Übersetzung für "Plasma etching" in Deutsch

One method of etching is by process of plasma etching or reactive ion etching.
Ein Ätzverfahren ist das Plasmaätzen oder reaktive Ionenätzen.
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This type of etching is commonly termed reactive ion or plasma etching.
Diese Art von Ätzen wird allgemein als reaktives Ionen- oder Plasmaätzen bezeichnet.
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Besides plasma etching, sputter etching can also be used in the method according to the invention.
Außer dem Plasmaätzen kann auch beim erfindungsgemäßen Verfahren das Sputterätzen verwendet werden.
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Plasma etching through a mechanical mask is also feasible.
Plasmaätzen durch eine mechanische Maske kommt ebenfalls infrage.
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Plasma etching has been found to be advantageous.
Als vorteilhaft hat sich ein Plasmaätzen gezeigt.
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The platinum layer 3 is structured through the use of a so-called plasma-assisted anisotropic etching process.
Die Strukturierung der Platinschicht 3 erfolgt durch ein sogenanntes plasmaunterstütztes anisotropes Ätzverfahren.
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Thus, for example, plasma-chemical etching methods with pure argon plasmas can be used.
So können beispielsweise plasmachemische Ätzverfahren mit reinen Argonplasmen verwendet werden.
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