Translation of "Silicon nitride" in German
Disposed
over
the
diffusion
layer
11
is
a
layer
of
silicon
nitride
13.
Über
der
Diffusionsschicht
11
erstreckt
sich
eine
Schicht
13
aus
Siliciumnitrid.
EuroPat v2
In
addition,
silicon
nitride
could
be
replaced
by
silicon
oxynitride
or
another
masking
material.
Ferner
könnte
Siliciumnitrid
durch
Silicium-Oxinitrid
oder
ein
anderes
Maskenmaterial
ersetzt
werden.
EuroPat v2
Buffered
hydrofluoric
acid
attacks
silicon
dioxide
but
does
not
substantially
attack
either
silicon
nitride
or
silicon
oxynitride.
Gepufferte
Fluorwasserstoffsäure
ätzt
Siliciumdioxid,
greift
aber
kaum
Siliciumnitrid
oder
Siliciumoxynitrid
an.
EuroPat v2
Silicon
dioxide
and
silicon
nitride,
however,
are
still
etched
by
this
mixture.
Siliciumdioxid,
Siliciumnitrid
werden
jedoch
von
so
zusammengesetzten
Gasmischungen
noch
geätzt.
EuroPat v2
The
properties
of
objects
formed
from
silicon
nitride
are
largely
determined
by
its
purity.
Die
Eigenschaften
der
aus
Siliciumnitrid
geformten
Gegenstände
werden
weitgehend
von
dessen
Reinheit
bestimmt.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
method
for
production
of
molded
articles
from
reactively
combined
silicon
nitride.
Die
vorliegende
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
Formkörpern
aus
reaktionsgebundenem
Siliziumnitrid.
EuroPat v2
The
production
of
such
reactively
combined
silicon
nitride
has
been
known
already
for
some
time.
Die
Herstellung
von
solchem
reaktionsgebundenem
Siliziumnitrid
ist
schon
seit
längerer
Zeit
bekannt.
EuroPat v2
The
insulating
layer
18
is
preferably
made
of
aluminum
oxide
or
silicon
nitride.
Dabei
wird
die
Isolierschicht
18
vorzugsweise
aus
Aluminiumoxid
oder
Siliziumnitrid
gebildet.
EuroPat v2
Suitable
materials
are,
for
example,
silicon
nitride
or
aluminum
oxide.
Als
geeignete
Materialien
sind
z.B.
Siliziumnitrid
oder
Aluminiumoxid
zu
nennen.
EuroPat v2
The
via
holes
to
the
gate
electrodes
must
be
opened
after
the
silicon
nitride
etching.
Die
Kontaktlöcher
zu
den
Gateelektroden
müssen
nach
der
Siliziumnitridätzung
geöffnet
werden.
EuroPat v2
Further
difficulties
are
presented
in
the
lithographic
dissolution
process
and
in
the
silicon
nitride
etching.
Weitere
Schwierigkeiten
ergeben
sich
bei
der
lithographischen
Auflösung
und
bei
der
Siliziumnitridätzung.
EuroPat v2
The
circumstances
are
different
when
using
silicon
nitride
as
the
ceramic
material.
Anders
liegen
die
Verhältnisse
bei
der
Verwendung
von
Siliziumnitrid
als
keramischem
Material.
EuroPat v2
Various
processes
for
the
preparation
of
silicon
nitride
by
way
of
silicon
diimide
as
intermediate
stage
have
become
known.
Verschiedene
Verfahren
zur
Herstellung
von
Siliciumnitrid
über
Siliciumdiimid
als
Zwischenstufe
sind
bekannt
geworden.
EuroPat v2
Subsequently,
a
thin
auxiliary
layer
of,
for
example,
silicon
nitride
is
deposited.
Anschließend
wird
eine
dünne
Hilfsschicht
zum
Beispiel
aus
Siliziumnitrid
abgeschieden.
EuroPat v2
Again,
particularly
preferred
as
a
material
for
the
second
encapsulating
layer
is
silicon
nitride.
Besonders
bevorzugt
als
Material
für
die
zweite
Kapselschicht
ist
wiederum
Siliciumnitrid.
EuroPat v2
The
main
surface
is
exposed
and
the
oxidation
masking
layer
7
of
silicon
nitride
is
deposited.
Die
Hauptfläche
wird
freigelegt
und
die
Oxidationsmaskierungsschicht
7
aus
Siliciumnitrid
aufgebracht.
EuroPat v2
Shaped
articles
consisting
of
polycrystalline
silicon
nitride
or
polycrystalline
silicon
carbide
are
known.
Formkörper
sowohl
aus
polykristallinem
Siliciumnitrid
als
auch
aus
polykristallinem
Siliciumcarbid
sind
bekannt.
EuroPat v2
Up
to
10%
by
volume
of
silicon
is
contained
in
the
silicon
nitride
obtained.
Im
erhaltenen
Siliziumnitrid
ist
bis
zu
10
Vol.-%
Silizium
enthalten.
EuroPat v2
Especially
preferred
are
quartz
glass,
silicate
glass
as
well
as
amorphous
silicon
nitride.
Besonders
bevorzugt
werden
Quarzglas,
Silikatglas
sowie
amorphes
Siliciumnitrid.
EuroPat v2