Translation of "Negative photoresist" in German
Then
a
negative
photoresist
is
applied
to
increase
the
rigidity
and
a
blanket
exposure
is
carried
out.
Dann
wird
zur
Erhöhung
der
Steifigkeit
ein
Negativphotoresist
aufgetragen
und
ganzflächig
blankbelichtet.
EuroPat v2
In
a
developer
process,
the
negative
photoresist
can
be
removed
in
the
non-exposed
areas.
In
einem
Entwicklungsprozess
lässt
sich
der
Negativphotöresist
an
den
nichtbelichteten
Stellen
entfernen.
EuroPat v2
They
are
particularly
useful
for
negative-working
photoresist
films.
Sie
eignen
sich
besonders
bei
negativ
arbeitenden
Fotoresistfilmen.
EuroPat v2
For
increased
stability,
a
negative
photoresist
is
applied
and
blanket
exposed.
Zur
Erhöhung
der
Steifigkeit
wird
ein
Negativphotoresist
aufgetragen
und
ganzflächig
belichtet.
EuroPat v2
In
addition,
many
negative
photoresist
materials
are
also
resistant
to
the
compositions
of
the
present
invention.
Ausserdem
sind
viele
negative
Photolackmaterialien
auch
widerstandsfähig
gegen
die
Mischungen
nach
der
Erfindung.
EuroPat v2
Advantageously,
a
negative
photoresist
is
used.
Mit
Vorteil
wird
ein
negativer
Photolack
verwendet.
EuroPat v2
An
epoxide
photoresist
such
as
SU-8
can
be
used
as
the
negative
photoresist.
Als
negativer
Photolack
kann
ein
epoxidischer
Photolack
wie
SU-8
verwendet
werden.
EuroPat v2
With
a
negative
photoresist,
the
over-exposed
areas
form
a
solid
material.
Bei
einem
negativen
Photolack
bilden
die
überbelichteten
Bereiche
Vollmaterial.
EuroPat v2
The
photoresist
can
be
in
the
form
of
a
positive
photoresist
or
a
negative
photoresist.
Der
Photoresist
kann
als
positiver
Photoresist
oder
als
negativer
Photoresist
ausgebildet
sein.
EuroPat v2
Subsequently,
the
boring
walls
are
activated
with
palladium
chloride-tin-II-chloride
and
the
previously
applied
negative
photoresist
is
stripped
off.
Anschliessend
werden
die
Bohrlochwandungen
mit
Palladiumchlorid-Zinn-II-chlorid
aktiviert,
und
der
zuvor
aufgetragene
Negativphotoresist
wird
gestrippt.
EuroPat v2
A
negative
photoresist
dissolves
in
the
regions
not
exposed
to
light,
during
the
developing
of
the
layer.
Ein
negativer
Photoresist
löst
sich
in
den
nicht
belichteten
Bereichen
während
der
Entwicklung
von
der
Schicht.
EuroPat v2
The
non-exposed
segments
of
the
negative
photoresist
10
are
removed
with
a
KOH
solution,
for
example.
Die
nicht
belichteten
Abschnitte
des
negativen
Photolacks
10
werden
beispielsweise
mittels
einer
KOH-Lösung
entfernt.
EuroPat v2
In
contrast
thereto,
when
using
a
negative
photoresist,
the
unexposed
regions
are
soluble
in
the
developer.
Im
Gegensatz
dazu
sind
bei
einem
negativen
Photoresist
die
unbelichteten
Bereiche
im
Entwickler
löslich.
EuroPat v2
Suitable
negative-working
photoresist
materials
are
those
composed
of
photopolymerizable
mixtures
of
polymerizable
ethylenically-unsaturated
compounds,
polymeric
binders
and
photoinitiators,
of
light-crosslinkable
compounds,
such
as
polyvinyl
cinnamate,
or
of
negative-working
diazo
compounds
or
azido
compounds,
if
appropriate
as
a
mixture
with
binders.
Geeignete
negativ
arbeitende
Photoresistmaterialien
sind
solche
aus
photopolymerisierbaren
Gemischen
von
polymerisierbaren
äthylenisch
ungesättigten
Verbindungen,
polymeren
Bindemitteln
und
Photoinitiatoren,
aus
lichtvernetzbaren
Verbindungen,
wie
Polyvinylcinnamat,
oder
aus
negativ
arbeitenden
Diazo-
oder
Azidoverbindungen,
ggf.
im
Gemisch
mit
Bindemitteln.
EuroPat v2
The
surface
of
the
signal
plane
is
processed
with
benzotriazole
adhesion
promoter
and
coated
with
a
negative
photoresist
which
is
exposed
image-wise
and
developed.
Die
Oberfläche
der
Signalebene
wird
mit
Benzotriazolhaftvermittler
behandelt
und
mit
einer
Negativphotoresistfolie
beschichtet,
welche
bildmässig
belichtet
und
entwickelt
wird.
EuroPat v2
A
decisive
factor
for
a
successful
application
of
this
method
is
the
pre-treatment
of
the
substrate
surfaces
prior
to
the
lamination
of
the
negative
photoresist
foil.
An
unsatisfactory
resist
adhesion
causes
the
lift-off
of
the
photoresist
foil
in
the
aggressive
copper
additive
bath
so
that
copper
is
deposited
also
in
undesired
areas,
causing
short-circuits
in
the
signal
lines.
Entscheidend
für
ein
gutes
Ergebnis
dieses
Verfahrens
ist
die
Vorbehandlung
der
Substratoberflächen
vor
dem
Auflaminieren
der
Negativphotoresistfolie,
denn
eine
schlechte
Resisthaftung
führt
zum
Abheben
der
Photoresistfolie
in
dem
aggressiven
Kupferadditivbad,
so
daß
sich
Kupfer
auch
an
nicht
gewünschten
Stellen
abscheidet
und
zu
Kurzschlüssen
in
den
Signalleitungen
führt.
EuroPat v2
A
further
alkali-developable
negative-working
photoresist
is
based
on
an
onium
salt
and
methylacrylamidoglycolate
methyl
ether
(cf.
Hult
et
al.;
Ein
weiterer
wäßrig-alkalisch
entwickelbarer
negativ
arbeitender
Photoresist
basiert
auf
einem
Oniumsalz
und
Methylacrylamidoglycolatmethylether
(vgl.
Hult
et
al;
EuroPat v2
The
non-irradiated
regions
of
the
negative
photoresist
15
are
then
removed,
so
that
the
surfaces
14a
of
the
webs
are
exposed
to
the
outside.
Anschließend
werden
die
nicht
bestrahlten
Bereiche
des
Negativ-Fotoresists
15
entfernt,
so
daß
die
Oberflächen
14a
der
Stege
nach
außen
hin
freiliegen.
EuroPat v2
Suitable
materials
are
known
positive
and
negative
photoresist
materials,
such
as
the
usual
phenol-formaldehyde
novolak
resins,
polymethyl
methacrylate,
polyisoprenes
or
materials
such
as
those
described
in
U.S.
Pat.
Nos.
3,201,239
and
3,770,433.
Es
können
bekannte
positive
und
negative
Photoresistmaterialien,
beispielsweise
die
üblichen
Phenol-Formaldehyd-Novolakharze,
Polymethylmethacrylate,
Polyisoprene
oder
Materialien,
die
in
den
U.S.
Patent-
schriften
3,201,239
und
3,770,433
beschrieben
sind,
verwendet
werden.
EuroPat v2
Depending
on
their
handling,
the
compositions
can
be
used
as
positive-working
and
as
negative-working
photoresist
systems.
Die
oben
beschriebenen
Zusammensetzungen
können
-
je
nach
Handhabung
-
als
positiv
und
als
negativ
arbeitendes
Photoresistsystem
verwendet
werden.
EuroPat v2
In
the
upper-most
layer,
which
consists
of
a
highly
sensitive
positive
or
negative
photoresist,
the
desired
pattern
of
the
gate
electrode
is
produced
by
optical
or
electron
beam
exposure
and
development.
In
der
obersten
Schicht,
welche
aus
einem
hochempfindlichen
positiven
oder
negativen
Photoresist
besteht,
wird
das
gewünschte
Muster
der
Gateelektrode
durch
optische
oder
Elektronenstrahlbelichtung
und
Entwicklung
erzeugt.
EuroPat v2
For
the
purposes
of
patterning,
the
semiconductor
substrates
are
coated
with
photoresists
(positive
or
negative
photoresists)
and
photoresist
relief
patterns
are
generated
on
them
by
imagewise
exposure
and
subsequent
development.
Zur
Strukturierung
werden
die
Halbleitersubstrate
mit
Fotolacken
-
Positiv-
oder
Negativ-Fotoresists
-
beschichtet
und
durch
bildmäßiges
Belichten
und
anschließendes
Entwickeln
Fotoresistreliefstrukturen
auf
ihnen
erzeugt.
EuroPat v2