Übersetzung für "Defect density" in Deutsch
In
order
to
determine
the
defect
density,
and
also
the
defect
size
distribution,
the
silicon
wafers
must
be
prepared.
Zur
Bestimmung
der
Defektdichte
und
auch
der
Defektgrößen-Verteilung
müssen
die
Siliciumscheiben
präpariert
werden.
EuroPat v2
Furthermore,
it
is
preferred
to
determine
the
electrically
effective
defect
density
for
the
evaluation.
Weiterhin
ist
es
bevorzugt,
zur
Auswertung
die
elektrisch
wirksame
Defektdichte
zu
bestimmen.
EuroPat v2
The
quality
of
the
gate
oxide
is
essentially
characterized
by
the
defect
density
and
the
breakdown
field
strength.
Die
Gateoxidqualität
ist
im
wesentlichen
durch
die
Defektdichte
und
die
Durchbruchfeldstärke
charakterisiert.
EuroPat v2
As
a
result,
the
defect
density
could
be
reduced
and
electrical
properties
improved.
Dadurch
wurden
die
Defektdichte
verringert
und
die
elektrischen
Eigenschaften
verbessert.
ParaCrawl v7.1
Without
this
double
implantation
and
subsequent
annealing,
the
defect
density
in
the
silicon
is
high.
Ohne
diese
Doppelimplantation
und
anschliessende
Temperung
wird
eine
hohe
Dichte
der
Defekte
im
Silicium
erhalten.
EuroPat v2
The
larger
defects
remain,
and
the
number
of
them
has
a
decisive
effect
on
the
detectable
defect
density
in
the
annealed
silicon
wafer.
Sie
bleiben
zurück
und
ihre
Zahl
ist
ausschlaggebend
für
die
nachweisbare
Defektdichte
in
der
getemperten
Siliciumscheibe.
EuroPat v2
A
high
quality
epitaxial
growth
substrate
is
required
for
the
epitaxial
growth
of
semiconductor
layers
with
a
low
defect
density.
Zum
epitaktischen
Aufwachsen
von
Halbleiterschichten
mit
geringer
Defektdichte
ist
ein
Aufwachssubstrat
von
hoher
Qualität
erforderlich.
EuroPat v2
The
low
defect
density
of
the
epitaxial
growth
substrate
has
a
positive
effect
on
the
crystal
quality
of
the
epitaxial
layer
sequence.
Die
geringe
Defektdichte
des
Aufwachssubstrats
wirkt
sich
positiv
auf
die
Kristallqualität
der
Epitaxieschichtenfolge
aus.
EuroPat v2
A
lower
defect
density
D
has
the
advantage
that
the
lifetime
of
the
semiconductor
chip
can
be
increased.
Eine
geringere
Defektdichte
D
hat
den
Vorteil,
dass
sich
die
Lebensdauer
des
Halbleiterchips
erhöhen
kann.
EuroPat v2
The
pinhole
density
can
also
be
reduced
using
these
two
measures
that
have
been
described
above
for
reducing
the
defect
density.
Mit
diesen
beiden
voranstehend
beschriebenen
Maßnahmen
zur
Verringerung
der
Defektdichte
lässt
sich
auch
die
Pinhole-Dichte
reduzieren.
EuroPat v2
This
has
proven
expedient
in
order
to
produce
dense
evaporation-coating
glass
layers
with
a
low
defect
density.
Dies
hat
sich
als
günstig
erwiesen,
um
dichte
Aufdampfglasschichten
mit
geringer
Defektdichte
herzustellen.
EuroPat v2
From
this
it
is
clear
that
at
each
temperature,
the
new
process
produces
a
considerably
lower
defect
density.
Aus
der
Figur
ist
klar
ersichtlich,
daß
mit
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren
bei
jeder
Temperatur
eine
wesentlich
geringere
Defektdichte
erreicht
wird.
EuroPat v2
Each
dot
was
individually
electrically
tested
and
the
defect
density
calculated
from
the
results.
Jeder
Punkt
wurde
für
sich
elektrisch
geprüft,
und
aus
den
Ergebnissen
wurde
die
Dichte
der
kristallographischen
Schäden
berechnet.
EuroPat v2
Such
a
low
defect
density
of
the
remaining
core
material
does
not
prove
adverse
for
a
single-crystal
growth.
Eine
derart
niedrige
Defektdichte
des
verbleibenden
Kernmaterials
hat
sich
als
nicht
störend
für
ein
einkristallines
Kristallwachstum
erwiesen.
EuroPat v2
Because
of
the
positioning
and
properties
of
the
respective
layers,
the
boundary
surface
between
the
polycrystalline
silicon
and
the
oxide
generated
by
thermal
oxidation
has
a
high
defect
density
in
the
proximity
of
the
conduction
band.
Durch
die
Anordnung
und
die
Eigenschaften
der
Schichten
bedingt,
hat
die
Grenzfläche
zwischen
dem
polykristallinen
Silizium
und
dem
durch
thermische
Oxidation
erzeugten
Oxid
eine
hohe
Defektdichte
in
der
Nähe
des
Leitungsbandes.
EuroPat v2
The
simplicity
of
the
method
and
the
mask
produced
thereby
advantageously
affects
not
only
the
production
cost
but
also
the
defect
density.
Die
Einfachheit
des
Verfahrens
und
der
damit
hergestellten
Maske
wirkt
sich
nicht
nur
vorteilhaft
bei
den
Herstellkosten,
sondern
auch
bei
der
Defektdichte
aus.
EuroPat v2
The
process
of
claim
1
wherein
the
layer
of
crystallographic
damage
consists
of
a
network
of
substantially
linear
dislocations
terminating
upon
one
another
having
a
defect
density
of
from
about
1
×
108
to
1
×
1010
per
cm2
with
the
network
being
confined
to
a
plane
parallel
to
the
first
face.
Verfahren
nach
Anspruch
1,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
bei
dem
Schleifvorgang
in
einer
kristallographische
Schäden
enthaltenden
Schicht
ein
Netzwerk
von
im
wesentlichen
aneinander
anstoßenden
linearen
Versetzungen
mit
einer
Dichte
der
Schadstellen
von
1
x
10
8
bis
10
10
/cm
2
in
der
Weise
gebildet
wird,
daß
das
Netzwerk
auf
eine
Ebene
parallel
zur
ersten
Oberfläche
beschränkt
ist.
EuroPat v2