Übersetzung für "Electron lens" in Deutsch
The
present
invention
is
thus
directed
at
the
need
for
automatic
focussing
adjustment
of
optical
and
electron-optical
lens
systems.
Die
Erfindung
geht
also
von
der
automatischen
Fokuseinstellung
optischer
und
elektronenoptischer
Linsensysteme
aus.
EuroPat v2
Here
the
electron
beam
lens
1'
according
to
FIG.
3
has
been
chosen.
Hier
wurde
die
Elektronenstrahl-Linse
1'
gemäß
Fig.3
ausgewählt.
EuroPat v2
Finally,
in
FIG.
9
an
application
of
the
electron
beam
lens
in
an
electron
beam
device
is
illustrated.
In
Fig.9
ist
schließlich
eine
Anwendung
der
Elektronenstrahl-Linse
in
einer
Elektronenstrahl-Vorrichtung
dargestellt.
EuroPat v2
In
another
embodiment
the
electron
beam
lens
is
used
in
an
electron
beam
device.
In
einem
anderen
Ausführungsbeispiel
wird
die
Elektronenstrahl-Linse
in
einer
Elektronenstrahl-Vorrichtung
eingesetzt.
EuroPat v2
In
one
embodiment
of
the
invention
the
electron
beam
lens
is
advantageously
used
in
a
cathode
lens.
In
einem
Ausführungsbeispiel
der
Erfindung
wird
die
Elektronenstrahl-Linse
vorteilhaft
in
einer
Kathoden-Linse
eingesetzt.
EuroPat v2
There
are
various
possibilities
for
the
construction
of
the
electrostatic
lens
within
the
electron
beam
lens.
Für
die
Ausbildung
der
elektrostatischen
Linse
innerhalb
der
Elektronenstrahl-Linse
gibt
es
verschiedene
Möglichkeiten.
EuroPat v2
A
first
electron-optical
lens
36
is
mounted
after
stop
35
.
Eine
erste
elektronenoptische
Linse
36
ist
nach
der
Blende
35
angebracht.
EuroPat v2
A
first
electron-optical
lens
36
is
provided
after
stop
35
.
Eine
erste
elektronenoptische
Linse
36
ist
nach
der
Blende
35
vorgesehen.
EuroPat v2
The
spot
size
is
thus
a
measure
of
the
focussing
state
of
the
electron-optical
focussing
lens
system
influencing
the
electron
beam.
Die
gemessene
Fleckgröße
ist
somit
ein
Maß
für
den
Fokussierungszustand
des
den
Elektronenstrahl
beinflussenden
elektronenoptischen
Fokussierungs-Linsensystems.
EuroPat v2
The
invention
also
relates
to
a
cathode
lens
and
an
electron
beam
device
with
such
an
electron
beam
lens.
Die
Erfindung
bezieht
sich
ferner
auf
eine
Kathodenlinse
und
eine
Elektronenstrahlvorrichtung
mit
einer
derartigen
Elektronenstrahl-Linse.
EuroPat v2
This
embodiment
has
the
advantage
that
it
is
especially
flat
and
is
therefore
suitable
for
very
short
distances
between
the
specimen
and
the
last
electron
optical
lens.
Diese
Ausführungsform
hat
den
Vorteil,
daß
sie
besonders
flach
ist
und
daher
für
sehr
geringe
Abstände
zwischen
Probe
und
letzter
elektronenoptischer
Linse
geeignet
ist.
EuroPat v2
The
good
quantum
yield
of
this
YAP
crystal
makes
it
possible
for
it
to
have
a
thickness
of
only
1
mm,
so
that
the
detector
occupies
only
a
small
amount
of
space
between
the
last
electron
optical
lens
and
the
specimen.
Die
gute
Quantenausbeute
dieses
YAP-Kristalles
ermöglicht
es,
ihm
eine
Dicke
von
nur
1
mm
zu
geben,
so
daß
der
Detektor
zwischen
der
letzten
elektronenoptischen
Linse
und
dem
Präparat
nur
wenig
Platz
beansprucht.
EuroPat v2
By
this
means,
the
detector,
which
otherwise
is
extended
through
the
wall
of
the
microscope
column
in
a
known
manner
only
via
the
light-conducting
rods
17
and
the
cylindrically-shaped
conductor
19
(FIG.
1)
and
held
there,
can
be
held
in
position
in
a
much
stabler
manner
between
the
pole
piece
41
of
the
last
electron
optical
lens
and
the
specimen
42.
Damit
wird
erreicht,
daß
der
Detektor,
der
sonst
nur
über
die
Lichtleitstäbe
17
und
den
zylinderförmigen
Lichtleiter
19
(Figur
1)
in
bekannter
Weise
durch
die
Wand
der
Mikroskopsäule
geführt
ist
und
dort
gehalten
wird,
wesentlich
stabilder
zwischen
dem
Polschuh
41
der
letzten
elektronenoptischen
Linse
und
dem
Präparat
42
gehalten
wird.
EuroPat v2
It
is
advantageous
to
provide
an
additional
correcting
filter
having
electrical
and
magnetic
quadrupole
fields
rearward
of
the
electron
lens
following
the
corrector
of
the
Wien
type
in
the
beam
direction.
In
this
way,
a
correction
of
the
spherical
aberration
for
those
electrons
can
be
carried
out
having
energies
which
deviate
from
the
nominal
energy.
Um
auch
eine
Korrektur
der
sphärischen
Aberration
für
diejenigen
Elektronen
durchführen
zu
können,
deren
Energie
von
der
Nominalenergie
abweicht,
ist
es
vorteilhaft,
ein
zusätzliches
Korrektionsfilter
mit
elektrischen
und
magnetischen
Quadrupolfeldern
hinter
der
dem
Korrektor
vom
Wien-Typ
in
Strahlenrichtung
folgenden
Elektronenlinse
anzubringen.
EuroPat v2
This
arrangement
is
especially
advantageous
in
the
rearward
focal
plane
of
this
electron
lens
because
then
no
magnification
color
aberration
occurs.
Diese
Anbringung
ist
insbesondere
in
der
hinteren
Brennebene
dieser
Elektronenlinse
vorteilhaft,
weil
dann
kein
Vergrößerungsfarbfehler
entsteht.
EuroPat v2
As
a
result,
short
working
distances
between
the
last
electron
optical
lens
and
the
specimen,
and
hence
high
resolution,
are
possible
without
substantially
restricting
manipulation
of
the
specimen.
Dadurch
sind
kurze
Arbeitsabstande
zwischen
der
letzten
elektronenoptischen
Linse
und
dem
Präparat
und
damit
hohe
Auflösung
möglich,
ohne
wesentliche
Einschränkungen
der
Präparatmanipu
lationen.
EuroPat v2
If
it
is
decided
to
place
the
openings
on
the
column
side
between
the
conductors,
an
electron-optical
cylinder
lens
should
be
provided
in
association
with
each
column
conductor.
Entscheidet
man
sich
dafür,
auf
der
Spaltenleiterseite
die
Öffnungen
zwischen
die
Leiter
zu
plazieren,
so
sollte
jedem
Spaltenleiter
eine
elektronenoptische
Zylinderlinse
zugeordnet
sein.
EuroPat v2
The
invention
has
the
advantages
that
the
relatively
uncomplicated
circuit
design
does
not
require
any
adjustment,
that
the
input
video
signals
can
be
in
either
analog
or
digital
form,
and
that
the
system
can
be
used
for
focussing
both
optical
and
electron-optical
lens
systems.
The
circuitry
is
relatively
uncomplicated
and
quickly
accomplishes
focus
setting.
Die
durch
die
Erfindung
erreichten
Vorteile
lassen
sich
im
wesentlichen
darin
sehen,
daß
bei
relativ
unkompliziertem
Schaltungsaufbau
keinerlei
Justierungsaufwand
erforderlich
ist,
die
Bildsignale
analog
oder
digital
zugeführt
werden
können
und
eine
Verwendung
zur
Fokuseinstellung
sowohl
für
optische
als
auch
für
elektronenoptische
Linsensysteme
möglich
ist.
EuroPat v2
The
last
cylindrical
electrode
of
the
electron
gun
system
is
common
to
the
three
electron
beams
and
together
with
the
electrically
conductive
wall
coating
on
the
inner
wall
of
the
neck
of
the
cathode
ray
tube
constitutes
an
electron
lens
converging
all
beams.
Die
letzte
zylindrische
Elektrode
des
Strahlerzeugungssystems
ist
für
die
drei
Elektronenstrahlen
gemeinsam
und
bildet
zusammen
mit
der
elektrisch
leitenden
Wandbedeckung
auf
der
Innenwand
des
Halses
der
Elektronenstrahlröhre
eine
alle
Strahlen
konvergierende
Elektronenlinse.
EuroPat v2
In
a
number
of
the
so
far
known
helical
electrodes,
for
example,
the
electrode
described
in
the
already
mentioned
U.S.
Pat.
No.
3,748,514,
the
length
1
was
many
times
larger
than
the
diameter
D
as
a
result
of
which
an
accelerating
anode
rather
than
an
electron
lens
was
obtained.
Bei
einigen
bisher
bekannten
Wendelelektroden,
beispielsweise
bei
der
Elektrode
nach
der
Beschreibung
in
der
bereits
erwähnten
US-PS
3
748
514,
war
die
Länge
1
viele
Male
grösser
als
der
Durchmesser
D,
wodurch
eher
eine
beschleunigende
Anode
als
eine
Elektronenlinse
erhalten
wurde.
EuroPat v2
In
this
article,
detectors
having
wafer-like
monocrystals
are
described,
which
have
a
bore
in
the
center
for
the
electron
beam
and
can
therefore
be
accommodated
in
a
narrow
space
between
the
last
electron
optical
lens
and
the
specimen.
Dort
sind
Detektoren
mit
scheibenförmigen
Einkristallen
beschrieben,
die
in
der
Mitte
eine
Bohrung
für
den
Elektronenstrahl
haben
und
dadurch
auch
in
einen
schmalen
Zwischenraum
zwischen
der
letzten
elektronenoptischen
Linse
und
der
Probe
eingebracht
werden
können.
EuroPat v2
In
a
transmission
electron
microscope
for
carrying
out
the
method
of
the
invention,
the
first
imaging
stage
is
developed
from
four
electron-optical
lens
groups
which
are
connected
with
a
current
supply
unit
in
which
the
required
excitation
current
is
established
for
each
magnification
stage
and
each
lens.
Bei
einem
Transmissions-Elektronenmikroskop
zur
Durchführung
des
erfindungsgemäßen
Verfahrens
ist
die
erste
Abbildungsstufe
aus
vier
elektronenoptischen
Linsengruppen
aufgebaut,
die
mit
einer
Stromversorgungseinheit
verbunden
sind,
in
welcher
für
jede
Vergrößerungsstufe
und
für
jede
Linse
der
erforderliche
Erregungsstrom
festgelegt
ist.
EuroPat v2
An
optimum
relationship
between
electron-optical
lens
effect
and
the
effects
with
respect
to
the
brightness
at
the
level
of
the
target
must
be
found.
Es
muß
ein
Optimum
zwischen
elektronenoptischen
Linseneffekten
und
den
Effekten
hinsichtlich
des
Richtstrahlwertes
in
Höhe
des
Objekts
gefunden
werden.
EuroPat v2
The
cathode
lens
3
consists
essentially
of
a
cathode
30
with
"suppressor"
electrode,
an
extraction
electrode
31,
an
anode
32
and
an
electron
beam
lens
according
to
one
of
the
two
embodiments
shown
in
FIGS.
1a,
3
to
7.
Die
Kathoden-Linse
3
besteht
im
wesentlichen
aus
einer
Kathode
30
mit
"suppressor"-Elektrode,
einer
Extraktions-Elektrode
31,
einer
Anode
32
sowie
einer
Elektronenstrahl-Linse
gemäß
einem
der
beiden
in
den
Fig.1a,
3
bis
7
gezeigten
Ausführungsbeispiele.
EuroPat v2