Übersetzung für "Electron lens" in Deutsch

The present invention is thus directed at the need for automatic focussing adjustment of optical and electron-optical lens systems.
Die Erfindung geht also von der automatischen Fokuseinstellung optischer und elektronenoptischer Linsensysteme aus.
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Here the electron beam lens 1' according to FIG. 3 has been chosen.
Hier wurde die Elektronenstrahl-Linse 1' gemäß Fig.3 ausgewählt.
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Finally, in FIG. 9 an application of the electron beam lens in an electron beam device is illustrated.
In Fig.9 ist schließlich eine Anwendung der Elektronenstrahl-Linse in einer Elektronenstrahl-Vorrichtung dargestellt.
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In another embodiment the electron beam lens is used in an electron beam device.
In einem anderen Ausführungsbeispiel wird die Elektronenstrahl-Linse in einer Elektronenstrahl-Vorrichtung eingesetzt.
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In one embodiment of the invention the electron beam lens is advantageously used in a cathode lens.
In einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird die Elektronenstrahl-Linse vorteilhaft in einer Kathoden-Linse eingesetzt.
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There are various possibilities for the construction of the electrostatic lens within the electron beam lens.
Für die Ausbildung der elektrostatischen Linse innerhalb der Elektronenstrahl-Linse gibt es verschiedene Möglichkeiten.
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A first electron-optical lens 36 is mounted after stop 35 .
Eine erste elektronenoptische Linse 36 ist nach der Blende 35 angebracht.
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A first electron-optical lens 36 is provided after stop 35 .
Eine erste elektronenoptische Linse 36 ist nach der Blende 35 vorgesehen.
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The spot size is thus a measure of the focussing state of the electron-optical focussing lens system influencing the electron beam.
Die gemessene Fleckgröße ist somit ein Maß für den Fokussierungszustand des den Elektronenstrahl beinflussenden elektronenoptischen Fokussierungs-Linsensystems.
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The invention also relates to a cathode lens and an electron beam device with such an electron beam lens.
Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Kathodenlinse und eine Elektronenstrahlvorrichtung mit einer derartigen Elektronenstrahl-Linse.
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This embodiment has the advantage that it is especially flat and is therefore suitable for very short distances between the specimen and the last electron optical lens.
Diese Ausführungsform hat den Vorteil, daß sie besonders flach ist und daher für sehr geringe Abstände zwischen Probe und letzter elektronenoptischer Linse geeignet ist.
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The good quantum yield of this YAP crystal makes it possible for it to have a thickness of only 1 mm, so that the detector occupies only a small amount of space between the last electron optical lens and the specimen.
Die gute Quantenausbeute dieses YAP-Kristalles ermöglicht es, ihm eine Dicke von nur 1 mm zu geben, so daß der Detektor zwischen der letzten elektronenoptischen Linse und dem Präparat nur wenig Platz beansprucht.
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By this means, the detector, which otherwise is extended through the wall of the microscope column in a known manner only via the light-conducting rods 17 and the cylindrically-shaped conductor 19 (FIG. 1) and held there, can be held in position in a much stabler manner between the pole piece 41 of the last electron optical lens and the specimen 42.
Damit wird erreicht, daß der Detektor, der sonst nur über die Lichtleitstäbe 17 und den zylinderförmigen Lichtleiter 19 (Figur 1) in bekannter Weise durch die Wand der Mikroskopsäule geführt ist und dort gehalten wird, wesentlich stabilder zwischen dem Polschuh 41 der letzten elektronenoptischen Linse und dem Präparat 42 gehalten wird.
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It is advantageous to provide an additional correcting filter having electrical and magnetic quadrupole fields rearward of the electron lens following the corrector of the Wien type in the beam direction. In this way, a correction of the spherical aberration for those electrons can be carried out having energies which deviate from the nominal energy.
Um auch eine Korrektur der sphärischen Aberration für diejenigen Elektronen durchführen zu können, deren Energie von der Nominalenergie abweicht, ist es vorteilhaft, ein zusätzliches Korrektionsfilter mit elektrischen und magnetischen Quadrupolfeldern hinter der dem Korrektor vom Wien-Typ in Strahlenrichtung folgenden Elektronenlinse anzubringen.
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This arrangement is especially advantageous in the rearward focal plane of this electron lens because then no magnification color aberration occurs.
Diese Anbringung ist insbesondere in der hinteren Brennebene dieser Elektronenlinse vorteilhaft, weil dann kein Vergrößerungsfarbfehler entsteht.
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As a result, short working distances between the last electron optical lens and the specimen, and hence high resolution, are possible without substantially restricting manipulation of the specimen.
Dadurch sind kurze Arbeitsabstande zwischen der letzten elektronenoptischen Linse und dem Präparat und damit hohe Auflösung möglich, ohne wesentliche Einschränkungen der Präparatmanipu lationen.
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If it is decided to place the openings on the column side between the conductors, an electron-optical cylinder lens should be provided in association with each column conductor.
Entscheidet man sich dafür, auf der Spaltenleiterseite die Öffnungen zwischen die Leiter zu plazieren, so sollte jedem Spaltenleiter eine elektronenoptische Zylinderlinse zugeordnet sein.
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The invention has the advantages that the relatively uncomplicated circuit design does not require any adjustment, that the input video signals can be in either analog or digital form, and that the system can be used for focussing both optical and electron-optical lens systems. The circuitry is relatively uncomplicated and quickly accomplishes focus setting.
Die durch die Erfindung erreichten Vorteile lassen sich im wesentlichen darin sehen, daß bei relativ unkompliziertem Schaltungsaufbau keinerlei Justierungsaufwand erforderlich ist, die Bildsignale analog oder digital zugeführt werden können und eine Verwendung zur Fokuseinstellung sowohl für optische als auch für elektronenoptische Linsensysteme möglich ist.
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The last cylindrical electrode of the electron gun system is common to the three electron beams and together with the electrically conductive wall coating on the inner wall of the neck of the cathode ray tube constitutes an electron lens converging all beams.
Die letzte zylindrische Elektrode des Strahlerzeugungssystems ist für die drei Elektronenstrahlen gemeinsam und bildet zusammen mit der elektrisch leitenden Wandbedeckung auf der Innenwand des Halses der Elektronenstrahlröhre eine alle Strahlen konvergierende Elektronenlinse.
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In a number of the so far known helical electrodes, for example, the electrode described in the already mentioned U.S. Pat. No. 3,748,514, the length 1 was many times larger than the diameter D as a result of which an accelerating anode rather than an electron lens was obtained.
Bei einigen bisher bekannten Wendelelektroden, beispielsweise bei der Elektrode nach der Beschreibung in der bereits erwähnten US-PS 3 748 514, war die Länge 1 viele Male grösser als der Durchmesser D, wodurch eher eine beschleunigende Anode als eine Elektronenlinse erhalten wurde.
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In this article, detectors having wafer-like monocrystals are described, which have a bore in the center for the electron beam and can therefore be accommodated in a narrow space between the last electron optical lens and the specimen.
Dort sind Detektoren mit scheibenförmigen Einkristallen beschrieben, die in der Mitte eine Bohrung für den Elektronenstrahl haben und dadurch auch in einen schmalen Zwischenraum zwischen der letzten elektronenoptischen Linse und der Probe eingebracht werden können.
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In a transmission electron microscope for carrying out the method of the invention, the first imaging stage is developed from four electron-optical lens groups which are connected with a current supply unit in which the required excitation current is established for each magnification stage and each lens.
Bei einem Transmissions-Elektronenmikroskop zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die erste Abbildungsstufe aus vier elektronenoptischen Linsengruppen aufgebaut, die mit einer Stromversorgungseinheit verbunden sind, in welcher für jede Vergrößerungsstufe und für jede Linse der erforderliche Erregungsstrom festgelegt ist.
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An optimum relationship between electron-optical lens effect and the effects with respect to the brightness at the level of the target must be found.
Es muß ein Optimum zwischen elektronenoptischen Linseneffekten und den Effekten hinsichtlich des Richtstrahlwertes in Höhe des Objekts gefunden werden.
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The cathode lens 3 consists essentially of a cathode 30 with "suppressor" electrode, an extraction electrode 31, an anode 32 and an electron beam lens according to one of the two embodiments shown in FIGS. 1a, 3 to 7.
Die Kathoden-Linse 3 besteht im wesentlichen aus einer Kathode 30 mit "suppressor"-Elektrode, einer Extraktions-Elektrode 31, einer Anode 32 sowie einer Elektronenstrahl-Linse gemäß einem der beiden in den Fig.1a, 3 bis 7 gezeigten Ausführungsbeispiele.
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