Übersetzung für "Edge coverage" in Deutsch
Subsequently,
a
first
insulating
layer
28
is
deposited
surface-wide
with
conformal
edge
coverage.
Anschließend
wird
ganzflächig
eine
erste
isolierende
Schicht
28
mit
konformer
Kantenbedeckung
abgeschieden.
EuroPat v2
The
conductive
layer
4
is
deposited
with
an
essentially
conforming
edge
coverage.
Die
leitfähige
Schicht
4
wird
mit
im
wesentlichen
konformer
Kantenbedeckung
abgeschieden.
EuroPat v2
The
stop
layer
3
is
essentially
produced
with
conformal
edge
coverage.
Die
Stoppschicht
3
wird
im
wesentlichen
mit
konformer
Kantenbedeckung
hergestellt.
EuroPat v2
Subsequently,
an
amorphous
silicon
layer
7
having
essentially
conformal
edge
coverage
is
deposited
surface-wide.
Anschließend
wird
ganzflächig
eine
amorphe
Siliziumschicht
7
mit
im
wesentlichen
konformer
Kantenbedeckung
abgeschieden.
EuroPat v2
The
doped
polysilicon
layer
13'
is
deposited
with
conformal
edge
coverage.
Die
dotierte
Polysiliziumschicht
13'
wird
mit
konformer
Kantenbedeckung
abgeschieden.
EuroPat v2
Subsequently,
a
first
insulating
layer
is
deposited
in
surface-wide
fashion
with
conformal
edge
coverage
(see
FIG.
2).
Anschließend
wird
ganzflächig
eine
erste
isolierende
Schicht
mit
konformer
Kantenbedeckung
abgeschieden
(siehe
Figur
2).
EuroPat v2
As
compared
with
spray
application,
a
uniform
layer
thickness
and
good
edge
coverage
can
be
achieved.
Im
Vergleich
zur
Spritzapplikation
können
eine
gleichmäßige
Schichtstärke
und
eine
gute
Kantenabdeckung
erzielt
werden.
EuroPat v2
In
order
to
form
the
gate
electrodes,
a
doped
polysilicon
layer
with
essentially
conformal
edge
coverage
is
then
produced.
Anschließend
wird
zur
Bildung
der
Gateelektroden
eine
dotierte
Polysiliziumschicht
mit
im
wesentlichen
konformer
Kantenbedeckung
erzeugt.
EuroPat v2
Good
flow
properties
and
good
edge
coverage
are
obtained
due
to
the
compatible
pigment
loadings
of
the
two
layers.
Durch
die
abgestimmte
Pigmentierung
der
beiden
Schichten
ist
ein
guter
Verlauf
sowie
eine
gute
Kantenabdeckung
gegeben.
EuroPat v2
Despite
the
improved
edge
coverage,
however,
the
anticorrosion
effect
of
the
deposited
electrodeposition
coating
films
at
the
edge
is
inadequate.
Trotz
der
verbesserten
Kantenabdeckung
ist
die
Korrosionsschutzwirkung
der
abgeschiedenen
Elektrotauchlackfilme
an
der
Kante
jedoch
unzureichend.
EuroPat v2
The
dispersions
are
preferably
thixotropic,
to
facilitate
good
edge
and
corner
coverage
of
the
capacitor
bodies.
Die
Dispersionen
sind
bevorzugt
thixotropisch,
um
eine
gute
Kanten-
und
Eckenbelegung
der
Kondensatorkörper
zu
erleichtern.
EuroPat v2
CEC
coatings
with
good
edge
coverage
can
be
deposited
onto
electrically
conductive
substrates
from
the
CEC
coating
compounds
according
to
the
invention.
Aus
den
erfindungsgemäßen
KTL-Überzugsmitteln
können
auf
elektrisch
leitfähigen
Substraten
KTL-Überzüge
mit
guter
Kantenabdeckung
abgeschieden
werden.
EuroPat v2
The
deposition
of
arsenic-doped
amorphous
silicon
by
preliminarily
lining
with
arsenic
and
temporally
separate,
but
immediately
ensuing
silicon
deposition,
in
other
words
without
the
wafers
leaving
the
reactor,
is
a
suitable
process
for
producing
low-doped
silicon
layers
with
good
edge
coverage
and
good
surface
quality.
Die
Abscheidung
von
Arsen-dotiertem
amorphen
Silizium
durch
Arsen-Vorbelegung
und
zeitlich
getrennte
aber
sofort,
d.
h.
ohne
daß
die
Wafer
den
Reaktor
verlassen,
anschließende
Siliziumabscheidung
ist
ein
geeignetes
Verfahren,
um
niedrig
dotierte
Siliziumschichten
mit
guter
Kantenbedeckung
und
guter
Oberflächenqualität
zu
erzeugen.
EuroPat v2
For
finishing
the
insulating
trench,
it
lies
within
the
scope
of
the
invention
to
fill
the
clearance
remaining
in
the
trench
5
(see
FIG.
5)
by
surface-wide
deposition
of
a
SiO2
layer
with
conformal
edge
coverage.
Zur
Fertigstellung
des
Isolationsgrabens
liegt
es
im
Rahmen
der
Erfindung,
den
im
Graben
5
verbliebenen
Freiraum
(siehe
Figur
5)
durch
ganzflächige
Abscheidung
einer
SiO
2
-Schicht
mit
konformer
Kantenbedeckung
aufzufüllen.
EuroPat v2
If
a
substantially
collimated
deposition
of
a
further
layer
8
is
then
carried
out,
which
also
leads
to
a
partial
edge
coverage,
then
only
the
side
edges
of
flanks
of
the
auxiliary
layer
20
are
covered.
Erfolgt
nun
ein
weitgehend
kollimierter
Auftrag
einer
weiteren
Materialschicht
8,
die
noch
zu
einer
teilweisen
Kantenbedeckung
führt,
so
werden
nur
die
Seitenflanken
der
Hilfsschicht
20
bedeckt.
EuroPat v2
The
first
insulating
layer
is
formed
with
essentially
conformal
edge
coverage,
the
thickness
thereof
being
dimensioned
such
that
it
essentially
fills
the
first
insulating
trenches.
Es
wird
eine
erste
isolierende
Schicht
mit
im
wesentlichen
konformer
Kantenbedeckung
gebildet,
deren
Dicke
so
bemessen
wird,
daß
sie
die
ersten
isolierenden
Gräben
im
wesentlichen
auffüllt.
EuroPat v2
However,
the
tackiness
and
edge
coverage
of
the
resist
films
obtained
with
these
systems
on
conductors
owing
to
the
fairly
low
relative
molar
mass
are
unsatisfactory.
Allerdings
lassen
die
Klebrigkeit
und
die
Kantendeckung
der
mit
diesen
Systemen
erhaltenen
Resistfilme
auf
Leiterzügen
wegen
der
relativ
niedrigen
Molekularmasse
zu
wünschen
übrig.
EuroPat v2
For
this
purpose,
too,
use
is
made
of
a
deposition
process
that
has
a
reduced
edge
coverage,
so
that
the
second
dielectric
layer
10
is
formed
between
the
freely
suspended
structures
of
the
first
dielectric
layer
8
.
Auch
hierzu
wird
ein
Abscheideprozeß
verwendet,
der
eine
verringerte
Kantendeckung
aufweist,
so
daß
zwischen
den
freischwebenden
Strukturen
der
ersten
dielektrischen
Schicht
8
die
zweite
dielektrische
Schicht
10
gebildet
wird.
EuroPat v2