Translation of "Bottom heater" in German
The
bottom
heater
is
connected
to
a
DC
current
source
and
is
operated
for
resistive
heating.
Der
Bodenheizer
wird
an
eine
Gleichstromquelle
angeschlossen
und
als
Widerstandsheizung
betrieben.
EuroPat v2
A
bottom
heater
4
according
to
the
invention
is
arranged
below
the
crucible.
Ein
erfindungsgemäßer
Bodenheizer
4
ist
unterhalb
des
Tiegels
angeordnet.
EuroPat v2
Correspondingly,
other
device
parts
next
to
the
bottom
heater
are
preferably
also
radially
slotted.
Entsprechend
sind
auch
andere,
dem
Bodenheizer
benachbarte
Vorrichtungsteile
vorzugsweise
radial
geschlitzt.
EuroPat v2
The
bottom
heater
has
one
row
less,
also
because
of
the
overlapping
of
the
heating
elements.
Weiterhin
enthält
die
Unterheizung
eine
Strahlerreihe
weniger,
ebenfalls
wegen
der
Strahlerüberlappung.
ParaCrawl v7.1
On
reaching
the
programmed
switching
temperature
the
heating
intensity
of
the
bottom
heater
is
switched
over.
Bei
Erreichen
der
programmierten
Umschalttemperatur
wird
die
Heizleistung
der
Unterheizung
umgeschaltet.
ParaCrawl v7.1
It
is
understood
that
the
necessary
leadthroughs
for
the
bottom
heating
heater
unit,
top
heating
heater
unit,
lighting,
etc.
are
provided.
Selbstverständlich
sind
die
erforderlichen
Durchführungen
für
den
Unterhitzeheizkörper,
Oberhitzeheizkörper,
Beleuchtung,
etc.
vorgesehen.
EuroPat v2
In
another
embodiment,
the
heating
power
of
the
side
heater
and,
where
appropriate,
a
bottom
heater,
which
is
positioned
under
the
crucible,
is
reduced
when
the
melt
is
additionally
heated
by
the
annular
heating
device
or
means.
Bevorzugt
ist
auch,
daß
die
Heizleistung
des
Seitenheizers
und
gegebenenfalls
die
eines
Bodenheizers,
der
unter
dem
Tiegel
angeordnet
ist,
vermindert
wird,
wenn
die
Schmelze
durch
die
ringförmige
Heizvorrichtung
zusätzlich
erhitzt
wird.
EuroPat v2
The
bottom
heating
heater
unit
with
the
associated
outer
wall
or
housing
is
in
this
case
expediently
inserted
between
the
muffle
bottom
and
the
inner
insulating
wall.
Der
Unterhitzeheizkörper
mit
zugehöriger
Außenwandung
bzw.
Gehäuse
ist
in
diesem
Fall
zweckmäßig
zwischen
dem
Muffelboden
und
der
inneren
Isolierwandung
eingefügt.
EuroPat v2
An
inner
insulating
wall
14
with
leadthroughs
18,
20,
22
for
the
top
heating
heater
unit,
bottom
heating
heater
unit
and
bottom
heating
outer
wall,
surrounds
the
muffle
wall
4
with
an
essentially
constant
spacing,
in
such
a
way
that
the
muffle
wall
can
expand
in
response
to
temperature.
Eine
innere
Isolierwandung
14
mit
Durchführungen
18,
20,
22
für
den
Oberhitzeheizkörper,
Unterhitzeheizkörper
und
die
Unterhitzeaußenwandung
umgibt
die
Muffelwand
4
mit
im
wesentlichen
gleichbleibendem
Abstand
derart,
daß
sich
diese
temperaturbedingt
ausdehnen
kann.
EuroPat v2
However,
to
melt
most
of
the
silicon,
the
bottom
heater
is
switched
to
alternating-current
operation,
so
that
the
energy
transferred
to
the
silicon
takes
place
inductively.
Zum
Aufschmelzen
des
Hauptteils
des
Siliciums
wird
der
Bodenheizer
jedoch
auf
Wechselstrombetrieb
umgeschaltet,
so
daß
die
Energieübertragung
auf
das
Silicium
induktiv
erfolgt.
EuroPat v2
During
the
pulling
of
the
single
crystal,
the
bottom
heater
can
be
operated
either
with
direct
current,
with
a
customary
resistive
heating
function,
or,
to
stabilize
the
melt
further,
with
alternating
current
or
with
modulated
direct
current.
Während
des
Ziehens
des
Einkristalls
kann
der
Bodenheizer
entweder
mit
Gleichstrom
in
der
Funktion
einer
üblichen
Widerstandsheizung
oder
zur
weiteren
Stabilisierung
der
Schmelze
mit
Wechselstrom
oder
mit
moduliertem
Gleichstrom
betrieben
werden.
EuroPat v2
The
bottom
heater
4
comprises
essentially
a
coil
which
is
preferably
made
of
graphite,
CFC
(carbon
fiber
composite)
or
metals
such
as
molybdenum
or
tantalum.
Der
Bodenheizer
4
besteht
im
wesentlichen
aus
einer
Spirale,
die
vorzugsweise
aus
Graphit,
CFC
(carbon
fibre
composite)
oder
Metallen
wie
Molybdän
oder
Tantal
gefertigt
ist.
EuroPat v2
The
base
plate
is
preferably
made
of
graphite
and
desirably
serves
at
the
same
time
as
an
electrical
connection
for
the
inner
electrode
of
the
bottom
heater.
Die
Bodenplatte
ist
vorzugsweise
aus
Graphit
gefertigt
und
dient
zweckmäßigerweise
gleichzeitig
als
Stromzuführung
für
die
innere
Elektrode
des
Bodenheizers.
EuroPat v2
The
bottom
heater
is
substantially
enclosed
in
the
cavity,
so
that
impurities
originating
from
it
cannot
reach
the
melt
via
the
gas
phase.
Der
Bodenheizer
ist
im
Hohlraum
praktisch
eingeschlossen,
so
daß
von
ihm
ausgehende
Verunreinigungen
nicht
über
die
Gasphase
in
die
Schmelze
gelangen
können.
EuroPat v2
Also
underneath
the
substrate
holder
15
there
is
a
bottom
heater
50
which
covers
the
entire
area
of
the
bottom
plate
18,
with
the
exception
of
the
mask
19
.
Auch
unterhalb
des
Substrathalters
15
ist
eine
Unterseitenheizung
50
angebracht,
die
die
gesamte
Fläche
der
Abschlußplatte
18
mit
Ausnahme
der
Ausschnittssegmentblende
19
bedeckt.
EuroPat v2
The
area
covered
by
the
bottom
heater
50
is
shielded
from
the
rest
of
the
space,
again
by
means
of
a
heat
shield
34
.
Die
mit
der
Unterseitenheizung
50
bedeckte
Fläche
ist
zum
übrigen
Raum
hin
wiederum
mittels
eines
Wärmeschildes
34
abgeschirmt.
EuroPat v2
Additionally,
to
achieve
the
greatest
possible
uniformity
of
temperature
on
the
entire
surface
to
be
coated,
a
peripheral
heater
can
be
provided
around
the
circumference
of
the
substrate
holder,
and/or
by
heating
the
oxygen
chamber,
especially
by
means
of
a
bottom-side
heater
on
the
side
facing
away
from
the
substrate
holder.
Weiterhin
kann
zum
Erreichen
einer
möglichst
homogene
Temperatur
auf
der
gesamten
zu
bedampfenden
Fläche
um
den
Umfangsverlauf
des
Substrathalters
eine
Umfangsheizung
und/oder
vorgesehen
sein,
daß
die
Sauerstoffkammer
insbesondere
mittels
einer
an
deren
dem
Substrathalter
abgewandten
Seite
angeordneten
Unterseitenheizung
geheizt
wird.
EuroPat v2
Like
the
shielding
of
the
top-side
heater
by
the
heat
shield
against
thermal
radiation
from
the
substrate
holder,
the
peripheral
heater
and
for
the
bottom
heater
can
be
heat-shielded
on
their
sides
facing
away
from
the
substrate
holder
and/or
the
flue
heater
can
be
shielded
on
its
side
facing
away
from
the
vapor
depositing
flue.
Ähnlich
der
Abschirmung
der
Oberseitenheizung
durch
das
Wärmeschild
gegen
Wärmeabstrahlung
vom
Substrathalter
weg,
können
auch
die
Umfangsheizung
und/oder
die
Unterseitenheizung
auf
ihren
dem
Substrathalter
abgewandten
Seiten
und/oder
die
Kaminheizung
auf
ihrer
dem
Aufdampfkamin
abgewandten
Seite
thermisch
abgeschirmt
sein.
EuroPat v2
Also,
the
circumferential
heater
49
and
the
bottom
heater
50
contain
heating
plates
47
on
which
heater
wires
48
are
arranged
as
closely
together
as
possible,
for
the
same
reasons
and
with
the
same
advantages
as
in
the
case
of
the
top
heater
46
.
Auch
die
Umfangsheizung
49
und
die
Unterseitenheizung
50
enthalten
Heizplatten
47,
auf
denen
Mantelheizleiter
48
aus
denselben
Gründen
und
mit
denselben
Vorteilen
wie
bei
der
Oberseitenheizung
46
möglichst
dicht
angeordnet
sind.
EuroPat v2
Accordingly,
the
top-side
heater,
the
peripheral
heater,
the
bottom
heater
and/or
the
flue
heater
can
contain
jacket
heater
wires
lying
especially
close
together,
which
are
attached
to
heating
wire
holders
by
mechanical
binding
means
and,
with
special
preference,
without
soldering.
Demnach
können
die
Oberseitenheizung,
die
Umfangsheizung,
die
Unterseitenheizung
und/oder
die
Kaminheizung
je
ggf.
insbesondere
dicht
liegende
Mantelheizleiter
enthalten,
die
vorzugsweise
durch
mechanische
Verbindungsmittel
und
besonders
bevorzugt
unverlötet
an
Heizleiterträgern
angebracht
sind.
EuroPat v2