Übersetzung für "Planar transistor" in Deutsch
The
transistor
may
alternatively
be
configured
as
a
planar
transistor.
Der
Transistor
kann
alternativ
als
planarer
Transistor
ausgestaltet
sein.
EuroPat v2
The
MOS-FET
is
a
planar
transistor.
Der
MOS-FET
ist
ein
planarer
Transistor.
EuroPat v2
Consequently,
the
planar
field-effect
transistor
152
contains,
inter
alia:
Somit
enthält
der
planare
Feldeffekttransistor
152
u.a.:
EuroPat v2
In
this
case,
a
planar
MOS
transistor
and
a
DMOS
transistor
are
integrated
with
one
another.
Dabei
werden
ein
planarer
MOS-Transistor
und
ein
DMOS-Transistor
miteinander
integriert.
EuroPat v2
The
planar
MOS
transistor
serves
for
the
writing
of
items
of
information
and
the
thin-film
transistor
serves
to
read
out
items
of
information.
Der
planare
MOS-Transistor
dient
zum
Einschreiben
von
Informationen,
der
Dünnfilmtransistor
zum
Auslesen
von
Informationen.
EuroPat v2
The
low
leakage
current
of
the
planar
SOI
transistor
152
also
prevents
a
rapid
discharging
of
the
storage
capacitance.
Auch
der
geringe
Leckstrom
des
planaren
SOI-Transistors
152
verhindert
eine
schnelle
Entladung
der
Speicherkapazität.
EuroPat v2
The
method
according
to
the
invention
is
particularly
suitable
for
fabricating
a
planar
field-effect
transistor
together
with
the
capacitor.
Das
erfindungsgemäße
Verfahren
ist
besonders
geeignet
zur
Herstellung
eines
planaren
Feldeffekttransistors
gemeinsam
mit
dem
Kondensator.
EuroPat v2
We
use
this
undercut
to
insure
that
there
is
a
selected
minimum
distance
between
the
periphery
of
one
impurity
region
and
another,
e.g.,
the
emitter
and
base
of
a
planar
transistor.
Im
vorliegenden
Fall
wird
diese
Unterschneidung
oder
Unterätzung
dazu
benutzt
sicherzustellen,
daß
zwischen
dem
Umfang
einer
mit
Störelementen
dotierten
Zone
und
einer
anderen,
d.h.
beispielsweise
der
Emitter-
und
der
Basiszone
eines
planaren
Transistors
ein
vorbestimmter
kleinster
Abstand
eingehalten
wird.
EuroPat v2
In
DE-OS
No.
30
09
434
a
process
is
described
for
manufacturing
a
monolithic
integrated
circuit
comprising
at
least
one
bipolar
planar
transistor
whose
emitter
region
is
formed
in
one
surface
side
of
a
semiconducting
substrate
into
the
base
region,
which
is
diffused
into
the
collector
region.
Aus
der
DE-A-
30
09
434
ist
ein
Verfahren
zum
Herstellen
einer
monolithisch
integrierten
Schaltung
mit
mindestens
einem
bipolaren
Planartransistor
bekannt,
dessen
Emitterzone
an
einer
Oberflächenseite
eines
halbleitenden
Substrats
in
die
Basiszone
eingesetzt
ist,
welche
in
die
Kollektorzone
eindiffundiert
wird.
EuroPat v2
The
drawings
schematically
show
a
section
of
such
a
monolithic
integrated
solid-state
circuit
in
the
usual
oblique
view,
with
the
bipolar
planar
transistor
being
fabricated
in
the
opening
(window)
31
provided
for
in
the
layer
of
field
oxide
2,
with
an
N-channel
field-effect
transistor
being
fabricated
within
the
area
32,
and
with
a
P-channel
field-effect
transistor
being
fabricated
within
the
opening
(window)
33
of
the
layer
of
field
oxide
2.
Die
Figuren
zeigen
schematisch
einen
Ausschnitt
einer
solchen
monolithisch
integrierten
Festkörperschaltung
in
üblicher
Schrägschnittansicht,
wobei
der
bipolare
Planartransistor
in
der
Öffnung
31
der
Feldoxidschicht
2,
ein
N-Kanal-Feldeffettransistoren
innerhalb
der
Bereich
32
und
ein
P-Kanal-Feldeffekttransisitor
innerhalb
der
Öffnung
33
der
Feldoxidschicht
2
hergestellt
wird.
EuroPat v2
A
method
of
making
a
monolithic
integrated
circuit
comprising
at
least
one
pair
of
complementary
Si-gate
field-effect
transistors
and
at
least
one
NPN
type
of
planar
bipolar
transistor
is
described
in
an
article
by
B.
Hoeffinger
and
G.
Zimmer,
"New
CMOS
Technologies",
published
in
"Solid
State
Devices",
1980,
edited
by
J.
E.
Carroll,
pages
114
to
117.
Aus
dem
Aufsatz
"New
CMOS
technologies"
von
B.
Hoeffinger
und
G.
Zimmer
in
der
Veröffentlichung
"Solid
State
Devices"
1980,
Herausgeber
J.E.Carroll,
Seiten
114
bis
117
ist
ein
Verfahren
zum
Herstellen
einer
monolithisch
integrierten
Schaltung
mit
mindestens
einem
Paar
von
komplementären
Si-Gate-Feldeffekttransistoren
und
mindenstens
einem
planaren
NPN-Bipolartransistor
bekannt.
EuroPat v2
Therefore,
the
embodiment
to
be
described
hereinafter
with
reference
to
the
figures
of
the
accompanying
drawings,
simultaneously
also
serves
to
describe
this
combination
relating
to
the
manufacture
of
a
monolithic
integrated
circuit
having
a
high
breakdown
voltage
insulated-gate
field-effect
transistor
in
which
the
source
zone,
as
well
as
the
drain
zone
are
each
surrounded
by
one
partial
zne,
and
having
a
planar
bipolar
transistor.
Das
im
folgenden
anhand
der
Figuren
der
Zeichnung
beschriebene
Ausführungsbeispiel
dient
daher
zugleich
auch
zur
Beschreibung
dieser
Kombination
der
Herstellung
einer
monolithisch
integrierten
Schaltung
mit
einem
hochsperrenden
Isolierschicht-Feldeffekttransistor,
dessen
Sourcezone
als
auch
Drainzone
von
je
einer
Teilzone
umgeben
ist
und
mit
einem
planaren
Bipolartransistor.
EuroPat v2
According
to
the
improvement,
a
monolithic
integrated
circuit
can
be
fabricated
which
contains
not
only
a
planar
transistor
but
also
an
insulated-gate
field-effect
transistor,
the
two
transistors
being
formed
simultaneously
at
a
main
surface
of
the
semiconductor
substrate.
Nach
dieser
Weiterbildung
kann
eine
monolithisch
integrierte
Schaltung
hergestellt
werden,
die
nicht
nur
einen
Planartransistor,
sondern
auch
noch
einen
Isolierschicht-Feldeffekttransistor
enthält,
die
gleichzeitig
an
der
einen
Hauptfläche
des
Halbleitersubstrats
hergestellt
werden.
EuroPat v2
In
the
process
according
to
the
invention,
in
addition
to
the
conventional
two
photoresist
processes
for
opening
the
contact
holes
and
for
manufacturing
the
interconnecting
pattern,
two
photoresist
processes
are
used
with
one
photoresist
mask
each
for
manufacturing
the
regions
of
the
planar
transistor.
Bei
dem
Verfahren
kommen
außer
den
üblichen
beiden
Photolackprozessen
zum
Öffnen
der
Kontaktlöcher
und
zum
Herstellen
des
Leitbahnenmusters
lediglich
zwei
Photolackprozesse
mit
je
einer
Photolackmaske
zum
Herstellen
der
Zonen
des
Planartransistors
zur
Anwendung.
EuroPat v2
If,
in
this
embodiment,
the
trenches
are
formed
with
a
width
F
and
a
spacing
F,
F
being
the
smallest
structure
size
that
can
be
produced
with
the
respective
technology,
and
if
the
dimension
of
the
source/drain
regions
and
of
the
channel
region
of
the
planar
MOS
transistors
in
the
direction
of
the
rows
is
in
each
case
chosen
to
correspond
to
F,
then
s
first
memory
cell
having
a
planar
MOS
transistor
and
a
second
memory
cell
having
a
vertical
MOS
transistor
are
arranged
on
an
area
of
2
F2.
Werden
in
dieser
Ausführungsform
die
Gräben
mit
einer
Breite
F
und
einem
Abstand
F
gebildet,
wobei
F
die
in
der
jeweiligen
Technologie
kleinste
herstellbare
Strukturgröße
ist,
und
wird
die
Abmessung
der
Source/Drain-Gebiete
und
des
Kanalgebiets
der
planaren
MOS-Transistoren
in
Richtung
der
Zeilen
jeweils
entsprechend
F
gewählt,
so
sind
auf
einer
Fläche
von
2
F
2
eine
erste
Speicherzelle
mit
einem
planaren
MOS-Transistor
und
eine
zweite
Speicherzelle
mit
einem
vertikalen
MOS-Transistor
angeordnet.
EuroPat v2
In
comparison
to
a
planar
MOS
transistor
which
is
manufactured
with
the
same
structural
fineness
as
the
columns,
the
selection
transistor
and
the
memory
transistor
of
the
preferred
embodiment
of
the
present
invention
comprise
a
channel
width
that
is
larger
by
a
factor
of
4.
Im
Vergleich
zu
einem
planaren
MOS-Transistor,
der
mit
derselben
Strukturfeinheit
hergestellt
wird
wie
die
Säulen,
weisen
der
Auswahltransistor
und
der
Speichertransistor
in
dieser
Ausführungsform
eine
um
einen
Faktor
4
größere
Kanalweite
auf.
EuroPat v2
Each
two
source/drain
regions
14a
on
the
main
area
2
and
that
part
of
the
p-doped
substrate
1
which
adjoins
the
main
area
2
in
between,
with
or
without
a
depletion
channel
3,
as
well
as
the
further
gate
dielectric
12
arranged
thereabove
and
that
part
of
the
respective
first
word
line
13
which
is
arranged
thereabove
form
respective
planar
MOS
transistor.
Je
zwei
Source/Drain-Gebiete
14a
an
der
Hauptfläche
2
und
der
dazwischen
an
die
Hauptfläche
2
angrenzende
Teil
des
p-dotierten
Substrats
1
mit
oder
ohne
Depletion-Kanal
3
sowie
das
darüber
angeordnete
weitere
Gatedielektrikum
12
und
der
darüber
angeordnete
Teil
der
jeweiligen
ersten
Wortleitung
13
bilden
jeweils
einen
planaren
MOS-Transistor.
EuroPat v2
FIG.
19
a
is
a
cross-sectional
view
through
a
seventh
substrate
after
the
production
of
a
seventh
MRAM
cell
configuration,
in
which
a
memory
cell
contains
a
planar
transistor,
and
the
memory
cell
is
connected
between
a
write
line
and
a
bit
line;
Figur
19a
zeigt
einen
Querschnitt
durch
ein
siebtes
Substrat,
nach
Erzeugung
einer
siebten
MRAM-Zellenanordnung,
bei
der
eine
Speicherzelle
einen
planaren
Transistor
umfaßt,
und
die
Speicherzelle
zwischen
einer
Schreibleitung
und
einer
Bitleitung
geschaltet
ist.
EuroPat v2