Übersetzung für "Shallow trench" in Deutsch

The planarization in the manufacture of shallow trench insulations usually occurs with chemical-mechanical polishing.
Die Planarisierung bei der Herstellung von Shallow-Trench-Isolationen erfolgt meist durch chemisch-mechanisches Polieren.
EuroPat v2
Two examples thereof are the LOCOS technology and the STI (Shallow Trench Isolation) technology.
Zwei bekannte Beispiele dafür sind die LOCOS-Technologie und die STI (Shallow Trench Isolation)-Technologie.
EuroPat v2
Another advantageous use of the present invention is in the manufacture of a DRAM having shallow trench insulation.
Eine weitere vorteilhafte Anwendung besteht in der Herstellung eines DRAM mit Shallow Trench Isolation.
EuroPat v2
So-called ‘shallow trench’ insulations, as are known from CMOS technologies, can be used as the field insulation regions.
Als Feldisolationsgebiete können sogenannte "Shallow-Trench"-Isolationen, wie sie aus CMOS-Technologien bekannt sind, eingesetzt werden.
EuroPat v2
The occurrence of voids in STI fillings (shallow trench isolation) is prevented in this exemplary embodiment.
Bei diesem Beispiel wird das Auftreten von Voids in STI-Füllungen (shallow trench isolation) verhindert.
EuroPat v2
The field oxide area may alternatively be built by any other technique such as shallow trench isolation.
Der Feldoxidbereich kann jedoch auch durch jede andere Technik, z.B. Shallow Trench Isolation erzeugt werden.
EuroPat v2
On the surface of a shallow trench dug around the perimeter, and then set formwork.
Auf der Oberfläche eines flachen Graben ausgehoben um den Umfang, und legen Sie Schalung.
ParaCrawl v7.1
We recommend lying in a shallow trench during the passage, or huddling near a cliff.
Wir empfehlen in einem flachen Graben zu liegen, oder nah an eine Klippe zu krabbeln.
ParaCrawl v7.1
The rockets could be fired from a wheeled bombarding-frame, from a portable tripod, or even from a shallow trench or sloping bank: One in three horse artillerymen carried a launching trough for ground firing.
Die Raketen konnten von einer fahrbaren Abschussrampe abgefeuert werden, von einem tragbaren Stativ oder sogar von einem flachen Graben oder einer Böschung.
Wikipedia v1.0
Alternatively, the insulation structures 4 can be formed by filling trenches with insulating materials in a shallow trench insulation process.
Die Isolationsstrukturen 4 können alternativ auch durch Auffüllen von Gräben mit isolierendem Material in einem Shallow Trench Isolationsprozeß gebildet werden.
EuroPat v2
The insulation structures 12 are formed, for example, by local oxidation in a LOCOS process or by filling insulating trenches in a shallow trench insulation process (STI).
Die Isolationsstrukturen 12 werden zum Beispiel durch lokale Oxidation in einem LOCOS-Prozeß oder durch Auffüllen isolierender Gräben in einem Shallow Trench Isolationsprozeß (STI) gebildet.
EuroPat v2
Such erosion of the pad nitride or the pad stack 107 in the cell array and in planar support regions (not illustrated) takes place non-uniformly, which is why planarization in particular of the shallow trench isolation (STI) in subsequent process steps is made more difficult.
Ein derartiger Abtrag des Pad-Nitrids bzw. des Pad-Stapels 107 im Zellenfeld und in (nicht dargestellten) planaren Supportgebieten erfolgt ungleichförmig, weshalb eine Planarisierung insbesondere der flachen Grabenisolierung (STI) in nachfolgenden Prozessschritten erschwert wird.
EuroPat v2
Furthermore, a predetermined minimum thickness of the pad stack or of the pad nitride layer as etching stop layer is necessary for the shallow trench isolation or the STI oxide 180, so that an initial thickness of the pad stack or pad nitride increased by the erosion thickness is usually required.
Darüber hinaus ist für die flache Grabenisolation bzw. das STI-Oxid 180 eine vorbestimmte Mindestdicke des Pad-Stapels bzw. der Pad-Nitridschicht als Ätzstoppschicht erforderlich, so dass man üblicherweise eine um die Abtragsdicke erhöhte Anfangsdicke des Pad-Stapels bzw. Pad-Nitrids benötigt.
EuroPat v2
The first (source) electrode connection 21 is formed for the most part on the first shallow-trench isolation 41 and to a lesser part on the accessible contact are a 81 of the substrate 1 and on the insulation covering layer 21 a .
Der erste (Source-)Elektrodenanschluss 21 ist größtenteils auf der ersten flachen Grabenisolation 41 und zum kleineren Teil auf der zugänglichen Kontakt-Fläche 81 des Substrats 1 und auf der Isolationsdeckschicht 21a ausgebildet.
EuroPat v2
The third (drain) electrode connection 23 is again formed for the most part on a shallow-trench isolation 42 and partly on a contact area 82, which exposes the substrate 1, and the insulation covering layer 23 a .
Der dritte (Drain-)-Elektrodenanschluss 23 ist wiederum größtenteils auf einer flachen Grabenisolation 42 und zum Teil auf einer das Substrat 1 freilegenden Kontakt-Fläche 82 und der Isolationsdeckschicht 23a ausgebildet.
EuroPat v2

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