Übersetzung für "Transfer canal" in Deutsch
In
general,
however,
the
transfer
canal
may
also
be
designed
as
an
integrated
component
of
the
transport
chamber,
or
may
be
mobile.
Generell
kann
die
Schleuse
allerdings
auch
als
integrierter
Bestandteil
der
Transportkammer
oder
selbst
mobil
ausgebildet
sein.
EuroPat v2
FIG.
6
shows
the
shape
of
the
exit
cross
section
10
of
the
transfer
canal
part
2
which
adjoins
the
entrance
cross
section
9
of
the
transition
part
3.
Figur
6
zeigt
die
Form
des
Austrittsquerschnitts
10
des
Überleitkanalteils
2,
der
an
den
Eintrittsquerschnitt
9
des
Übergangsteils
3
anschließt.
EuroPat v2
The
exit
cross
section
10
of
the
transfer
canal
part
2
is
formed
by
the
outline
contours
18,
19,
20,
21
and
22.
Der
Austrittsquerschnitt
10
des
Überleitkanalteils
2
wird
von
den
Umrißkonturen
18,
19,
20,
21
und
22
gebildet.
EuroPat v2
To
transfer
the
work
pieces,
which
have
been
heated
to
a
certain
temperature
in
the
vacuum
furnace,
to
a
further
treatment
chamber,
such
as
a
quenching
chamber,
the
transport
chamber
is
coupled
to
the
transfer
canal
and
preheated.
Um
die
in
dem
Vakuumofen
auf
eine
bestimmte
Temperatur
erwärmten
Werkstücke
in
eine
weitere
Behandlungskammer,
etwa
eine
Abschreckkammer,
überzuführen,
wird
die
Transportkammer
an
die
Schleuse
gekoppelt
und
vorgewärmt.
EuroPat v2
A
semiconductor
product
to
be
treated,
usually
a
wafer,
is
introduced
from
a
transfer
region
15
upstream
of
the
reaction
chamber
10,
through
a
transfer
canal
20,
into
the
reaction
chamber
10
.
Das
zu
behandelnde
Halbleiterprodukt,
üblicherweise
ein
Wafer,
wird
von
einem
Transferbereich
15
vor
der
Reaktionskammer
10
über
eine
Schleuse
20
in
die
Reaktionskammer
10
eingeführt.
EuroPat v2
The
semiconductor
product
is
moved
from
the
first
station
21
downstream
of
the
transfer
canal
20
to
a
station
23,
through
the
use
of
a
non-illustrated
transport
mechanism.
Von
der
ersten
Station
21
hinter
der
Schleuse
20
wird
das
Halbleiterprodukt
durch
einen
nicht
gezeigten
Transportmechanismus
zu
der
Station
23
bewegt.
EuroPat v2
If
the
semiconductor
product
is
disposed
at
the
station
27
and
the
process
of
layer
deposition
is
finished,
the
semiconductor
product
is
transported
from
the
station
27
to
the
station
21
and
removed
from
the
reaction
chamber
through
the
use
of
the
transfer
canal
20
.
Befindet
sich
das
Halbleiterprodukt
auf
der
Station
27
und
ist
der
Prozeß
der
Schichtabscheidung
beendet,
wird
das
Halbleiterprodukt
von
der
Station
27
zu
der
Station
21
transportiert
und
durch
die
Schleuse
20
aus
der
Reaktionskammer
entfernt.
EuroPat v2
After
this,
a
new
semiconductor
product
is
once
again
conducted
into
the
reaction
chamber
10
through
the
transfer
canal
20
and
through
the
station
21
to
the
station
23
.
Danach
wird
wieder
ein
neues
Halbleiterprodukt
durch
die
Schleuse
20,
über
die
Station
21
zu
der
Station
23
in
die
Reaktionskammer
10
geführt.
EuroPat v2
On
the
way
from
the
transfer
canal
50
to
a
station
51,
the
semiconductor
product
is
guided
through
under
a
gas
inlet
52,
through
the
use
of
which
a
protective
gas
is
supplied
to
the
surface
of
the
semiconductor
product.
Auf
dem
Weg
von
der
Schleuse
50
zu
einer
Station
51
wird
das
Halbleiterprodukt
unter
einem
Gaseinlaß
52
durchgeführt,
durch
den
ein
Schutzgas
auf
die
Oberfläche
des
Halbleiterprodukts
geleitet
wird.
EuroPat v2
In
this
case,
through
the
use
of
the
protective
gas,
on
one
hand
the
aggressive
gasses
present
in
the
reaction
chamber,
for
example
WF
6
and
HF,
are
thinned
at
the
position
downstream
of
the
transfer
canal
50,
and
on
the
other
hand
a
part
of
the
protective
gas
adsorbs
onto
the
cold
surface
so
that
preferably
reactions
of
the
aggressive
gas
with
the
protective
gas
occur
on
the
surface
and
the
surface
layers
themselves
remain
essentially
undamaged.
Wiederum
werden
durch
das
Schutzgas
einerseits
die
in
der
Reaktionskammer
anwesenden
aggressive
Gase,
beispielsweise
WF
6
und
HF,
an
der
Position
hinter
Schleuse
50
verdünnt,
andererseits
adsorbiert
ein
Teil
des
Schutzgases
an
der
kalten
Oberfläche,
so
daß
es
an
der
Oberfläche
bevorzugt
zu
Reaktionen
von
dem
aggressiven
Gas
mit
dem
Schutzgas
kommt
und
die
Oberflächenschichten
selbst
im
wesentlichen
unbeschädigt
bleiben.
EuroPat v2
To
attain
the
above
object
involving
a
system
for
the
heat
treatment
of
metallic
work
pieces
having
the
above-mentioned
characterizing
features,
it
is
proposed
that
an
arrangement
in
accordance
with
one
of
the
claims
1
through
11
be
coupled
to
the
treatment
chamber
via
a
transfer
canal
from
which
the
air
can
be
evacuated.
Zur
Lösung
der
obigen
Aufgabe
wird
bei
einer
Anlage
zur
Wärmebehandlung
metallischer
Werkstücke
mit
den
eingangs
genannten
Merkmalen
vorgeschlagen,
daß
eine
Vorrichtung
nach
einem
der
Ansprüche
1
bis
9
mittels
einer
evakuierbaren
Schleuse
an
die
Behandlungskammer
ankoppelbar
ist.
EuroPat v2
The
doors
of
vacuum
preheating
chamber
50a
and
transfer
canal
60,
along
with
loading
door
15
of
transport
chamber
10,
are
then
opened,
and
work
pieces
20
are
loaded
via
the
loading
fork
41
into
transport
chamber
10.
Sodann
werden
die
Türen
der
Vakuum-Vorwärmkammer
50a
und
der
Schleuse
60
sowie
die
Beladetür
15
der
Transportkammer
10
geöffnet
und
die
Werkstücke
20
mittels
der
Ladegabel
41
in
die
Transportkammer
10
verfrachtet.
EuroPat v2
The
individual
treatment
chambers
are
ordinarily
connected
to
one
another
via
a
transfer
canal,
which
serves
to
protect
the
work
pieces
during
transport
from
environmental
influences
that
could
produce
undesirable
effects
on
the
treatment
results
achieved
up
to
that
point.
Die
einzelnen
Behandlungskammern
sind
zu
diesem
Zweck
in
der
Regel
durch
eine
Transferschleuse,
welche
die
Werkstücke
während
des
Transports
vor
Umgebungseinflüssen
schützt,
die
das
bis
dahin
erreichte
Behandlungsergebnis
in
nachteiliger
Weise
beeinträchtigen
würden,
miteinander
verbunden.
EuroPat v2
To
this
end,
the
transfer
canal
can
be
either
filled
with
a
protective
atmosphere,
such
as
is
known,
for
example,
from
DE-A-43
16
841,
or
evacuated
of
air,
such
as
is
proposed
in
FR-A-2
771
754.
Die
Transferschleuse
ist
hierfür
entweder
mit
einer
Schutzgasatmosphäre
beaufschlagbar,
wie
beispielsweise
aus
der
DE-A-43
16
841
bekannt,
oder
evakuierbar,
wie
in
der
FR-A-2
771
754
vorgeschlagen
wird.
EuroPat v2
When
the
same
pressure
level
has
been
reached
in
the
vacuum
furnace
and
in
the
transfer
canal
or
transport
chamber,
the
door
of
the
vacuum
furnace
is
opened,
and
the
work
pieces
are
loaded
inside
via
the
lifting
device
that
is
part
of
the
transport
chamber.
Nachdem
im
Vakuumofen
und
in
der
Schleuse
beziehungsweise
Transportkammer
das
gleiche
Druckniveau
erreicht
ist,
wird
die
Tür
des
Vakuumofens
geöffnet
und
die
Werkstücke
mittels
der
Fördereinrichtung
der
Transportkammer
in
diese
hinein
verladet.
EuroPat v2
The
inclusion
of
the
transfer
canal
ensures
that
the
work
pieces
can
be
transported
between
a
treatment
chamber
and
the
transport
chamber,
protected
from
any
environmental
influences.
Durch
das
Vorsehen
der
Schleuse
ist
dabei
sichergestellt,
daß
die
Werkstücke
vor
Umgebungseinflüssen
geschützt
zwischen
einer
Behandlungskammer
und
der
Transportkammer
verfrachtet
werden
können.
EuroPat v2
To
ensure
a
highly
compact
and
relatively
lightweight
design
for
the
transport
chamber,
it
is
expedient
to
place
the
transfer
canal
on
the
treatment
chamber,
in
a
stationary
position.
Um
eine
möglichst
kompakte
und
verhältnismäßig
leichtgewichtige
Gestaltung
der
Transportkammer
zu
gewähren,
ist
es
zweckvoll,
die
Schleuse
stationär
an
der
Behandlungskammer
anzuordnen.
EuroPat v2
Although
the
latter
embodiment
is
associated
with
higher
construction
costs,
it
makes
sense
to
employ
such
a
design
when
the
heat
treatment
system
is
comprised
of
a
large
number
of
treatment
chambers
with
long
residence
times
for
the
work
pieces,
so
that
a
mobile
transfer
canal
can
be
used
for
a
number
of
treatment
chambers
without
problems
with
time
constraints.
Letztere
Ausführung
ist
zwar
mit
einem
höheren
konstruktiven
Aufwand
verbunden,
bietet
sich
aber
etwa
dann
an,
wenn
die
Wärmebehandlungsanlage
über
eine
große
Anzahl
an
Behandlungskammern
mit
jeweils
langen
Verweilzeiten
der
Werkstücke
verfügt,
so
daß
eine
mobile
Schleuse
in
zeitlicher
Hinsicht
unproblematisch
für
mehrere
Behandlungskammern
eingesetzt
werden
kann.
EuroPat v2
Further,
with
such
a
design
it
is
possible
for
the
transfer
canal
to
be
evacuated
during
the
conveyance
of
the
transport
chamber
to
the
corresponding
treatment
chamber,
thus
ensuring
the
most
rapid
process
possible.
Zudem
ist
es
auf
diese
Weise
möglich,
die
Schleuse
bereits
während
des
Transports
der
Transportkammer
an
die
entsprechende
Behandlungskammer
zu
evakuieren,
um
einen
möglichst
raschen
Verfahrensablauf
zu
gewähren.
EuroPat v2
Depending
upon
the
specific
application,
however,
it
is
also
possible
for
the
transfer
canal
to
be
evacuated
via
a
vacuum
pump
that
is
part
of
the
transport
chamber.
Je
nach
Anwendungsfall
ist
es
allerdings
auch
denkbar,
daß
die
Schleuse
durch
eine
an
der
Transportkammer
angeordnete
Vakuumpumpe
evakuiert
wird.
EuroPat v2
In
one
particularly
advantageous
embodiment
of
the
system
specified
in
the
invention,
the
transfer
canal
is
equipped
with
a
drive
mechanism
for
actuating
the
loading
door
of
the
transport
chamber.
In
einer
besonders
vorteilhaften
Ausgestaltung
der
erfindungsgemäßen
Anlage
weist
die
Schleuse
einen
Antrieb
auf,
durch
den
die
Beladetür
der
Transportkammer
betätigbar
ist.
EuroPat v2
In
a
further
development
of
the
method
specified
in
the
invention
it
is
further
proposed
that
the
transport
chamber
be
coupled
to
the
given
treatment
chamber
via
a
transfer
canal,
to
capitalize
on
the
advantages
described
above.
In
Weiterbildung
des
erfindungsgemäßen
Verfahrens
wird
fernerhin
vorgeschlagen,
die
Transportkammer
mittels
einer
Schleuse
an
die
jeweilige
Behandlungskammer
anzukoppeln,
um
die
weiter
oben
beschriebenen
Vorteile
zu
nutzen.
EuroPat v2
Finally,
it
is
proposed
that
the
transfer
canal
be
evacuated
separately,
in
order
to
ensure
a
continuous
coupling
of
the
transport
chamber.
Schließlich
wird
vorgeschlagen,
die
Schleuse
gesondert
zu
evakuieren,
um
ein
zügiges
Ankoppeln
der
Transportkammer
sicherzustellen.
EuroPat v2
In
order
to
transport
untreated
work
pieces
20,
which
were
first
moved
via
a
conveyor
belt
or
roller
belt
51
into
vacuum
preheating
chamber
50
a,
into
treatment
chambers
50
that
correspond
to
the
current
heat
treatment
process,
transport
chamber
10
of
transport
arrangement
70
is
coupled
to
vacuum
preheating
chamber
50
a
via
stationary
transfer
canal
60
that
is
positioned
in
front
of
each
treatment
chamber
50.
Um
die
über
ein
Förderband
oder
eine
Rollenbahn
51
in
die
Vakuum-Vorwärmkammer
50a
zu
Beginn
eingebrachten,
unbehandelten
Werkstücke
20
in
die
der
jeweiligen
Wärmebehandlung
entsprechenden
Behandlungskammern
50
zu
transportieren,
wird
die
Transportkammer
10
der
Transportvorrichtung
70
über
die
stationär
vor
jeder
Behandlungskammer
50
angeordnete
Schleuse
60
an
die
Vakuum-Vorwärmkammer
50a
angekoppelt.
EuroPat v2