Übersetzung für "Wafer fabrication" in Deutsch
The
region
105
essentially
contributes
to
the
mechanical
stability
of
a
wafer
during
the
fabrication
of
semiconductor
components
in
the
region
104,
the
extent
of
the
wafer
in
the
lateral
direction
exceeding
the
thickness
d,
or
the
sum
of
the
thicknesses
d
and
x,
by
several
orders
of
magnitude.
Der
Bereich
105,
trägt
im
wesentlichen
zur
mechanischen
Stabilität
eines
Wafers
bei
der
Herstellung
von
Halbleiterbauelementen
in
dem
Bereich
104
bei,
wobei
die
Ausdehnung
des
Wafers
in
lateraler
Richtung
die
Dicke
D,
bzw.
die
Summe
aus
den
Dicken
D
und
x,
um
mehrere
Größenordnungen
übersteigt.
EuroPat v2
The
semiconductor
materials
may
possess
any
conventional
crystal
lattice
orientation
and
resistivity,
and
will
be
of
conventional
dimensions
as
used
in
the
wafer
fabrication
industry.
Die
Halbleitermaterialien
können
jede
herkömmliche
Kristallgitterorientierung
und
alle
spezifischen
Widerstände
aufweisen
und
die
herkömmlichen
Abmessungen
haben,
wie
sie
bei
der
Herstellung
in
der
Scheibenindustrie
Verwendung
finden.
EuroPat v2
After
the
patterning
step,
which
is
usually
carried
out
by
photolithographic
processes,
a
second
insulating
layer
4,
a
first
conductive
layer
5
and
a
partial
protective
layer
6
are
deposited
on
the
wafer
in
subsequent
fabrication
steps.
Nach
diesem
Strukturierungsschritt,
der
üblicherweise
mittels
fotolithografischer
Prozesse
durchgeführt
wird,
werden
in
nachfolgenden
Herstellungsschritten
eine
zweite
Isolierschicht
4,
eine
erste
leitende
Schicht
5
und
eine
Teil-Schutzschicht
6
auf
dem
Wafer
abgeschieden.
EuroPat v2
These
changes
reduce
the
significance
of
labour
costs
and
hence
the
attractiveness
of
Third
World
locations
relative
to
the
economies
of
co-locating
sub-automated
assemblies
and
wafer
fabrication
in
developed
countries.
Diese
Änderungen
reduzieren
die
Bedeutung
der
Arbeitskosten
und
daher
die
Anziehungskraft
der
Standorte
in
der
Dritten
Welt
im
Verhältnis
zu
den
Einsparungen,
wenn
man
die
Standorte
für
halbautomatisierte
Montagen
und
Waferherstellung
in
den
entwickelten
Ländern
zusammenstellt.
ParaCrawl v7.1
In
order
to
reduce
wafer
fabrication
tolerances,
the
ion
current
is
measured
and
the
irradiation
time
is
adjusted
depending
on
the
ion
current.
Um
Fertigungstoleranzen
der
Wafer
zu
reduzieren,
wird
der
lonenstrom
gemessen
und
die
Bestrahlungsdauer
in
Abhängigkeit
von
dem
lonenstrom
angepasst.
EuroPat v2
The
layer
17
can
be
applied
to
the
rear
side
of
the
wafer
during
fabrication
of
the
semiconductor
chip
4,
for
example,
by
electroplating
or
in
the
form
of
a
film.
Die
Schicht
17
kann
während
der
Herstellung
des
Halbleiterchips
4
beispielsweise
durch
Electroplating
oder
in
Form
einer
Folie
auf
die
Rückseite
des
Wafers
aufgebracht
werden.
EuroPat v2
It
should
be
noted
that
in
the
context
of
the
invention,
the
opening
can
also
be
an
opening
through
the
active
zone,
produced
in
the
semiconductor
layer
sequence
on-wafer
during
the
fabrication
of
the
optoelectronic
component.
Es
sei
angemerkt,
dass
als
Durchbruch
im
Rahmen
der
Erfindung
auch
ein
während
der
Herstellung
des
optoelektronischen
Bauelements
im
Waferverbund
in
der
Halbleiterschichtenfolge
erzeugter
Durchbruch
durch
die
aktive
Zone
angesehen
werden
kann.
EuroPat v2
After
this
patterning
step,
which
is
usually
carried
out
by
photolithographic
processes,
a
second
insulating
layer
4,
a
first
conductive
layer
5
and
a
protective
layer
6
are
deposited
on
the
wafer
in
subsequent
fabrication
steps.
Nach
diesem
Strukturierungsschritt,
der
üblicherweise
mittels
fotolithografischer
Prozesse
durchgeführt
wird,
werden
in
nachfolgenden
Herstellungsschritten
eine
zweite
Isolierschicht
4,
eine
erste
leitende
Schicht
5
und
eine
Schutzschicht
6
auf
dem
Wafer
abgeschieden.
EuroPat v2
In
order,
on
the
one
hand,
to
ensure
sufficient
mechanical
stability
of
the
wafer
during
fabrication,
which
can
only
be
ensured
by
means
of
a
certain
thickness,
and,
on
the
other
hand,
to
minimize
the
effects
of
this
thickness
required
for
fabrication
on
the
component,
further
procedures
are
generally
known
in
addition
to
the
abovementioned
possibility
of
applying
epitaxial
layers
which
determine
the
electrical
properties
to
a
substrate
which
is
a
good
conductor.
Um
einerseits
eine
ausreichende
mechanische
Stabilität
des
Wafers
bei
der
Herstellung
zu
gewährleisten,
die
nur
durch
eine
gewisse
Dicke
sichergestellt
werden
kann,
und
andererseits
die
Auswirkungen
dieser
zur
Herstellung
erforderlichen
Dicke
auf
das
Bauelement
möglichst
gering
zu
halten,
sind
neben
der
genannten
Möglichkeit,
auf
ein
gut
leitendes
Substrat
Epitaxie-Schichten
aufzubringen,
die
die
elektrischen
Eigenschaften
bestimmen,
weitere
Vorgehensweisen
allgemein
bekannt.
EuroPat v2
However,
the
implantation
of
the
oxygen
ions
produces
crystal
defects
(damage)
in
the
thin
layer
of
silicon,
and
this
damage
has
adverse
effects
on
the
SOI
wafer
during
subsequent
fabrication
of
electronic
components.
Durch
die
Implantation
der
Sauerstoff-Ionen
werden
jedoch
Kristallfehler
("Damage")
in
der
dünnen
Siliciumschicht
erzeugt,
die
sich
bei
einer
nachfolgenden
Herstellung
von
elektronischen
Bauelementen
auf
der
SOI-Scheibe
nachteilig
auswirken.
EuroPat v2
The
smaller
an
integrated
circuit,
the
higher
the
effective
yield
per
wafer
during
fabrication.
Je
kleiner
eine
integrierte
Schaltung
ist,
desto
höher
ist
auch
die
effektive
Ausbeute
pro
Wafer
bei
der
Herstellung.
EuroPat v2
The
company
already
won
the
prestigious
award
in
1984
for
the
ELSAM
acoustic
microscope
and
again
in
2002
for
the
DUV
high-resolution
microscope
objective
for
photomask
and
wafer
fabrication.
Bereits
1984
wurde
das
Unternehmen
für
das
Akustomikroskop
ELSAM
und
2002
für
das
DUV-Hochauflösungsobjektiv
für
Fotomasken-
und
Waferherstellung
mit
dem
renommierten
Preis
ausgezeichnet.
ParaCrawl v7.1
With
inspection,
guidance
and
identification
applications
throughout
wafer
manufacture,
cell
fabrication
and
module
assembly
processes,
Cognex
is
a
leader
in
supporting
manufacturing
in
the
alternative
energy
market.
Mit
Prüf-,
Steuerungs-
und
Identifikationsanwendungen
in
der
Wafer-Herstellung,
Solarzellenfertigung
und
bei
Modulmontageprozessen
ist
Cognex
ein
maßgeblicher
Unterstützer
von
Herstellern
im
Bereich
erneuerbarer
Energien.
ParaCrawl v7.1
Wafer
fabrication
includes
many
repeated
processes
to
produce
complete
integrated
electronic
circuits
on
the
wafer
substrate
surface
and
subsequently
sectioning
into
individual
wafer
dice.
Die
Herstellung
von
Wafern
umfasst
zahlreiche,
sich
wiederholende
Prozesse,
um
vollständige
elektronische
Bauteile
und
integrierte
Schaltkreise
auf
der
Oberfläche
des
Wafersubstrats
zu
erzeugen,
wonach
der
Wafer
vereinzelt
wird.
ParaCrawl v7.1
Conventional
solar
modules
of
crystalline
silicon
are
based
on
wafer
fabrication
with
subsequent
electrical
wiring,
resulting
in
relatively
small
power
units
of
approximately
1
W,
silicon
wafers
then
needing,
as
a
rule,
to
be
circuited
into
50-100
W
modules.
Herkömmliche
Solarmodule
aus
kristallinem
Silizium
basieren
auf
einer
Waferherstellung
und
einer
nachfolgenden
elektrischen
Verdrahtung.
Hieraus
entstehen
relative
kleine
Leistungseinheiten
von
ca.
1
W
Silizium-Wafern,
die
dann
in
der
Regel
zu
50
-
100
W
Modulen
verschaltet
werden
müssen.
EuroPat v2
As
a
comparison,
wafers
were
fabricated
using
the
same
fabrication
sequence
but
with
grinding
of
the
front
on
a
wafer
holder
having
a
hard
support.
Zum
Vergleich
wurden
Scheiben
mit
gleicher
Fertigungsabfolge,
aber
mit
Schleifen
der
Vorderseite
auf
einem
Scheibenhalter
mit
harter
Auflage,
gefertigt.
EuroPat v2
After
contact
metallization
layers
have
been
applied
to
the
wafer
fabricated
in
such
a
way,
the
wafer
is
separated
into
individual
light-emitting
diode
chips
or
semiconductor
laser
chips.
Nach
einem
Aufbringen
von
Kontaktmetallisierungen
auf
den
derart
hergestellten
Wafer
wird
dieser
in
einzelne
Leuchtdiodenchips
oder
Halbleiterlaserchips
vereinzelt.
EuroPat v2
Many
difficulties
which
occur
when
breaking
or
etching
wafers
fabricated
by
means
of
planar
epitaxy,
in
particular
Ga(In,Al)N
epitaxial
wafers
for
fabricating
a
very
wide
variety
of
light-emitting
diode
or
semiconductor
laser
chips,
are
circumvented
by
this
method.
Viele
Schwierigkeiten,
die
beim
Brechen
bzw.
Ätzen
von
mittels
planarer
Epitaxie
hergestellten
Scheiben,
insbesondere
von
Ga(in,Al)N-Epitaxiewafern
zur
Herstellung
von
Leuchtdioden-
oder
Halbleiterlaserchips
verschiedenster
Art
auftreten,
werden
mit
diesem
Verfahren
umgangen.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
method
for
the
production
of
vertical
electrical
contact
connections
(micro-vias,
via=vertical
interconnect
access)
in
semiconductor
wafers
for
the
fabrication
of
semiconductor
devices,
i.e.,
of
contacts
on
the
front
side
of
the
wafer
through
the
semiconductor
wafer,
to
the
rear
side
of
the
wafer.
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Erzeugung
von
vertikalen
elektrischen
Kontaktverbindungen
(Mikro-Vias,
via
=
vertical
interconnect
access)
in
Halbleiterwafern
zur
Herstellung
von
Halbleiter-Bauelementen,
das
heißt
von
Kontakten
auf
der
Wafer-Vorderseite
durch
den
Halbleiter-Wafer
hindurch
zur
Wafer-Rückseite.
EuroPat v2