Translation of "Deposition chamber" in German
The
walls
of
the
deposition
chamber
1
also
have
a
plenum
ventilation
port
5
(FIGS.
In
den
Wänden
der
Aufstäubungskammer
1
sind
eine
Zuluftöffnung
5
(Fig.
EuroPat v2
These
substrates
are
provided
in
the
deposition
chamber
of
a
laser-ablation
deposition
device.
Diese
Unterlagen
werden
in
die
Depositionskammer
einer
Laser-Ablations-Depositionsanlage
gebracht.
EuroPat v2
Explosion
valves
may
be
provided
in
the
upper
wall
of
the
deposition
chamber
1.
In
der
oberen
Wand
der
Aufstäubungskammer
1
können
Explosionsklappen
angeordnet
sein.
EuroPat v2
This
results
in
their
accumulation
in
the
interior
space
of
the
deposition
chamber.
Dies
führt
zur
Anhäufung
derselben
im
Raum
der
Aufstäubungskammer.
EuroPat v2
Preferably
the
overflow
pipe
empties
into
the
deposition
chamber
in
the
area
of
its
longitudinal
axis.
Vorzugsweise
mündet
das
Überlaufrohr
in
die
Abscheidekammer
im
Bereich
deren
Längsachse
ein.
EuroPat v2
The
sacrificial
layer
can
also
be
removed
from
the
elements
which
delimit
the
deposition
chamber.
Die
Opferschicht
kann
auch
von
den
den
Abscheideraum
begrenzenden
Elementen
entfernt
werden.
EuroPat v2
The
etching-back
zone
can
thereby
be
disposed
in
front
of,
in
or
after
the
deposition
chamber.
Die
Rückätzzone
kann
dabei
vor,
in
oder
nach
dem
Abscheideraum
angeordnet
sein.
EuroPat v2
At
this
thermalizing
pressure,
the
temperature
profile
in
the
deposition
chamber
is
adjusted.
Bei
diesem
Thermalisierdruck
wird
das
Temperaturprofil
in
der
Depositionskammer
eingestellt.
EuroPat v2
The
vapour
deposition
chamber
was
evacuated
to
a
pressure
of
10-
6
mbar.
Die
Aufdampfkammer
wurde
abgepumpt
bis
auf
einen
Druck
von
10
-6
mbar.
EuroPat v2
In
the
deposition
chamber,
any
number
of
these
blocks
are
disposed
in
succession.
In
der
Abscheidekammer
sind
beliebig
viele
dieser
Blöcke
hintereinander
angeordnet.
EuroPat v2
They
flow
through
the
deposition
chamber
1
without
depositing.
Sie
durchströmen
die
Depositionskammer
1,
ohne
dort
zu
deponieren.
EuroPat v2
Further,
the
plasma
chamber
(PCVD,
CVD)
and
the
deposition
chamber
may
be
arranged
consecutively
in
a
spatially
separated
manner.
Auch
können
Plasmakammer
(PCVD,
CVD)
und
Depositionskammer
räumlich
voneinander
getrennt
nacheinander
angeordnet
sein.
EuroPat v2
The
pressure
in
the
stripping
chamber
is
higher
than
in
the
vapor
deposition
chamber
and
lower
than
atmospheric
pressure.
Der
Druck
ist
in
der
Ablösekammer
höher
als
in
der
Aufdampfkammer
sowie
niedriger
als
der
Atmosphärendruck.
EuroPat v2
The
deposition
chamber
1
has
two
sealed
inlets
19
and
20
(FIG.
Die
Aufstäubungskammer
1
ist
mit
zwei
hermetisch
dichten
Durchführungen
19
und
20
(Fig.
EuroPat v2
Accommodation
of
the
deposition
equipment
in
the
deposition
chamber
results
in
difficulties
associated
with
maintenance
of
the
equipment.
Die
Unterbringung
der
Aufstäubungsausrüstung
in
der
Aufstäubungskammer
fürt
zu
einer
komplizierteren
Bedienung
dieser
Ausrüstung.
EuroPat v2
Furthermore,
a
deposition
chamber
5
with
an
angular
running
separator
50
with
gas
through-holes
51
is
provided.
Weiter
ist
eine
Abscheidekammer
5
mit
einem
schräg
verlaufenden
Abscheider
50
mit
Gasdurchtrittsöffnungen
51
vorgesehen.
EuroPat v2