Translation of "Process heating" in German
For
the
first
heating
process,
a
tube
furnace
is
used
which
is
generally
employed
in
semiconductor
technology.
Für
den
ersten
Wärmeprozeß
wird
ein
in
der
Halbleitertechnik
üblicher
Rohrofen
verwendet.
EuroPat v2
After
the
removal
of
the
boron
glass,
the
silicon
wafers
are
exposed
to
the
second
heating
process.
Nach
dem
Ablösen
des
Borglases
werden
die
Siliciumplättchen
dem
zweiten
Wärmeprozess
unterworfen.
EuroPat v2
The
gases
and
vapors
developing
during
this
heating
process
are
let
off
into
the
atmosphere.
Bei
diesem
Aufheizvorgang
sich
entwickelnde
Gase
und
Dämpfe
werden
in
die
Atmosphäre
abgeführt.
EuroPat v2
In
this
process,
heating
can
be
effected
up
to
150°
C.
Die
Erwärmung
kann
hierbei
auf
bis
zu
150°C
erfolgen.
EuroPat v2
1C)
are
exposed
to
a
second
heating
process.
1C)
einem
zweiten
Wärmeprozeß
unterworfen.
EuroPat v2
The
heating
process
is
thereby
divided
into
stages.
Dabei
wird
der
Aufheizvorgang
in
Stufen
eingeteilt.
EuroPat v2
The
heating
process
also
takes
longer,
owing
to
the
high
heat
capacity.
Der
Wärmeprozess
dauert
wegen
der
großen
Wärmekapazität
auch
länger.
EuroPat v2
The
temperature
gradients
resulting
from
the
heating
process
can
be
controlled
extremely
well.
Die
bei
der
Erwärmung
entstehenden
Temperaturgradienten
können
extrem
gut
gesteuert
werden.
EuroPat v2
This
invention
relates
to
a
process
for
heating
up
moist
gases
containing
hydrogen
halides.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zum
Aufheizen
halogenwasserstoffhaltiger
feuchter
Gase.
EuroPat v2
After
the
heating
process,
the
preforms
are
fed
to
a
blowing
device
23.
Nach
dem
Aufheizen
werden
die
Vorformlinge
einer
Streckblasmaschine
23
zugeführt.
EuroPat v2