Übersetzung für "Etches" in Deutsch
Combinations
of
lithographies
and
etches
are
also
possible.
Möglich
sind
auch
Kombinationen
aus
Lithographien
und
Ätzungen.
EuroPat v2
There
is
a
limit
to
the
maximum
fluorine
content,
because
fluorine
also
etches
away
fused
silica.
Der
maximale
Fluorgehalt
ist
begrenzt,
da
Quarzglas
durch
Fluor
auch
weggeätzt
wird.
ParaCrawl v7.1
It
defines
the
windows
for
subsequent
etches
and
ion-implants
which
are
selectively
blocked
out
by
photoresist.
Sie
definiert
die
Ausschnitte
für
nachfolgende
Ätzungen
und
Ionenimplantationen,
die
selektiv
durch
Photoresistschichten
abgeblockt
werden.
EuroPat v2
An
anisotropic
dry-etching
process
that
etches
SiO2
selectively
relative
to
silicon
is
subsequently
implemented.
Anschließend
wird
ein
anisotroper
Trockenätzprozeß
durchgeführt,
der
SiO
2
selektiv
zu
Silizium
ätzt.
EuroPat v2
Now,
it
only
etches
within
the
square
shape
cordoned
off
by
the
mask.
Nun
wird
lediglich
des
Rechteck,
welches
nicht
durch
die
Maske
verdeckt
wird,
weggeätzt.
QED v2.0a
The
structure
is
then
subjected
to
a
dry
plasma
etching
(RIE)
process
using
a
reactive
gas
which
etches
the
exposed
portions
of
metal
4
and
using
glass
film
6
as
the
mask.
Die
Struktur
wird
dann
einem
Trocken-Plasmaätz-(reaktives
Ionenätz-)Verfahren
unterworfen,
wobei
ein
reaktives
Gas,
welche
die
freiliegenden
Bereiche
des
Metalls
4
ätzt,
und
als
Maske
der
Glasfilm
6
benutzt
werden.
EuroPat v2
Alkali
etches
silica
materials
and
thereby
promotes
the
wettability,
particularly
since
the
porous
carrier
has
to
be
thoroughly
washed
out
after
the
reducing
treatment.
Durch
Alkali
wird
silikatisches
Material
angeätzt
und
dadurch
der
Benetz-
barke
i
t
Vorschub
geleistet,
zumal
der
poröse
Träger
nach
der
Reduktionsbehandlung
gründlich
ausgewaschen
werden
muß.
EuroPat v2
Busen
et
al
recommend
for
the
removal
of
the
SiB6
phase
either
an
etchant
which
also
etches
silicon,
or
using
a
two-step
process
where
in
the
first
step
the
phase
is
treated
for
ten
minutes
in
boiling
concentrated
nitric
acid
and
subsequently
for
30
seconds
is
diluted
HF.
Busen
u.a.
empfehlen
zur
Entfernung
der
SiB
6-Phase
entweder
ein
Ätzmittel,
welches
auch
Silicium
ätzt,
oder
einen
Zweischriti
prozeß
zu
verwenden,
bei
dem
im
ersten
Schritt
die
Phase
zehn
Minuten
lang
in
kochender
konzentrierter
Salpetersäure
und
anschließend
30
Sekunden
lang
in
verdünnter
HF
behandelt
wird.
EuroPat v2
Such
an
overhang
may
be
formed
by
etching
through
a
dual
layer
insulator
in
which
the
underlying
insulating
layer
etches
at
a
faster
rate,
than
the
upper
insulating
layer.
Ein
solches
Maskenfenster
kann
durch
Ätzen
einer
Doppel-Maskierungsschicht
erzielt
werden,
wobei
die
untere,
auf
der
Oberfläche
des
Halbleiterkörpers
aufliegende
erste
Maskierungsschicht
mit
einer
größeren
Ätzrate
geätzt
wird
als
die
obere
zweite
Maskierungsschicht.
EuroPat v2
Subsequently,
the
substrate
is
thinned
from
the
wafer
back,
an
etchant
being
used
which
selectively
etches
N+
-doped
silicon
in
the
presence
of
N-doped
silicon.
Anschliessend
wird
das
Substrat
von
der
Plättchenrückseite
her
gedünnt,
wobei
ein
Ätzmittel
verwendet
wird,
welches
N
+-
dotiertes
Silicium
in
Gegenwart
von
N-dotiertem
Silicium
selektiv
ätzt.
EuroPat v2
The
structure
is
then
subjected
to
a
dry
plasma
etching
process
using
a
reactive
gas
which
etches
the
exposed
portions
of
metal
24
and
metal
16.
Die
Struktur
wird
dann
einem
Trocken-Plasma-
Ätzverfahren
unter
Verwendung
eines
reaktiven
Gases
unterworfen,
bei
dem
Fenster
30'
und
31'
in
die
freiliegenden
Bereiche
des
dritten
und
zweiten
Metallfilms
24
und
16
geätzt
werden.
EuroPat v2