Translation of "Sputter coating" in German
Through
the
invention
the
high
plasma
density
and
the
sputter
coating
are
combined.
Durch
die
Erfindung
werden
die
hohe
Plasmadichte
und
die
Sputterbeschichtung
miteinander
kombiniert.
EuroPat v2
The
present
invention
arises
from
requirements
encountered
during
magnetron
sputter
coating
of
substrates.
Die
vorliegende
Erfindung
geht
aus
von
Bedürfnissen,
welche
sich
beim
Magnetronsputterbeschichten
von
Substraten
ergeben
haben.
EuroPat v2
The
disadvantage
of
the
known
arrangement
resides
therein
that
with
it
indeed
a
highly
activated
and
high
ionized
plasma
can
be
generated,
however,
that
it
is
not
possible
to
carry
out
a
sputter
coating.
Der
Nachteil
der
bekannten
Vorrichtung
besteht
darin,
daß
mit
ihr
zwar
ein
hochaktiviertes
und
hochionisiertes
Plasma
erzeugt
werden
kann,
daß
es
jedoch
nicht
möglich
ist,
eine
Sputterbeschichtung
durchzuführen.
EuroPat v2
The
sputter
coating
system
according
to
the
invention
with
at
least
three
long
target
arrangements
is
preferably
operated
in
such
a
way
that
the
two
outer
target
arrangements
are
operated
with
5
to
35%
more
sputtering
power,
preferably
with
10
to
20%
more
sputtering
power
than
the
inner
target
arrangements.
Die
erfindungsgemässe
Sputterbeschichtungsanlage
mit
mindestens
drei
Langtarget-Anordnungen
wird
bevorzugterweise
so
betrieben,
dass
die
seitlich
aussenliegenden
Targetanordnungen
mit
5
bis
35
%
mehr
Sputterleistung
betrieben
werden,
vorzugsweise
mit
10
bis
20
%,
als
die
innenliegenden
Targetanordnungen.
EuroPat v2
The
present
invention
under
all
its
aspects
is
in
particular
suited
to
sputter
coating
substrates,
in
particular
large-surface
and
preferably
plane
substrates
by
means
of
a
reactive
process,
preferably
with
an
ITO
film
(Indium
Tin
Oxide).
Die
vorliegende
Erfindung
unter
all
ihren
Aspekten
eignet
sich
insbesondere
für
das
Sputterbeschichten
von
Substraten,
insbesondere
von
grossflächigen
und
dabei
vorzugsweise
planen
Substraten
durch
einen
reaktiven
Prozess,
vorzugsweise
ab
metallischen
Targets,
vorzugsweise
mit
einer
ITO-Schicht
(Indium-Zinn-Oxid).
EuroPat v2
For
better
contacting,
gold
(40
nm)
having
an
area
of
0.8
mm×1
mm
is
furthermore
deposited
overlapping
part
of
the
ITO
areas
by
means
of
sputter
coating
via
a
mask.
Zur
besseren
Kontaktierung
wird
weiter
über
eine
Maske
Gold
(40
nm)
mit
einer
Fläche
von
0,8
mm
x
1
mm
überlappend
auf
einem
Teil
der
ITO-Flächen
mittels
Sputtercoating
abgeschieden.
EuroPat v2
Gold
electrodes
(40
nm)
(three
different
areas
measuring
230×990
?m,
230×975
?m
and
230×950
?m)
are
subsequently
deposited
transversely
over
the
positions
of
the
ITO
areas
by
means
of
sputter
coating
via
a
mask.
Anschließend
werden
über
eine
Maske
Goldelektroden
(40
nm)
(drei
unterschiedliche
Flächen
von
230
x
990
µm,
sowie
230
x
975
µm
und
230
x
950
µm)
quer
über
die
Positionen
der
ITO-Flächen
mittels
Sputtercoating
abgeschieden.
EuroPat v2
This
invention
is
in
particular
used
for
reactive
coating
of
said
substrates,
in
particular
with
ITO
films
or
for
metal
coating
said
substrates
through
non-reactive
sputter
coating.
Dabei
wird
die
Erfindung
insbesondere
eingesetzt
für
die
reaktive
Beschichtung
der
erwähnten
Substrate
insbesondere
mit
ITO-Schichten
oder
zur
Metallbeschichtung
der
erwähnten
Substrate
durch
nicht
reaktives
Sputterbeschichten.
EuroPat v2
As
the
problem
of
reactive
gas
distribution
and/or
target
erosion
distribution
is
solved
in
a
homogenizing
sense,
the
substrates
to
be
coated
can
be
positioned
much
closer
to
the
source
and
have
much
larger
coating
surfaces
relative
to
the
source
surface,
which
improves
the
economy
of
a
sputter
coating
system
that
is
equipped
with
a
source
according
to
the
invention.
Weil
das
Problem
der
Reaktivgas-Verteilung
und/oder
der
Targeterosions-Verteilung
in
homogenisierendem
Sinne
gelöst
ist,
können
zu
beschichtende
Substrate
wesentlich
näher
an
der
Quelle
positioniert
werden
und
mit
wesentlich
grösseren
zu
beschichtenden
Flächen
relativ
zur
Quellenfläche,
was
die
Wirtschaftlichkeit
einer
Sputterbeschichtungsanlage
mit
einer
erfindungsgemässen
Quelle
wesentlich
erhöht.
EuroPat v2
In
order
to
utilize
better
in
particular
the
target
material,
it
is
known
to
move
the
field
line
pattern
along
the
sputter
surface
during
the
sputter
coating
primarily
by
providing
moved
magnet
configurations
beneath
the
target.
Um
dabei
insbesondere
das
Targetmaterial
besser
zu
nutzen,
ist
es,
vornehmlich
durch
Vorsehen
bewegter
Magnetanordnungen
unterhalb
des
Targets,
bekannt,
das
Feldlinienmuster
während
des
Sputterbeschichtens
entlang
der
Sputterfläche
zu
bewegen.
EuroPat v2
As
depicted
at
42,
into
the
treatment
chamber
30
leads
a
gas
line
for
a
working
gas,
preferably
argon,
and
optionally
via
the
same
gas
inlet,
however
preferably
by
means
of
a
gas
spray
head,
a
reactive
gas
is
introduced
into
the
process
chamber
for
reactive
magnetron
sputter
coating.
Es
mündet
in
die
Behandlungskammer
30,
wie
bei
42
dargestellt,
eine
Gasleitung
für
ein
Arbeitsgas,
vorzugsweise
Argon,
ein,
wobei
ggf.
über
die
gleiche
Gaszuspeisung,
bevorzugterweise
aber
mittels
einer
schematisch
bei
50
dargestellten
Gasbrause,
ein
Reaktivgas
in
den
Prozessraum
eingelassen
wird
für
reaktives
Magnetronsputterbeschichten.
EuroPat v2