Übersetzung für "Dry chemical" in Deutsch
Wet-chemical
or
a
dry-chemical
method
is
preferably
used
to
structure
the
sacrificial
layer.
Bevorzugt
wird
zur
Strukturierung
der
Opfeerschicht
naßchemisches
oder
ein
trockenchemisches
Verfahren
eingesetzt.
EuroPat v2
This
may
take
place,
for
example,
by
means
of
wet-chemical
or
dry-chemical
processes.
Dies
kann
beispielsweise
durch
nasschemische
oder
trockenchemische
Verfahren
erfolgen.
EuroPat v2
These
powders
are
also
called
'dry
chemical'.
Diese
Pulver
werden
auch
„trockene
Chemikalie"
genannt.
EUbookshop v2
An
etching
gas
in
non-plasma
dry
chemical
etching
processes
may
be
chlorine
trifluoride
(ClF
3).
Ein
bevorzugtes
Ätzgas
in
plasmalosen
trockenchemischen
Ätzprozessen
ist
Chlortrifluorid
(ClF
3).
EuroPat v2
This
is
preferably
done
with
a
combination
of
dry
and
wet
chemical
etching.
Dies
geschieht
vorzugsweise
durch
eine
Kombination
von
trocken-
und
nasschemischer
Ätzung.
EuroPat v2
The
above-described
dry-chemical
etching
operation
is
then
executed
on
the
SOI
wafer.
Der
oben
beschriebene
trockenchemische
Ätzvorgang
wird
nun
auf
dem
SOI
wafer
ausgeführt.
EuroPat v2
However,
anisotropic
dry-chemical
processes
with
commonly
vertical
walls
are
also
applicable.
Anisotrope,
trockenchemische
Verfahren
mit
üblicherweise
senkrechten
Wänden
sind
aber
ebenfalls
denkbar.
EuroPat v2
The
trench
1003
is
formed
by
a
dry-
or
wet-chemical
etching
process,
for
example.
Der
Graben
1003
ist
beispielsweise
mittels
eines
trocken-
oder
nasschemischen
Ätzprozesses
gebildet.
EuroPat v2
The
roughening
can
be
producible
by
dry-
or
wet-chemical
etching,
for
example.
Die
Aufrauung
kann
beispielsweise
durch
trocken-
oder
nasschemisches
Ätzen
herstellbar
sein.
EuroPat v2
The
transfer
of
the
resist
structure
into
the
semiconductor
takes
place
by
means
of
a
wet
or
dry
chemical
etching
process.
Die
Übertragung
der
Lackstruktur
in
den
Halbleiter
erfolgt
mittels
nass-
oder
trockenchemischer
Ätzverfahren.
EuroPat v2
The
roughening
can
be
produced
by
dry-chemical
or
wet-chemical
etching,
for
example.
Die
Aufrauung
kann
zum
Beispiel
durch
trockenchemisches
oder
nasschemisches
Ätzen
erzeugt
sein.
EuroPat v2
The
patterning
can
be
effected,
for
example,
by
wet-chemical
or
dry-chemical
etching.
Die
Strukturierung
kann
beispielsweise
mittels
nasschemischen
oder
trockenchemischen
Ätzens
erfolgen.
EuroPat v2
This
can
be
effected
by
dry
chemical
etching
and
subsequent
wet
cleaning.
Dies
kann
durch
trockenchemisches
Ätzen
und
anschließendes
Nassreinigen
erfolgen.
EuroPat v2
The
first
etching
method
may
be
a
dry
chemical
etching
method.
Das
erste
Ätzverfahren
kann
ein
trockenchemisches
Ätzverfahren
sein.
EuroPat v2
An
isotropic
etching
is
achievable
by
means
of
a
dry
chemical
etching
method.
Eine
isotrope
Ätzung
ist
mittels
trockenchemischer
Ätzverfahren
erzielbar.
EuroPat v2
The
dry-chemical
reagent
should
be
dissolved
manually
or
automatically
prior
to
use.
Das
trockenchemische
Reagenz
sollte
manuell
oder
automatisch
vor
Gebrauch
aufgelöst
werden.
EuroPat v2
An
example
of
a
dry
chemical
etching
process
is
the
Bosch
method.
Ein
Beispiel
für
einen
trockenchemischen
Ätzprozess
ist
das
Boschverfahren.
EuroPat v2
Dry
and
chemical-free
stamping
scraps
or
chips
enter
the
recycling
process.
Es
kommen
trockene
und
chemiefreie
Stanzabfälle
oder
Späne
in
den
Recycling-Kreislauf.
EuroPat v2
By
way
of
example,
the
etching
step
can
be
carried
out
as
a
wet
chemical
or
dry
chemical
etching
step.
Der
Ätzschritt
kann
beispielsweise
als
nasschemischer
oder
als
trockenchemischer
Ätzschritt
ausgeführt
werden.
EuroPat v2
However,
it
is
likewise
possible
to
use
dry-chemical
methods
or
other
suitable
etching
methods.
Es
ist
aber
ebenso
möglich
trockenchemische
Verfahren
oder
andere
geeignete
Ätzverfahren
zu
verwenden.
EuroPat v2