Translation of "Sputter" in German
These
bases
can
additionally
be
cleaned
by
glow
discharge
or
sputter-etching.
Diese
Trägermaterialien
können
zusätzlich
durch
Glimmen
oder
Sputterätzen
gereinigt
werden.
EuroPat v2
Purification
of
the
surfaces
by
sputter
etching
has
proved
particularly
favourable.
Als
besonders
günstig
hat
sich
eine
Reinigung
der
Oberflächen
durch
Sputterätzen
erwiesen.
EuroPat v2
Besides
plasma
etching,
sputter
etching
can
also
be
used
in
the
method
according
to
the
invention.
Außer
dem
Plasmaätzen
kann
auch
beim
erfindungsgemäßen
Verfahren
das
Sputterätzen
verwendet
werden.
EuroPat v2
The
application
of
the
Cr
adhesive
layer
is
started
in
that
the
Cr
magnetron
sputter
targets
are
activated.
Mit
der
Aufbringung
der
Cr-Haftschicht
wird
begonnen,
indem
die
Cr-Magnetron-Sputtertargets
aktiviert
werden.
EuroPat v2
The
deposition
of
the
chromium
adhesion
layer
is
commenced
by
activating
the
chromium-magnetron
sputter
targets.
Mit
der
Aufbringung
der
Cr-Haftschicht
wird
begonnen,
indem
die
Cr-Magnetron-Sputtertargets
aktiviert
werden.
EuroPat v2
In
particular
no
direct
cooling
is
necessary
any
more
for
the
sputter
source.
Insbesondere
ist
für
die
Sputterquelle
keine
direkte
Kühlung
mehr
nötig.
EuroPat v2
In
the
case
of
a
magnetron
sputter
source,
sufficient
cooling
of
the
magnets
has
to
be
ensured.
Im
Falle
einer
Magnetronsputterquelle
ist
für
eine
ausreichende
Kühlung
der
Magnete
zu
sorgen.
EuroPat v2
Thereupon
the
two
chambers
are
evacuated
and
the
magnetron
sputter
source
is
operated
solely
as
a
heater.
Daraufhin
werden
die
beiden
Kammern
evakuiert
und
die
Magnetronsputterquelle
ausschließlich
als
Heizer
betrieben.
EuroPat v2
Once
the
coating
temperature
for
the
component
has
been
reached,
the
sputter
source
is
operated
as
a
coating
source.
Nach
Erreichen
der
Beschichtungstemperatur
für
das
Bauteil
wird
die
Sputterquelle
als
Beschichtungsquelle
betrieben.
EuroPat v2