Übersetzung für "Buried layer" in Deutsch
This
process
for
producing
the
buried,
insulating
layer
will,
however,
cause
crystal
damage.
Bei
diesem
Verfahren
zum
Erzeugen
der
vergrabenen
isolierenden
Schicht
entstehen
jedoch
Kristallschäden.
EuroPat v2
For
that
purpose,
a
buried
SiO2
layer
is
formed
by
implantation
of
oxygen.
Dazu
wird
durch
Implantation
von
Sauerstoff
eine
vergrabene
SiO?-Schicht
gebildet.
EuroPat v2
The
present
invention
relates
to
a
method
for
manufacturing
a
laser
diode
with
a
buried
active
layer.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Herstellung
einer
Laserdiode
mit
vergrabener
aktiver
Schicht.
EuroPat v2
In
other
embodiments,
the
buried
layer
70
may
not
be
present.
Bei
einem
anderen
Ausführungsbeispiel
ist
die
vergrabene
Schicht
70
nicht
vorhanden.
EuroPat v2
The
transistor
210
can
also
be
embodied
with
a
heavily
n-doped
buried
insulating
layer.
Auch
der
Transistor
210
lässt
sich
mit
stark
n-dotierter
vergrabener
Isolierschicht
ausführen.
EuroPat v2
Those
interrupted
regions
of
the
buried
oxide
layer
are
filled
by
epitaxially
deposited
monocrystalline
silicon.
Diese
unterbrochenen
Bereiche
der
vergrabenen
Oxidschicht
sind
durch
epitaktisch
abgeschiedenes
einkristallines
Silizium
aufgefüllt.
EuroPat v2
These
transition
metals
ensure
a
particularly
low
sheet
resistance
of
the
buried
layer.
Diese
Übergangsmetalle
gewährleisten
einen
besonders
niedrigen
Schichtwiderstand
der
vergrabenen
Schicht.
EuroPat v2
The
lower
source/drain
regions
can
be
produced
from
a
doped
layer
buried
in
the
substrate.
Die
unteren
Source-/Drain-Gebiete
können
aus
einer
im
Substrat
vergrabenen
dotierten
Schicht
erzeugt
werden.
EuroPat v2
The
contacting
for
the
buried
layer
is
produced
using
a
trench.
Die
Kontaktierung
für
die
vergrabene
Schicht
wird
unter
Verwendung
eines
Grabens
hergestellt.
EuroPat v2
The
i-layer
is
grown
on
the
buried
layer
by
an
epitaxy
method.
Die
i-Schicht
wird
durch
Epitaxieverfahren
auf
der
Buried-Layer
aufgewachsen.
EuroPat v2
The
buried
layer
is
generated
in
the
manner
known
per
se
at
the
substrate
surface
before
it
is
epitaxially
coated.
Der
buried-Layer
wird
in
bekannter
Weise
an
der
Substratoberfläche
vor
deren
epitaktischer
Beschichtung
erzeugt.
EuroPat v2
During
the
epitaxial
layer
growth
there
is
some
outdiffusion
of
the
buried
layer
into
the
epitaxial
layer.
Während
des
Wachstums
der
Epitaxieschicht
erfolgt
eine
gewisse
Ausdiffusion
des
vergrabenen
Bereiches
in
die
Epitaxieschicht
hinein.
EuroPat v2
This
should
be
followed
by
a
heat-treatment
step
or
homogeneous
distribution
of
the
doping
atoms
in
the
buried
layer
11
.
Hieran
sollte
ein
Temperaturschritt
zur
homogenen
Verteilung
der
Dotieratome
in
der
vergrabenen
Schicht
11
angeschlossen
werden.
EuroPat v2
A
p-doped
base
drift
zone
15
is
provided
between
the
base
zone
13
and
the
buried
layer.
Zwischen
der
Basiszone
13
und
der
vergrabenen
Schicht
ist
ein
p-dotiertes
Basisdriftgebiet
15
vorgesehen.
EuroPat v2
In
the
case
of
the
transistor
110,
the
trench
134
extends
into
the
buried
layer
170
.
Beim
Transistor
110
erstreckt
sich
der
Graben
134
in
die
vergrabene
Schicht
170
hinein.
EuroPat v2
The
buried
oxide
layer
301
is
partially
removed
in
those
regions
(FIG.
12).
Die
vergrabene
Oxidschicht
301
wird
in
diesen
Bereichen
teilweise
entfernt
(Figur
12).
EuroPat v2
As
an
alternative,
it
may
also
be
provided
to
continue
the
routing
of
the
contactings
buried
under
layer
210
.
Alternativ
kann
auch
vorgesehen
sein,
die
Kontaktierungen
vergraben
unter
der
Schicht
210
weiterzuführen.
EuroPat v2
As
can
be
seen
here,
the
anti-wave
guiding
layers
20
may
be
implemented
as
a
buried
layer
(FIGS.
Wie
zu
erkennen
ist,
können
die
Antiwellenleiterschichten
20
als
vergrabene
Schicht
(Fig.
EuroPat v2
Secondly,
the
collector-substrate
capacitance
of
the
bipolar
transistor
is
also
increased
proportionally
to
the
increasing
area
of
the
buried
layer.
Zum
anderen
wird
auch
die
Kollektor-Substrat-Kapazität
des
Bipolartransistors
proportional
zur
zunehmenden
Fläche
der
vergrabenen
Schicht
vergrößert.
EuroPat v2
A
transition
metal
that
yields
a
minimum
sheet
resistance
of
the
buried
layer
is
typically
chosen.
Typischerweise
wird
ein
Übergansmetall
gewählt,
das
einen
möglichst
niedrigen
Schichtwiderstand
der
vergrabenen
Schicht
liefert.
EuroPat v2