Translation of "Depth profiling" in German
The
profile
blade
10
and
workpiece
surface
21
are
now
fed
radially
to
one
another
until
the
envelope
surface
or
flight
circle
25
cuts
over
the
workpiece
surface
corresponding
to
the
desired
depth
of
the
profiling
to
be
produced.
Nun
werden
die
Profilschneide
10
und
die
Werkstückfläche
21
radial
gegeneinander
zugestellt,
bis
die
Hüllfläche
bzw.
der
Flugkreis
25
entsprechend
der
gewünschten
Tiefe
der
herzustellenden
Profilierung
die
Werkstückfläche
21
überschneidet.
EuroPat v2
It
has
been
discovered
that
a
dependency
exists
between
shape
and
depth
of
the
profiling
of
the
roll
nip
and/or
the
roll
surfaces,
as
well
as
the
roll
surface
temperature,
and
the
quality
of
the
thus-manufactured
sheet.
Es
wurde
gefunden,
dass
zwischen
Form
und
Tiefe
der
Profilierung
des
Walzenspaltes
bzw.
der
Walzenoberflächen
sowie
der
Walzenoberflächentemperatur
und
der
Qualität
der
hergestellten
Bahn
eine
Abhängigkeit
besteht.
EuroPat v2
In
particular
during
depth
profiling
or
in
grid
scanning
of
a
surface,
this
sample
surface
was
massively
changed
during
the
bombardment
in
the
method
according
to
the
state
of
the
art
in
which
firstly
an
analysis
of
the
sample
was
examined
with
one
of
the
primary
ion
species
from
a
specific
source.
Insbesondere
bei
der
Tiefenprofilierung
bzw.
bei
der
gerasterten
Abtastung
(Scannen)
einer
Oberfläche
wurde
beim
Verfahren
nach
dem
Stand
der
Technik,
bei
dem
zuerst
eine
Analyse
der
Probe
mit
einer
der
Primärionenspezies
aus
einer
spezifischen
Quelle
untersucht
wurde,
diese
Probenoberfläche
während
des
Beschusses
massiv
verändert.
EuroPat v2
The
shape
and
depth
of
the
profiling
depends
on
the
nature
of
the
flowing
liquid,
as
well
as
the
amount
thereof.
Die
Form
und
Tiefe
der
Profilierung
ist
von
der
Natur
der
strömenden
Flüssigkeit,
sowie
deren
Menge
abhängig.
EuroPat v2
It
is
therefore
the
object
of
the
present
invention
to
make
available
a
secondary
ion
mass
spectroscopic
method
and
a
mass
spectrometer
suitable
for
this
purpose,
with
which
depth
profiling
of
insulating
materials,
in
particular
on
alkali
metals
contained
therein,
is
possible
with
as
low
as
possible
or
no
falsification
of
the
depth
distribution
with
simultaneously
low
detection
limits.
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung
ist
es
daher,
ein
sekundärionenmassenspektrokopisches
Verfahren
und
ein
hierfür
geeignetes
Massenspektrometer
zur
Verfügung
zu
stellen,
mit
dem
eine
Tiefenprofilierung
von
isolierenden
Materialien,
insbesondere
auf
darin
enthaltene
Alkalimetalle
mit
möglichst
geringer
oder
ohne
Verfälschung
der
Tiefenverteilung
bei
gleichzeitig
niedrigen
Nachweisgrenzen
möglich
ist.
EuroPat v2
For
the
removal
of
surface
layers,
large
oxygen
gas
clusters
with
essentially
1,400
molecules/ion
and
an
energy
of
20
keV
were
used
for
depth
profiling
with
the
same
analysis
parameters.
Für
den
Abtrag
Oberflächenschichten
wurden
zur
Tiefenprofilierung
bei
den
gleichen
Analyseparametern
große
Sauerstoffgascluster
mit
im
Wesentlichen
1400
Molekülen/Ion
und
einer
Energie
von
20
keV
eingesetzt.
EuroPat v2
Since
however
the
removal
rate
is
reduced
by
the
pulsing
of
the
primary
ion
beam
by
several
orders
of
magnitude,
the
dual-beam
method
is
used
predominantly
for
depth
profiling.
Da
jedoch
die
Abtraggeschwindigkeit
durch
die
Pulsung
des
Primärionenstrahls
um
mehrere
Größenordnungen
reduziert
ist,
wird
für
die
Tiefenprofilierung
überwiegend
das
Zweistrahlverfahren
eingesetzt.
EuroPat v2
Experimental
tests
relating
to
electromigration
on
insulators
have
shown
that
in
particular
oxygen
gas
cluster
ions
with
energies
of
a
few
keV
to
some
10
keV
are
suitable
for
depth
profiling
on
insulators.
Die
experimentellen
Untersuchungen
zur
Elektromigration
an
Isolatoren
haben
gezeigt,
dass
sich
für
die
Tiefenprofilierung
an
Isolatoren
besonders
Sauerstoff-Gasclusterionen
mit
Energien
von
einigen
keV
bis
zu
einigen
10
keV
eignen.
EuroPat v2
In
summary,
it
can
be
established
that,
according
to
the
invention,
the
removal
of
the
sample
surface
for
the
depth
profiling
is
effected
by
means
of
an
ion
beam
which
comprises
predominantly
or
substantially
gas
clusters
of
oxygen
molecules
and/or
oxygen-containing
molecules.
Zusammenfassend
lässt
sich
feststellen,
dass
erfindungsgemäß
der
Abtrag
der
Probenoberfläche
für
die
Tiefenprofilierung
mittels
eines
lonenstrahls
erfolgt,
der
überwiegend
oder
im
Wesentlichen
Gascluster
von
Sauerstoffmolekülen
und/oder
sauerstoffhaltigen
Molekülen
enthält.
EuroPat v2
As
a
result,
a
depth
profiling
also
of
samples
comprising
insulators
or
insulating
material
is
possible
on
alkali
metals,
in
the
case
of
which,
on
the
one
hand,
a
low
detection
limit
is
possible
and,
on
the
other
hand,
falsifications
of
the
depth
distribution
are
avoided.
Hierdurch
wird
eine
Tiefenprofilierung
auch
von
Isolatoren
oder
isolierendes
Material
enthaltenden
Proben
auf
Alkalimetalle
möglich,
bei
der
zum
Einen
eine
niedrige
Nachweisgrenze
möglich
ist
und
andererseits
Verfälschungen
der
Tiefenverteilung
vermieden
werden.
EuroPat v2
In
addition,
as
part
of
the
depth
profiling,
further
modulation
frequencies
can
be
used
for
characterizing
the
surface
or
near-surface
layers
of
the
material
to
be
examined,
for
example,
the
upper
layers
of
the
skin
in
the
case
of
the
skin,
and
thus
also
for
the
elimination
of
irrelevant
influences
of
the
same
(for
example,
contaminations,
absorption
of
irrelevant
materials).
Zudem
können
im
Sinne
der
Tiefenprofilierung
weitere
Modulationsfrequenzen
genutzt
werden,
die
zum
Charakterisieren
der
Oberfläche
oder
oberflächennaher
Schichten
des
zu
untersuchenden
Stoffes
dienen,
bspw.
Der
oberen
Hautschichten
für
die
Haut
und
damit
auch
zur
Eliminierung
nicht
relevanter
Einflüsse
dieser
(bspw.
Kontamination,
Verunreinigungen,
Absorption
nicht
relevanter
Stoffe).
EuroPat v2
This
complete
sensor
has
been
developed
for
the
external
interfacing
to
CTD
probe
systems
and
can
be
used
in
towed
vehicles
or
for
fast
depth
profiling.
Dieser
komplette
Sensor
wurde
für
die
externe
Adaption
an
CTD-Unterwassersonden
entwickelt
und
kann
sowohl
Monitoringzwecke,
als
auch
für
langsames
Profilieren
eingesetzt
werden.
ParaCrawl v7.1
When
imaging
and
depth
profiling
are
combined
the
3-dimensional
build-up
of
a
sample
can
be
made
visible
(3D-micro
area
analysis).
Durch
die
Kombination
von
Imaging
und
Tiefenprofilierung
kann
zudem
auch
der
3-dimensionale
Aufbau
eines
Festkörpers
bildgebend
analysiert
werden
(3D-Mikrobereichsanalyse).
ParaCrawl v7.1
Confocal
Raman
Microscopy
(CRM)
allows
acquiring
information
on
the
molecular
composition
of
a
sample
locally
resolved
in
three
dimensions,
rendering
lateral-
as
well
as
depth-profiling
of
samples.
Konfokale
Raman-Mikroskopie
(CRM)
ermöglicht
die
Bestimmung
der
molekularen
Zusammensetzung
einer
Probe
in
drei
Dimensionen
und
gibt
damit
sowohl
laterale
als
auch
Tiefenprofile
der
Probe
wieder.
ParaCrawl v7.1
To
measure
deposits
on
the
inner
surface
of
glass
vials
or
even
to
perform
a
depth
profiling
of
multilayer
materials,
compact
Raman
microscopes
(SENTERRA
II)
are
used.
Um
Ablagerungen
auf
der
Innenseite
von
Glasgefäßen
zu
erfassen
oder
gar
eine
Tiefenprofilierung
von
mehrschichtigen
Materialien
vorzunehmen,
werden
kompakte
Raman-Mikroskope
(SENTERRA
II)
verwendet.
ParaCrawl v7.1
A
chemical
analysis
of
thin
films
and
internal
interfaces
employs
depth
profiling
using
X-ray
photoelectron
or
Auger
electron
spectroscopy
as
well
as
secondary
ion
mass
spectrometry.
Für
eine
chemische
Analyse
dünner
Schichten
und
innerer
Grenzflächen
werden
Tiefenprofile
aus
Röntgenphotoelektronen-
oder
Augerelektronenspektroskopie
sowie
mittels
Sekundärionenmassenspektrometrie
erstellt.
ParaCrawl v7.1
The
integrated
Sinus
Mode
enables
you
to
perform
DMA
analysis
for
depth
profiling
of
mechanical
properties
(HIT,
EIT
vs.
depth)
and
measurement
of
viscoelastic
properties
(E',
E'':
storage
and
loss
moduli,
tan
?)
on
samples
ranging
from
thin
films
to
bulk
materials.
Der
integrierte
„Sinus-Modus“
ermöglicht
das
Durchführen
einer
DMA
zur
Tiefenprofilierung
mechanischer
Eigenschaften
(HIT,
EIT
vs.
Tiefe)
und
Messung
der
viskoelastischen
Eigenschaften
(E',
E":
Speicher-
und
Verlustmodul,
tan
?)
von
Proben,
die
von
dünnen
Filmen
bis
hin
zu
Vollmaterialien
reichen.
ParaCrawl v7.1