Translation of "Sputter yield" in German
In
doing
so,
a
high
sputter
yield
is
observed
particularly
with
silver.
Besonders
bei
Silber
wird
hierbei
eine
hohe
Sputterausbeute
beobachtet.
EuroPat v2
Sputter
yield
is
understood
here
to
be
the
number
of
cathode
atoms
knocked
out
by
positive
ions
by
cathode
sputtering,
divided
by
the
number
of
ions
impinging
on
the
cathode.
Unter
der
Sputterausbeute
versteht
man
dabei
die
Zahl
der
durch
positive
Ionen
durch
Kathodenzerstäubung
abgeschlagenen
Kathodenatome
dividiert
durch
die
Zahl
der
auf
die
Kathode
aufprallenden
lonen.
EuroPat v2
In
particular,
a
system
consisting
of
a
gas
discharge
plasma
and
cathode
is
to
be
provided
that
leads
to
only
a
low
sputter
yield
and
in
which
the
unavoidable
sputter
deposits
are
electrically
non-conducting.
Insbesondere
soll
ein
System
aus
Gasentladungsplasma
und
Kathode
vorgesehen
sein,
das
nur
zu
einer
geringen
Sputterausbeute
führt
und
bei
dem
die
unvermeidbaren
Sputterniederschläge
elektrisch
nicht-leitend
sind.
EuroPat v2
The
special
interaction
between
cluster
projectile
and
surface
in
conjunction
with
a
higher
sputter
yield
lead
to
almost
complete
elimination
of
the
electromigration
of
alkali
metals
in
the
insulators.
Die
spezielle
Wechselwirkung
zwischen
Clusterprojektil
und
Oberfläche
in
Verbindung
mit
einer
höheren
Sputterausbeute
führen
zu
einer
nahezu
vollständigen
Eliminierung
der
Elektromigration
von
Alkalimetallen
in
Isolatoren.
EuroPat v2
By
this
means
a
sputtering
yield
higher
than
in
apparatus
working
without
magnetic
restriction
occurs.
Dadurch
ergibt
sich
eine
höhere
Zerstäubungs
ausbeute
als
bei
Vorrichtungen,
die
ohne
magnetische
Begrenzung
arbeiten.
EuroPat v2
Any
attempt
to
find
a
rational
basis
for
sputtering
rates
of
compounds
in
the
literature
relates
sputtering
yield
to
the
heat
of
formation
of
the
compound,
e.g.
the
low
sputtering
yield
of
Al2
O3
is
explained
by
the
very
large
negative
heat
of
formation
of
the
compound.
Jeder
Versuch,
eine
rationelle
Grundlage
für
die
Zerstäubungsgeschwindigkeiten
von
Verbindungen
in
der
Literatur
zu
finden,
führt
auf
eine
Beziehung
zwischen
der
Zerstäubungsausbeute
und
Verbindungswärme
der
Verbindung,
d.h.
die
geringe
Zerstäubungsausbeute
von
Al
2
O
3
wird
durch
die
hohe
negative
Bildungswärme
der
Verbindung
erklärt.
EuroPat v2
The
invention
is
therefore
based
on
the
object
of
providing
an
improved
apparatus
for
coating
one,
or
preferably
a
plurality
of
substrates
by
cathode
sputtering
in
the
anomalous
cathode
fall,
wherein
high
sputtering
yields
can
be
achieved
with
simultaneously
low
reaction
times.
Der
Erfindung
liegt
daher
die
Aufgabe
zugrunde,
eine
verbesserte
Vorrichtung
zur
Beschichtung
eines
Substrates
und
vorzugsweise
einer
Vielzahl
von
Substraten
durch
Kathodenzerstäubung
im
anormalen
Kathodenfall
zu
schaffen,
bei
der
sich
hohe
Bestäubungsausbeuten
bei
gleichzeitig
niedrigen
Reaktionszeiten
erreichen
lassen.
EuroPat v2
Whereas
the
embodiment
containing
patassium,
even
in
the
case
of
cathode
sputtering,
yields
no
electrically-conductive
deposits
on
the
housing
wall,
in
the
described
example
with
equal
proportions
by
way
of
nickel
and
molybdenum,
the
cathode
sputtering
is
already
so
far
reduced
that
this
composition
can
also
be
employed
for
arresters
having
ignition
strips
on
the
interior
side
of
the
insulator,
without
the
ignition
strips
vaporizing,
and
hence
without
the
minumum
operating
transient
voltage
increasing
to
an
impermissible
extent.
Während
die
Kalium
enthaltende
Ausführungsform
auch
bei
Kathodenzerstäubung
keine
elektrisch
leitenden
Niederschläge
auf
der
Gehäusewand
ergibt,
ist
beim
beschriebenen
Beispiel
mit
gleichen
Gewichtsanteilen
von
Nickel
und
Molybdän
die
Kathodenzerstäubung
bereits
so
weit
reduziert,
dass
diese
Zusammensetzung
auch
für
Ableiter
mit
Zündstrichen
auf
der
Innenseite
des
Isolators
eingesetzt
werden
kann,
ohne
dass
die
Zündstriche
bedampfen
und
damit
die
Ansprechstossspannung
unzulässig
ansteigt.
EuroPat v2
Therefore,
a
suitable
armor
material
must
have
a
high
thermal
conductivity
(in
order
to
transfer
high
heat
fluxes),
low
thermal
expansion
coefficient
and
low
Young's
modulus
(in
order
to
keep
thermal
stresses
low),
and
a
high
melting
point
and
low
sputtering
yield
(in
order
to
keep
erosion
low).
Daher
muss
eine
geeignete
Rüstung
Material
eine
hohe
Wärmeleitfähigkeit
besitzen
(um
hohe
Wärmeflüsse
Transfer),
geringen
thermischen
Ausdehnungskoeffizienten
und
niedrige
E-Modul
(zur
thermischen
Belastungen
gering
zu
halten),
und
einen
hohen
Schmelzpunkt
und
niedrige
Sputtern
Ausbeute
(,
um
die
Erosion
gering
zu
halten).
ParaCrawl v7.1
Owing
to
the
lower
sputtering
yield,
sputtering
of
the
cathode
material
is
only
slight
when
using
titanium.
Wegen
der
geringeren
Sputterausbeute
findet
beim
Einsatz
von
Titan
nur
noch
eine
geringe
Absputterung
des
Katodenwerkstoffes
statt.
EuroPat v2
Therefore,
a
suitable
armor
material
must
have
a
high
thermal
conductivity
(in
order
to
transfer
high
heat
fluxes),
low
thermal
expansion
coefficient
and
low
Young’s
modulus
(in
order
to
keep
thermal
stresses
low),
and
a
high
melting
point
and
low
sputtering
yield
(in
order
to
keep
erosion
low).
Daher
wird
eine
geeignete
Rüstung
Material
muss
eine
hohe
thermische
Leitfähigkeit
(haben,
um
hohe
Wärmeströme
Transfer),
betont
niedrigen
thermischen
Ausdehnungskoeffizienten
und
niedrige
Elastizitätsmodul
(in
der
Reihenfolge
zu
halten
thermische
niedrig)
und
einen
hohen
Schmelzpunkt
und
niedrige
Sputterausbeute
(in
Ordnung
zu
halten
Erosion
low).
ParaCrawl v7.1