Translation of "Chemical etching" in German
This
process
involves
free
radical
chemical
etching
and
is
isotropic.
Dieses
Verfahren
ist
ein
chemisches
Ätzverfahren
mit
freien
Radikalen
und
ist
isotrop.
EuroPat v2
Purely
chemical
etching
processes
are
therefore
unsuited
to
generating
very
fine
structures.
Rein
chemische
Ätzverfahren
eignen
sich
deshalb
nicht
zur
Erzeugung
von
sehr
feinen
Strukturen.
EuroPat v2
Such
a
wet-chemical,
isotropic
etching
can
be
easily
controlled
over
the
etching
duration.
Ein
solches
naßchemisches,
isotropes
Ätzen
ist
über
die
Ätzdauer
gut
kontrollierbar.
EuroPat v2
The
hammer
material
may
be
removed
by
chemical
etching,
for
example.
Der
Hammerwerkstoff
kann
beispielsweise
durch
chemisches
Ätzen
abgenommen
werden.
EuroPat v2
Wet
chemical
etching
could
also
be
used.
Es
kann
auch
ein
nasschemisches
Ätzverfahren
angewandt
werden.
EuroPat v2
The
back-etching
can
be
performed
with
a
chemical
dry
etching
method
or
by
reactive
ion
etching.
Die
Rückätzung
kann
mit
einem
chemischen
Trockenätzverfahren
oder
reaktivem
Ionenätzen
erfolgen.
EuroPat v2
This
can
take
place
by
wet
chemical
etching.
Dies
kann
beispielsweise
durch
nasschemisches
Ätzen
geschehen.
EuroPat v2
The
substructure
stop
layer
105
is
then
removed
by
wet
chemical
etching,
for
example.
Die
Unterbau-Stoppschicht
105
wird
dann
beispielsweise
durch
eine
naßchemische
Ätzung
entfernt.
EuroPat v2
With
an
alkali
etch
solution,
a
wet
chemical
etching
method
is
also
possible.
Mit
einer
alkalischen
Ätzlösung
ist
ferner
ein
naßchemisches
Ätzverfahren
möglich.
EuroPat v2
This
first
thinning
process
can
also
be
carried
out
by
wet
chemical
etching.
Dieser
erste
Dünnprozess
kann
auch
durch
ein
naßchemisches
Ätzen
erfolgen.
EuroPat v2
The
place-saver
61
of
polysilicon
is
etched
out
by
wet
chemical
etching.
Durch
naßchemisches
Ätzen
wird
der
Platzhalter
61
aus
Polysilizium
herausgeätzt.
EuroPat v2
The
metal
structure
is
then
produced
by
chemical
etching.
Die
Metallstruktur
wird
anschließend
durch
chemisches
Ätzen
erzeugt.
EuroPat v2
For
contact
opening,
only
the
N-SIPOS
layer
is
removed
by
wet
chemical
etching.
Zur
Kontaktöffnung
wird
lediglich
die
N-SIPOS-Schicht
mit
Hilfe
einer
naßchemischen
Ätzung
entfernt.
EuroPat v2
The
structuring
can
be
undertaken
by
sawing,
chemical
etching,
laser
etching
or
sandblasting.
Die
Strukturierung
kann
mittels
Sägen,
Ätzen,
Laserätzen
oder
Sandstrahlen
vorgenommen
werden.
EuroPat v2
For
etching
away
entire
surfaces
of
layers,
a
chemical
plasma
etching
process
may
be
used
for
example.
Zum
ganzflächigen
Abätzen
von
Schichten
kann
beispielsweise
ein
chemisches
Plasmaätzverfahren
verwendet
werden.
EuroPat v2
The
wet
chemical
etching
is,
for
instance,
performed
with
choline
(4%).
Die
naßchemische
Ätzung
erfolgt
z.
B.
mit
Cholin
(4%).
EuroPat v2