Übersetzung für "Plasma enhanced" in Deutsch
Plasma
enhanced
Chemical
Vapour
Deposition
(CVD)
equipment
as
follows:
Ausrüstung
für
plasmaunterstützte
chemische
Abscheidung
(PECVD)
wie
folgt:
DGT v2019
Such
is
the
case,
for
example,
with
plasma-enhanced
processes.
Dieses
ist
zum
Beispiel
bei
plasmaunterstützten
Prozessen
der
Fall.
EuroPat v2
The
coating
process
selected
for
this
example
is
the
PECVD
(Plasma
Enhanced
Chemical
Vapor
Deposition)
method.
Als
Beschichtungsprozeß
wurde
das
PECVD
(Plasma
Enhanced
Chemical
Vapor
Deposition)-Verfahren
gewählt.
EuroPat v2
The
filter
layer
is
produced
by
sputtering
or
plasma-enhanced
vapor
deposition.
Die
Filterschicht
wird
dabei
durch
Sputtern
oder
plasmaunterstütztes
Bedampfen
hergestellt.
EuroPat v2
This
plasma-enhanced
catalytic
reaction
can
be
schematically
divided
into
two
steps:
Diese
plasmaunterstützte
katalytische
Reaktion
kann
schematisch
in
zwei
Schritte
unterteilt
werden:
EuroPat v2
Plasma-enhanced
CVD-depositions,
for
instance,
can
be
provided
with
high
deposition
rates.
Beispielsweise
können
plasmaunterstützte
CVD-Abscheidungen
mit
hohen
Abscheideraten
realisiert
werden.
EuroPat v2
But
here,
the
option
of
plasma
enhanced
CVD
coating
(PECVD)
lends
itself.
Hier
bietet
sich
jedoch
die
Möglichkeit
der
Plasmaunterstützten
CVD-Beschichtung
(PECVD)
an.
EuroPat v2
Such
a
layer
can
be
applied,
for
example,
by
plasma-enhanced
or
chemical
vapor
deposition
methods.
Eine
solche
Schicht
kann
beispielsweise
durch
plasmaunterstützte
oder
chemische
Aufdampfungsverfahren
aufgebracht
werden.
EuroPat v2
Above
it
is
shown
schematically
the
plasma
34
of
the
plasma-enhanced
precipitation
process.
Darüber
ist
schematisch
das
Plasma
34
des
plasmaunterstützten
Abscheideverfahrens
dargestellt.
EuroPat v2
A
plasma-enhanced
chemical
vapor
deposition
method
or
an
atomic
layer
deposition
method
may
be
used,
for
example.
Beispielsweise
kann
ein
plasmaunterstütztes
chemisches
Gasphasenabscheideverfahren
oder
ein
Atomlagenabscheideverfahren
verwendet
werden.
EuroPat v2
This
plasma
enhanced
pre-coating
phase
is
maintained
until
a
desired
coating
thickness
is
reached.
Diese
plasmaunterstützte
Vorbeschichtungsphase
wird
aufrechterhalten,
bis
eine
vorgegebene
Schichtdicke
erreicht
ist.
EuroPat v2
The
barrier
layer
was
deposited
by
plasma-enhanced
vapor
deposition.
Die
Abscheidung
der
Sperrschicht
erfolgte
durch
plasmaunterstützte
chemische
Gasphasenabscheidung.
EuroPat v2
New
developments
in
the
plasma-enhanced
chemical
vapor
deposition
(PECVD)
process
enable
high
speed
top
coating.
Neue
Entwicklungen
in
der
plasmaunterstützten
chemischen
Gasphasenabscheidung
(PECVD)
ermöglichen
eine
Highspeed-Schutzschicht-Beschichtung.
ParaCrawl v7.1
For
coating
the
DLC
layer
on
this
substructure,
the
researchers
are
using
plasma-enhanced
chemical
vapour
deposition.
Für
den
Aufbau
der
DLC-Schicht
auf
diesem
Untergrund
nutzen
die
Forscher
die
plasmaunterstützte
chemische
Gasphasenabscheidung.
ParaCrawl v7.1
This
may
be
achieved
e.g.,
by
plasma-enhanced
chemical
vapor
deposition
(PECVD)
or
by
cathode
evaporation.
Dies
kann
z.
B.
durch
plasmaunterstützte
chemische
Gasphasenabscheidung
(PECVD)
oder
durch
Kathodenzerstäubung
erreicht
werden.
EuroPat v2
Then,
the
dielectric
barrier
is
opened,
for
example
by
plasma-enhanced
etching
steps
by
a
known
semiconductor
fabrication
techniques.
Dann
wird
die
dielektrische
Barriere
geöffnet,
bspw.
durch
plasmaunterstützte
Ätzschritte
mittels
bekannter
Techniken
der
Halbleiterherstellung.
EuroPat v2