Übersetzung für "Planarization" in Deutsch
In
the
two-layer
process,
the
topographically
uneven
substrate
is
leveled
by
a
so-called
planarization
layer.
Beim
Zweilagenverfahren
wird
das
topographisch
relativ
unebene
Substrat
durch
eine
sogenannte
Planarisierungsschicht
eingeebnet.
EuroPat v2
The
actual
resist
layer,
which
is
exposed
through
an
image,
is
applied
to
the
planarization
layer.
Auf
die
Planarisierungsschicht
wird
die
eigentliche
Resistschicht
aufgebracht,
die
bildmäßig
belichtet
wird.
EuroPat v2
The
mass
part
2
is
arranged
in
a
recess
of
this
planarization
here.
Das
Masseteil
2
ist
hier
in
einer
Aussparung
dieser
Planarisierung
angeordnet.
EuroPat v2
This
is
followed
by
a
further
intermediate-oxide
deposition
and
planarization.
Nun
erfolgt
eine
weitere
Zwischenoxidabscheidung
und
Planarisierung.
EuroPat v2
A
planarization
layer
9
is
applied
onto
the
further
insulating
layer
8.
Auf
die
weitere
isolierende
Schicht
8
wird
eine
Planarisierungsschicht
9
aufgebracht.
EuroPat v2
For
example,
the
planarization
layer
9
is
formed
of
lacquer.
Die
Planarisierungsschicht
9
wird
zum
Beispiel
aus
Lack
gebildet.
EuroPat v2
The
planarization
of
the
dielectric
insulating
layer
13
can
also
occur
via
an
electrochemical
polishing
method.
Die
Planarisierung
der
dielektrischen
Isolationsschicht
13
kann
auch
über
ein
elektrochemisches
Polierverfahren
erfolgen.
EuroPat v2
These
etching
openings
are
closed
by
constituent
parts
of
a
subsequently
applied
planarization
layer
composed
of
a
dielectric.
Diese
Ätzöffnungen
sind
durch
Bestandteile
einer
nachfolgend
aufgebrachten
Planarisierungsschicht
aus
einem
Dielektrikum
verschlossen.
EuroPat v2
The
surface
of
the
semiconductor
layer
structure
is
prepared
for
following
process
steps
by
etching
the
planarization
layer
back.
Durch
Rückätzen
der
Planarisierungsschicht
wird
die
Oberfläche
des
Halbleiterschichtaufbaus
für
folgende
Prozeßschritte
vorbereitet.
EuroPat v2
These
irregularities
in
the
planarization
layer
are
transferred
into
the
surface
in
the
following
etch-back.
Diese
Unebenheiten
in
der
Planarisierungsschicht
übertragen
sich
beim
anschließenden
Rückätzen
in
die
Oberfläche.
EuroPat v2
The
basic
principle
consists
in
the
planarization
of
the
surface
waviness
and
micro-roughness.
Das
Grundprinzip
besteht
in
der
Planarisierung
der
Oberflächenwelligkeit
und
Mikrorauigkeit.
EuroPat v2
In
this
case,
the
resistance
of
the
planarization
layer
is
preferably
in
the
range
of
the
resistance
of
the
injection
layer.
Hierbei
liegt
der
Widerstand
der
Planarisierungsschicht
vorzugsweise
im
Bereich
des
Widerstandes
der
Injektionsschicht.
EuroPat v2
These
irregularities
are
covered
and
thus
compensated
for
by
a
first
planarization
layer
2
which
is
disposed
thereon.
Diese
werden
durch
eine
darauf
angeordnete
erste
Planarisierungsschicht
2
überdeckt
und
damit
ausgeglichen.
EuroPat v2
The
insulating
layer
may
alternatively
simultaneously
be
used
as
a
planarization
layer.
Alternativ
kann
auch
die
Isolationsschicht
gleichzeitig
als
Planarisierungsschicht
dienen.
EuroPat v2
Preferably,
the
planarization
layer
3
is
based
on
silicone.
Bevorzugt
basiert
die
Planarisierungsschicht
3
auf
Silikon.
EuroPat v2
Additionally
or
alternatively,
the
planarization
layer
3
can
contain
other
polymers
or
inorganic
materials.
Zusätzlich
oder
alternativ
kann
die
Planarisierungsschicht
3
andere
Polymere
oder
anorganische
Materialien
enthalten.
EuroPat v2
The
height
of
the
planarization
layer
3
can
exceed
the
height
of
the
radiation-emitting
semiconductor
components
2
.
Die
Höhe
der
Planarisierungsschicht
3
kann
die
Höhe
der
strahlungsemittierenden
Halbleiterbauelemente
2
übersteigen.
EuroPat v2
In
one
configuration
of
the
module,
the
planarization
layer
contains
at
least
one
conversion
element.
Bei
einer
Ausgestaltung
des
Moduls
enthält
die
Planarisierungsschicht
zumindest
ein
Konversionselement.
EuroPat v2
Said
further
insulation
layer
serves
for
compensation
of
corresponding
height
differences
and
for
planarization
of
the
optoelectronic
component.
Diese
dient
zum
Ausgleich
entsprechender
Höhenunterschiede
und
zur
Planarisierung
des
optoelektronischen
Bauelementes.
EuroPat v2
Methods
such
as
fine
grinding
or
mechanical/chemical
polishing
may
be
used
for
the
planarization
process.
Zur
Planarisierung
werden
bevorzugt
Verfahren
wie
Feinschleifen
oder
mechanisch/chemisches
Polieren
eingesetzt.
EuroPat v2