Übersetzung für "Dry etching" in Deutsch

Dry etching (RIE or CAIBE) is preferably employed for etching.
Zum Ätzen wird vorzugsweise Trockenätzen (RIE oder CAIBE) angewendet.
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The etching of the mesa preferably ensues with dry etching (RIE or CAIBE).
Das Ätzen der Mesa geschieht vorzugsweise durch Trockenätzen (RIE oder CAIBE).
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For transferring the photoresist patterns into the substrate, dry etching methods are usually applied.
Für die Übertragung der Photoresistmuster in das Substrat werden im allgemeinen Trockenätzverfahren angewendet.
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The back-etching can be performed with a chemical dry etching method or by reactive ion etching.
Die Rückätzung kann mit einem chemischen Trockenätzverfahren oder reaktivem Ionenätzen erfolgen.
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Dry-etching processes that attack selectively relative to SiO2 are used for trench etching.
Zur Grabenätzung werden Trockenätzprozesse verwendet, die selektiv zu SiO 2 Silizium angreifen.
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Other etching processes, such as isotropic wet etching or dry etching, can also be used.
Es können auch andere Ätzverfahren wie isotropes Nassätzen oder Trockenätzen verwendet werden.
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The etching process for manufacturing the diaphragm can be executed as a wet or dry etching process.
Der Ätzprozess zur Herstellung der Membrane kann als Nass- oder Trockenätzprozess ausgeführt werden.
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A dry-etching process with a plasma containing CF 4 /O 2 is suitable therefor.
Dazu ist ein Trockenätzverfahren mit einem CF 4 /O 2 haltigen Plasma geeignet.
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Smaller pattern widths can be manufactured with the dry etching process than with the deep UV lithographic method.
Durch den Trockenätzprozess sind kleinere Strukturbreiten herstellbar als mit dem UV-tiefenlithographischen Verfahren.
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The selectivity must be valid both for wet-chemical as well as for dry etching processes.
Die Selektivität muß sowohl für naßchemische als auch für Trockenätzprozesse gelten.
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For example, the etching occurs anisotropically in a dry-etching process with a Cl2 /O2 chemistry.
Die Ätzung erfolgt zum Beispiel anisotrop in einem Trockenätzprozeß mit einer Cl?/O?-Chemie.
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The structuring is carried out in a dry etching process.
Die Strukturierung erfolgt in einem Trockenätzprozeß.
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Where this is not possible, mirrored end faces TS can be produced by dry etching.
Wo dies nicht möglich ist, können Spiegelendflächen TS durch Trockenätzen erzeugt werden.
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Therefore, MgO is a unique masking material for dry etching.
Daher ist MgO für Trockenätzverfahren ein einmalig geeignetes Material.
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This angle is transferred into the polyimide layer in a dry etching process.
Dieser wird in einem Trockenätzverfahren in die Polyimidschicht übertragen.
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For that reason, it has already been attempted to develop satisfactory dry etching processes for copper.
Aus diesem Grund wurde bereits versucht, brauchbare Trockenätzprozesse für Kupfer zu entwickeln.
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For trench etching, one may carry out an alternating dry etching process such as the so-called Bosch process.
Zum Grabenätzen kann ein alternierender Trockenätzprozess wie beispielsweise der sogenannte Bosch-Prozess durchgeführt werden.
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Alternatively thinning takes place especially by dry etching, preferably in-situ.
Alternativ erfolgt das Dünnen insbesondere durch Trockenätzen, vorzugsweise in-situ.
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Ähnliche Begriffe

drying etching dry up dry etching
etch dries too dry more dry
after drying dry