Translation of "Photoresist" in German
Thereafter,
the
photoresist
layer
14
is
removed.
Dannach
wird
die
Photolackschicht
14
entfernt.
EuroPat v2
Secondly,
the
layer
of
photoresist
is
deposited
directly
atop
the
platinum
silicide
layers.
Außerdem
wird
die
Photolackschicht
unmittelbar
auf
den
Platinsilicid-Schichten
niedergeschlagen.
EuroPat v2
The
photoresist
pattern
covered
the
stripes
and
exposed
the
metal
between
them.
Das
Photolackmuster
bedeckte
dabei
die
Streifen
und
legte
das
dazwischen
liegende
Metall
frei.
EuroPat v2
This
etching
mask
can
once
again
be
formed
in
the
manner
outlined
by
a
photoresist.
Diese
Ätzmaske
kann
wiederum
in
der
geschilderten
Weise
aus
Photolack
gebildet
werden.
EuroPat v2
The
photoresist
layer
is
exposed
in
the
conventional
manner
under
an
original
of
the
image
stencil.
Die
Photoresistschicht
wird
in
üblicher
Weise
unter
einer
Vorlage
der
Bildschablone
belichtet.
EuroPat v2
Moreover,
imagewise
arranged
stencil
elements
7a
are
formed
over
the
photoresist
stencil.
Es
werden
ferner
bildmässig
angeordnete
Schablonenelemente
7a
über
der
Photoresistschablone
gebildet.
EuroPat v2
Finally,
the
mask
of
photoresist
and
the
chromium
and
gold
thereabove
are
dissolved
away.
Schliesslich
wird
die
Maske
aus
Photolack
samt
dem
darüberliegenden
Chrom
und
Gold
weggelöst.
EuroPat v2
This
layer
11
is
then
coated
with
a
photoresist
layer
12.
Diese
Schicht
11
wird
dann
mit
einer
Fotolackschicht
12
Überzogen.
EuroPat v2
An
opening
is
thereafter
produced
in
photoresist
layer
12.
In
der
Fotolackschicht
12
wird
eine
Öffnung
13
erzeugt.
EuroPat v2
This
can
advantageously
be
done
by
covering
again
with
a
suitable
photoresist
stencil.
Das
kann
zweckmäßig
wieder
durch
Abdecken
mit
einer
geeigneten
Photoresistschablone
erfolgen.
EuroPat v2
The
hardened
photoresist
withstands
this
treatment
even
when
the
tinning
cycle
is
repeated
10
times.
Der
gehärtete
Photoresist
widersteht
dieser
Behandlung
auch
bei
10facher
Wiederholung
des
Verzinnungszyklus.
EuroPat v2
The
photoresist
pattern
3
is
made
by
means
of
conventional
photolithographic
process
steps.
Das
Photolackmuster
3
wird
mittels
konventioneller
photolithographischer
Verfahrensschritte
erzeugt.
EuroPat v2
A
tacky
photoresist
layer
which
was
difficult
to
process
was
obtained.
Es
wurde
eine
klebrige
Photoresistschicht
erhalten,
die
nur
schwer
zu
verarbeiten
ist.
EuroPat v2
The
photoresist
according
to
the
invention
furthermore
allows
very
great
process
reliability.
Der
Photoresist
nach
der
Erfindung
ermöglicht
außerdem
eine
hohe
Prozeßsicherheit.
EuroPat v2
It
may
also
consist
of
another
highly
radiation-sensitive
photoresist.
Sie
kann
aber
auch
aus
einem
anderen,
gegen
Strahlung
hochempfindlichen
Photoresist
bestehen.
EuroPat v2