der
bevorzugten
ersten
Ausführungsvariante
mit
der
einer
Baugruppe
(Fig.
10)
und
einer
weiteren
Baugruppe
mit
einem
Breitensensor
LSB*
(Fig.4b)
und
vollständig
innerhalb
der
dynamischen
Waage
im
Unterschied
zu
dem
oben
genannten
Mittel
zur
Bestimmung
der
Länge
eines
flachen
Guts,
welches
nur
teilweise
innerhalb
der
dynamischen
Waage
angeordnet
ist.
EuroPat v2
In
a
method
for
checking
the
reliability
of
nominal
position
findings
on
the
basis
of
propagation
time
measurements
in
which
inertial
systems
are
employed
to
increase
measurement
redundancy
of
measured
values
available
for
error
identification,
the
improvement
comprising
the
step
of
employing
said
inertial
systems
to
increase
dimension
of
a
measurement
matrix
of
a
nominal
system
based
on
the
propagation
time
measurements.
Verfahren
zur
Überprüfung
der
Zuverlässigkeit
von
nominellen
Positionsbestimmungen
aufgrund
von
Laufzeitmessungen,
wobei
die
Meßredundanz
der
zur
Fehlererkennung
zur
Verfügung
stehenden
Meßwerte
mit
Hilfe
inertialer
Systeme
erhöht
wird,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Dimension
der
Meßmatrix
(G)
des
nominellen
Systems
auf
Grundlage
der
Laufzeitmessungen
mit
Hilfe
inertialer
Systeme
erhöht
wird.
EuroPat v2
The
invention
is
based
on
the
consideration
that
a
reliable
critical
dimension
measurement
is
possible
only
if
a
homogeneous
field
illumination
on
the
specimen
being
examined,
and
an
at
least
rotationally
symmetrical
intensity
distribution
in
the
condenser
pupil,
are
present.
Der
Erfindung
liegt
die
Überlegung
zugrunde,
dass
eine
zuverlässige
Strukturbreiten-Messung
nur
möglich
ist,
wenn
eine
gleichmäßige
Feldausleuchtung
auf
dem
zu
untersuchenden
Objekt
und
eine
zumindest
rotationssymmetrische
Intensitätsverteilung
in
der
Pupille
des
Kondensors
vorliegen.
EuroPat v2
Since
the
particular
edge
of
a
feature
to
be
measured
for
the
critical
dimension
measurement
is
positioned
in
the
measurement
field,
the
rotationally
symmetrical
intensity
distribution
in
the
condenser
pupil
ensures
that
measurement
can
occur
under
the
same
intensity
and
illumination
conditions
for
both
falling
and
rising
edges,
i.e.
for
example
the
left
and
right
edges
of
a
feature.
Da
für
die
Strukturbreiten-Messung
die
jeweils
zu
vermessende
Kante
einer
Struktur
im
Messfeld
positioniert
wird,
wird
durch
die
rotationssymmetrische
Intensitätsverteilung
in
der
Pupille
des
Kondensors
sichergestellt,
dass
sowohl
bei
fallenden
als
auch
ansteigenden
Kanten,
also
beispielsweise
der
linken
und
der
rechten
Kante
einer
Struktur,
mit
denselben
Intensitäts-
und
Beleuchtungsverhältnissen
gemessen
werden
kann.
EuroPat v2
On
the
other
hand,
measurement
into
a
third
dimension,
namely
the
measurement
of
a
spatial
depth,
as
a
rule
causes
greater
problems.
Die
Ausmessung
in
einer
dritten
Dimension,
nämlich
die
Messung
einer
räumlichen
Tiefe
bereitet
hingegen
im
Regelfall
größere
Probleme.
EuroPat v2
A
dimension
measurement
of
all
three
dimensions
(length,
width
and
thickness)
during
the
transport
and
a
processing
of
the
flat
goods
is
also
advantageously
possible.
Vorteilhaft
ist
eine
Dimensionsmessung
aller
drei
Dimensionen
(Länge,
Breite
und
Dicke)
auch
während
des
Transports
und
einer
Verarbeitung
der
flachen
Güter
möglich.
EuroPat v2
Within
the
scope
of
the
workshop
"Surface
defects
and
their
detection
on
rolled
stock
for
semi-finished
products
and
profiles
in
the
hot
and
cold
state",
our
online
dimension
measurement
comes
to
the
fore.
Im
Rahmen
des
Workshops
„Oberflächenfehler
und
deren
Detektion
an
Walzgut
für
Halbzeuge
und
Profile
im
heißen
und
kalten
Zustand“,
rückt
unsere
Online
Dimensionsvermessung
in
den
Vordergrund.
ParaCrawl v7.1
This
model
of
smart
card
height
and
width
measuring
equipment
will
take
little
space
and
become
a
good
assistant
for
dimension
measurement
process.
Dieses
Modell
der
Smart
Card
Höhen-
und
Breitenmessgeräte
wird
wenig
Platz
und
wird
ein
guter
Assistent
für
Dimensionsmessung.
ParaCrawl v7.1