Translation of "Im weiteren prozessverlauf" in English
Im
weiteren
Prozessverlauf
wird
die
Si-Schicht
202
mit
Hilfe
von
Trockenätzverfahren
über
dem
npn-Transistorgebiet
10
entfernt.
In
the
further
course
of
the
procedure
the
Si
layer
202
is
removed
by
means
of
dry
etching
processes
over
the
npn-transistor
region
10
.
EuroPat v2
Aber
auch
für
den
nachfolgenden
Extraktionsschritt
muss
ein
erheblicher
Anteil
an
Fremdwasser
auf
Temperaturen
über
70°C
erhitzt
und
im
weiteren
Prozessverlauf
wieder
aufwändig
verdampft
werden.
But
a
substantial
quantity
of
extraneous
water
must
also
be
heated
to
temperatures
above
70°
C.
for
the
subsequent
extraction
step
and
evaporated
in
the
further
course
of
the
process
at
great
expense.
EuroPat v2
Hierbei
erfolgt
eine
beabsichtige
Unterätzung,
die
als
Hinterschneidung
unter
der
oberen
Opferschicht
2
im
weiteren
Prozessverlauf
ausgenutzt
wird
(Fig.
At
this
juncture,
intentional
undercutting
takes
place,
which
is
exploited
in
the
further
course
of
the
process
as
an
undercut
below
upper
sacrificial
layer
2
(FIG.
EuroPat v2
Es
ist
zu
bemerken,
dass
dieser
Schritt
832
im
weiteren
Prozessverlauf
immer
wieder
erreicht
wird,
da
bis
zum
Ende
der
Konferenz
Ressourcen,
Ort
und
Lage
der
Endgeräte
immer
wieder
abgefragt
bzw.
ermittelt
werden.
It
should
be
noted
that
this
step
832
occurs
repeatedly
as
the
process
continues,
because
device
resources,
location,
and
orientation
are
repeatedly
queried
and/or
determined
until
the
end
of
the
conference.
EuroPat v2
Im
folgenden
weiteren
Prozessverlauf
werden
in
jeweils
geeigneten
Ätzbädern
die
Reste
der
Dotierpaste
10b,
das
gebildete
Phosphor-Silikatglas
PSG
14b,
die
dielektrische
Maskierschicht
8
und
die
AlSi-Eutektikumsschicht
3b
abgeätzt,
so
dass
die
Emitterbereiche
11,
der
BSF-Bereich
12
und
die
vorderseitige
n
+
-Schicht
14
freiliegen,
und
zwar
gemäß
Fig.
In
the
following
further
course
of
the
process,
the
residues
of
doping
paste
10
b,
produced
phosphorus
silicate
glass
PSG
14
b,
dielectric
masking
layer
8,
and
AlSi
eutectic
layer
3
b
are
etched
off
in
suitable
etch
baths,
so
that
emitter
regions
11,
BSF
region
12,
and
front-side
n
+
layer
14
are
exposed,
i.e.,
according
to
FIG.
EuroPat v2
Bei
der
Produktion
stückiger
Confectionary-/Schokoladenprodukte
wird
die
noch
flüssige
Schokolade
oder
Füllmasse
in
Formen
gefüllt
und
im
weiteren
Prozessverlauf
einer
Kühlungsbehandlung
unterzogen.
When
producing
individual
pieces
of
confectionary/chocolate
products
the
still-liquid
chocolate
or
filling
mass
is
poured
into
molds
and
subjected
to
a
cooling
treatment
during
the
further
course
of
the
production
process.
EuroPat v2
Die
Neckringe
27
sind
grundsätzlich
Teil
des
Spritzgiesswerkzeuges
8,
werden
aber
im
weiteren
Prozessverlauf
als
Transportmittel
zu
den
anderen
Stationen
genutzt.
The
neck
rings
27
are
in
principle
part
of
the
injection-mold
8,
but
are
used
as
transport
means
to
the
other
stations
in
the
further
progression
of
the
process.
EuroPat v2
Das
geschlossene
Systemdesign
mit
einer
minimalen
Anzahl
von
Bütten
und
Standrohren
minimiert
hingegen
das
Risiko
einer
Verstopfung
im
weiteren
Prozessverlauf.
The
closed
system
design
with
a
minimum
number
of
chests
and
standpipes
reduces
the
risk
of
clogging
in
the
further
course
of
the
process.
ParaCrawl v7.1
Im
weiteren
Prozessverlauf
wird
die
gereinigte
Druckluft
in
einem
Wärmetauscher
abgekühlt
und
steht
für
die
jeweilige
Anwendung
zur
Verfügung.
In
the
further
trial
process
cleaned
compressed
air
in
a
heat
exchanger
is
cooled
down
and
is
available
for
respective
application.
ParaCrawl v7.1
Auf
der
freiliegenden
Oberfläche
des
monokristallinen
Siliziumsubstrats
10
im
oberen
Bereich
der
Flanke
11'
wird,
wie
anhand
von
Figur
1
und
2
erläutert,
eine
amorphe
Schicht
aus
SiO
2
in
einer
Dicke
von
0,5
nm
kontrolliert
erzeugt,
aus
der
im
weiteren
Prozeßverlauf
Inseln
13
aus
amorphem
Material
gebildet
werden.
On
the
exposed
surface
of
the
monocrystalline
silicon
substrate
10
in
the
upper
area
of
the
edge
11
?,
an
amorphous
layer
made
of
SiO
2
is
produced
in
a
controlled
fashion
to
a
thickness
of
0.5
nm,
as
explained
with
reference
to
FIGS.
1
and
2
.
From
the
amorphous
layer
islands
13
made
of
the
amorphous
material
are
formed
as
the
process
continues.
EuroPat v2
Diese
Unterätzungen
führen
im
weiteren
Prozeßverlauf,
insbesondere
bei
einer
thermischen
Oxidation
der
Seitenwände
des
Grabens,
zu
Schwierigkeiten.
During
the
further
course
of
processing,
these
under-etchings
lead
to
difficulties,
particularly
given
a
thermal
oxidation
of
the
sidewalls
of
the
trench.
EuroPat v2
Zweckmäßigerweise
wird
darüberhinaus
noch
ein
Basenüberschuß
zugegeben,
um
in
der
Celluloselösung
eine
Basenreserve
zum
Abpuffern
von
weiteren,
im
Prozeßverlauf
entstehenden
Säuren
zu
schaffen
(siehe
weiter
unten).
It
is
convenient
to
add
an
excess
of
base
in
order
to
have
a
reserve
of
base
in
the
cellulose
solution
to
buffer
further
acids
arising
during
the
course
of
the
process
(see
below).
EuroPat v2
Durch
eine
Temperaturbehandlung
im
weiteren
Prozeßverlauf
bei
beispielsweise
1200°C
diffundiert
Ge
in
die
SiO
2
Schicht.
During
a
heat
treatment
in
the
further
course
of
the
process,
for
example
at
1200°
C.,
Ge
diffuses
into
the
SiO
2
layer.
EuroPat v2