Translation of "Sputtering targets" in German
By
developing
rotatable
sputtering
targets,
Heraeus
has
gone
a
step
further.
Mit
der
Entwicklung
rohrförmiger
Sputtertargets
geht
Heraeus
einen
Schritt
weiter.
ParaCrawl v7.1
During
the
magnetron
sputtering
of
targets
made
of
a
ferromagnetic
material,
the
latter
act
as
a
magnetic
short
circuit.
Beim
Magnetronzerstäuben
von
Targets
aus
ferromagnetischem
Material
wirken
letztere
als
magnetischer
Kurzschluss.
EuroPat v2
We
have
obtained
13
independent
intelligrnt
property
rights
about
sputtering
targets
and
plasma
spraying
equipments
.
Wir
haben
13
unabhängige
Intelligrnt
Eigentumsrechte
über
Sputtern
Ziele
und
Plasmaspritzen
Ausrüstungen
erhalten.
CCAligned v1
Depending
on
the
field
of
application,
the
target
drum
11
comprises
several
sputtering
cathodes
with
targets.
Je
nach
Anwendungsbereich
weist
die
Targettrommel
11
mehrere
Zerstäubungskathoden
mit
Targets
auf.
EuroPat v2
For
more
than
20
years,
Gradel
has
provided
sputtering
targets,
more
particularly
for
the
Glass
industry.
Seit
mehr
als
25
Jahren
stellt
Gradel
Targets
für
die
Glasindustrie
her.
CCAligned v1
At
first
flat
sputtering
targets
were
predominantly
used
for
the
coating
of
glass
surfaces.
Zur
Beschichtung
der
Glasflächen
kamen
zunächst
flache
Sputtertargets
zum
Einsatz.
ParaCrawl v7.1
Additional
sizes
and
sputtering
targets
produced
from
Molybdenum
compounds
are
available
upon
request.
Weitere
Größen
und
Sputter
Targets
aus
Molybdän
hergestellten
Verbindungen
sind
auf
Anfrage
erhältlich.
ParaCrawl v7.1
Tantalum
ingot
can
be
also
used
for
sputtering
targets.
Tantal
Rohblock
kann
auch
für
Sputtertargets
verwendet
werden.
ParaCrawl v7.1
Heraeus
produces
sputtering
targets
for
the
functional
coating
of
large
glass
surfaces.
Heraeus
stellt
Sputtertargets
für
die
funktionale
Beschichtung
großer
Glasflächen
her.
ParaCrawl v7.1
A
system
of
this
kind
is
not
suitable
for
sputtering
targets
of
ferromagnetic
materials.
Für
die
Zerstäubung
von
Targets
aus
ferromagnetischen
Werkstoffen
ist
ein
solches
System
nicht
geeignet.
EuroPat v2
Also
produces
microwave
power
supplies,
substrate
heaters,
sputtering
systems
and
targets,
ion
sources,
and
RF/DC
power
supplies.
Produziert
auch
Mikrowellen-Stromversorgungen,
Substratheizungen,
Sputtern
Systeme
und
Ziele,
Ionenquellen
und
RF
/
DC-Stromversorgungen.
ParaCrawl v7.1
Specializing
in
high
purity
inorganic
chemicals,
single
crystals,
sputtering
targets,
evaporation
materials,
and
tellurides.
Spezialisiert
auf
hochreine
anorganische
Chemikalien,
Einkristalle,
Sputtertargets,
Verdampfungsmaterialien,
und
Telluride.
ParaCrawl v7.1
To
increase
the
effectiveness
of
sputtering,
tubular
targets
are
increasingly
employed.
Um
die
Effektivität
des
Sputterns
zu
erhöhen,
kommen
immer
mehr
rohrförmige
Targets
zum
Einsatz.
EuroPat v2
As
a
result
of
the
modular
design,
large
sputtering
targets
may
be
achieved
that
are
economical
to
operate.
Durch
den
modularen
Aufbau
lassen
sich
somit
große,
wirtschaftlich
zu
betreibende
Sputtertargets
realisieren.
EuroPat v2
However,
this
method
is
equally
suitable
for
magnetron
sputtering
sources
with
targets
consisting
of
one
part
only.
Dieses
Verfahren
ist
aber
ebensogut
für
Magnetronzerstäubungsquellen
mit
nur
aus
einem
Teil
bestehenden
Targets
geeignet.
EuroPat v2
As
an
alternative,
the
target
plates
for
sputtering
targets
can
also
be
mechanically
clamped
to
an
appropriate
back
plate.
Alternativ
können
die
Targetplatten
für
Sputtering
Targets
auch
mechanisch
auf
eine
entsprechende
Rückplatte
geklemmt
werden.
EuroPat v2
Provide
sputtering
targets,
evaporation
materials
and
evaporation
sources
in
standard
materials
and
purities
or
custom
compositions
.
Geben
Sie
Sputtertargets,
Verdunstung
Materialien
und
Verdampfungsquellen
in
Standard-Materialien
und
Reinheiten
oder
benutzerdefinierte
Kompositionen.
ParaCrawl v7.1
This
method
ensures
lowest
losses
and
perfect
stoichiometry
results
–
even
when
sputtering
from
metal
targets.
Diese
Methode
gewährleistet
die
niedrigsten
Verluste
und
perfekt
stöchiometrische
Ergebnisse
–
selbst
beim
Sputtern
von
Metalltargets.
ParaCrawl v7.1
The
cathode
sputtering
apparatus
in
accordance
with
the
invention
can
be
further
developed
by
making
it
suitable
for
sputtering
targets
of
ferromagnetic
materials.
Die
erfindungsgemäße
Katodenzerstäubungsvorrichtung
kann
in
der
Weise
weiter
ausgestaltet
werden,
daß
sie
auch
zum
Zerstäuben
von
Targets
aus
ferromagnetischen
Werkstoffen
geeignet
sind.
EuroPat v2
In
addition
to
being
highly
suitable,
as
already
mentioned,
for
high-power
direct-voltage
sputtering,
the
targets
according
to
the
invention
are
also
mechanically
particularly
stable
by
virtue
of
their
high
density.
Neben
der
bereits
genannten
guten
Eignung
der
erfindungsgemäßen
Targets
für
die
Hochleistungsgleichspannungs-Zerstäubung
sind
diese
aufgrund
ihrer
hohen
Dichte
auch
mechanisch
besonders
stabil.
EuroPat v2
The
recording
layers
having
a
radially
inhomogeneous
concentration
distribution
were
produced
by
sputtering
of
homogeneous
targets,
the
target
being
offset
with
respect
to
the
substrate
during
sputtering.
Die
Aufzeichnungsschichten
mit
radial
inhomogener
Konzentrationsverteilung
wurden
durch
Sputtern
von
homogenen
Targets
hergestellt,
wobei
das
Target
während
des
Sputterns
seitlich
versetzt
zum
Substrat
angeordnet
war.
EuroPat v2
Given
"co-sputtering"
whereby
the
targets
are
eroded
by
means
of
dc
vaporization,
the
voltage
is
divided
to
the
targets
in
accordance
with
the
desired
alloy
composition
proceeding
from
a
common
dc
voltage
source
and
via,
for
example,
a
potentiometer
whose
value
can
be
exactly
defined.
Beim
"Cosputtern",
wobei
die
Targets
durch
Gleichspannungszerstäuben
abgetragen
werden,
wird
die
Spannung
-
ausgehend
von
einer
gemeinsamen
Gleich
spannungsquelle,
zum
Beispiel
über
ein
Potentiometer,
dessen
Wert
genau
bestimmbar
ist,
auf
die
Tagets
entsprechend
der
gewünschten
Legierungszusammensetzung
aufgeteilt.
EuroPat v2