Translation of "Silicon nitride" in German

Disposed over the diffusion layer 11 is a layer of silicon nitride 13.
Über der Diffusionsschicht 11 erstreckt sich eine Schicht 13 aus Siliciumnitrid.
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In addition, silicon nitride could be replaced by silicon oxynitride or another masking material.
Ferner könnte Siliciumnitrid durch Silicium-Oxinitrid oder ein anderes Maskenmaterial ersetzt werden.
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Buffered hydrofluoric acid attacks silicon dioxide but does not substantially attack either silicon nitride or silicon oxynitride.
Gepufferte Fluorwasserstoffsäure ätzt Siliciumdioxid, greift aber kaum Siliciumnitrid oder Siliciumoxynitrid an.
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Silicon dioxide and silicon nitride, however, are still etched by this mixture.
Siliciumdioxid, Siliciumnitrid werden jedoch von so zusammengesetzten Gasmischungen noch geätzt.
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The properties of objects formed from silicon nitride are largely determined by its purity.
Die Eigenschaften der aus Siliciumnitrid geformten Gegenstände werden weitgehend von dessen Reinheit bestimmt.
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The invention relates to a method for production of molded articles from reactively combined silicon nitride.
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus reaktionsgebundenem Sili­ziumnitrid.
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The production of such reactively combined silicon nitride has been known already for some time.
Die Herstellung von solchem reaktionsgebundenem Sili­ziumnitrid ist schon seit längerer Zeit bekannt.
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The insulating layer 18 is preferably made of aluminum oxide or silicon nitride.
Dabei wird die Isolierschicht 18 vorzugsweise aus Aluminiumoxid oder Siliziumnitrid gebildet.
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Suitable materials are, for example, silicon nitride or aluminum oxide.
Als geeignete Materialien sind z.B. Siliziumnitrid oder Aluminiumoxid zu nennen.
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The via holes to the gate electrodes must be opened after the silicon nitride etching.
Die Kontaktlöcher zu den Gateelektroden müssen nach der Siliziumnitridätzung geöffnet werden.
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Further difficulties are presented in the lithographic dissolution process and in the silicon nitride etching.
Weitere Schwierigkeiten ergeben sich bei der lithographischen Auflösung und bei der Siliziumnitridätzung.
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The circumstances are different when using silicon nitride as the ceramic material.
Anders liegen die Verhältnisse bei der Verwendung von Siliziumnitrid als keramischem Material.
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Various processes for the preparation of silicon nitride by way of silicon diimide as intermediate stage have become known.
Verschiedene Verfahren zur Herstellung von Siliciumnitrid über Siliciumdiimid als Zwischenstufe sind bekannt geworden.
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Subsequently, a thin auxiliary layer of, for example, silicon nitride is deposited.
Anschließend wird eine dünne Hilfsschicht zum Beispiel aus Siliziumnitrid abgeschieden.
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Again, particularly preferred as a material for the second encapsulating layer is silicon nitride.
Besonders bevorzugt als Material für die zweite Kapselschicht ist wiederum Siliciumnitrid.
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The main surface is exposed and the oxidation masking layer 7 of silicon nitride is deposited.
Die Hauptfläche wird freigelegt und die Oxidationsmaskierungsschicht 7 aus Siliciumnitrid aufgebracht.
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Shaped articles consisting of polycrystalline silicon nitride or polycrystalline silicon carbide are known.
Formkörper sowohl aus polykristallinem Siliciumnitrid als auch aus polykristallinem Siliciumcarbid sind bekannt.
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Up to 10% by volume of silicon is contained in the silicon nitride obtained.
Im erhaltenen Siliziumnitrid ist bis zu 10 Vol.-% Silizium enthalten.
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Especially preferred are quartz glass, silicate glass as well as amorphous silicon nitride.
Besonders bevorzugt werden Quarzglas, Silikatglas sowie amorphes Siliciumnitrid.
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