Übersetzung für "Semiconductor manufacture" in Deutsch
Passive
protective
mechanisms
are
essentially
based
directly
on
the
technology
of
semiconductor
manufacture.
Passive
Schutzmechanismen
basieren
im
wesentlichen
direkt
auf
der
Technologie
der
Halbleiterherstellung.
EuroPat v2
It
shows
a
high
resistance
to
dry
etching
as
compared
with
the
standard
fluorine-containing
process
gases
of
the
semiconductor
manufacture.
Sie
zeigt
eine
hohe
Trockenätzbeständigkeit
gegenüber
den
üblichen
fluorhaltigen
Prozessgasen
der
Halbleiterfertigung.
EuroPat v2
Lithographic
structuring
is
used
in
many
ways,
for
example
including
in
semiconductor
manufacture.
Lithographische
Strukturierung
wird
in
vielfältiger
Weise
beispielsweise
auch
in
der
Halbleiterfertigung
eingesetzt.
EuroPat v2
We
develop
and
manufacture
semiconductor-
and
system
solutions
for
our...
Hier
entwickelt
und
fertigt
Infineon
Halbleiter-
und
Systemlösungen
für...
ParaCrawl v7.1
In
semiconductor
manufacture,
photoresist
is
normally
used
as
the
mask
material
for
the
etching
mask
in
these
dry
etching
processes.
Als
Maskenmaterial
für
die
Aetzmaske
wird
in
der
Halbleiterfertigung
bei
diesen
Trockenätzprozessen
üblicherweise
Photolack
verwendet.
EuroPat v2
The
invention
concerns
an
impermeable
cooled
closing
plug
for
processing
tubes,
in
particular
in
semiconductor
manufacture.
Die
Erfindung
betrifft
einen
dichten,
gekühlten
Verschluß
für
Prozeßrohre,
insbesondere
in
der
Halbleiterfertigung.
EuroPat v2
The
spectrum
of
use
is
wide
and
ranges
from
immunobiological
tests
to
surface
tests
in
semiconductor
manufacture.
Das
Anwendungsspektrum
ist
breit
gestreut
und
reicht
von
immunbiologischen
Untersuchungen
bis
zu
Oberflächenuntersuchungen
bei
der
Halbleiterherstellung.
EuroPat v2
It
is
distinguished
by
the
absence
of
cracks
and
a
high
resistance
to
dry
etching
with
respect
to
the
standard
fluorine-containing
process
gases
in
semiconductor
manufacture.
Die
zeichnet
sich
durch
Rissfreiheit
und
hohe
Trockenätzbeständigkeit
gegenüber
den
üblichen
fluorhaltigen
Prozessgasen
der
Halbleiterfertigung
aus.
EuroPat v2
With
users
of
the
optical
industry
or
semiconductor
manufacture
the
fine
air
conditioning
is
added
supplementing
as
requirement.
Bei
Anwendern
der
Optischen
Industrie
oder
Halbleiterherstellung
kommt
die
Feinklimatisierung
ergänzend
als
Anforderung
hinzu.
ParaCrawl v7.1
They
are
also
used
as
foam
blowing
agents,
aerosol
propellants,
fire-fighting
agents,
process
gases
in
semiconductor
manufacture
and
electrical
insulators.
Die
Gase
werden
auch
als
Treibmittel
für
Schaumstoffe
und
Aerosole,
in
Ausrüstungen
zur
Brandbekämpfung,
als
Prozessgase
bei
der
Halbleiterherstellung
und
elektrische
Isolatoren
eingesetzt.
TildeMODEL v2018
New
developments
in
semiconductor
manufacture
require
specialised
process
fluids
to
allow
the
patterning
to
take
place
with
very
high
reliability,
density
and
uniformity.
Neue
Entwicklungen
in
der
Halbleiterherstellung
benötigen
hochentwickelte
Verarbeitungsflüssigkeiten,
um
eine
sehr
hohe
Zuverlässigkeit,
Dichte
und
Einheitlichkeit
bei
der
Übertragung
von
Strukturinformation
zu
ermöglichen.
TildeMODEL v2018
The
quinone
diazide
compounds
desensitised
according
to
the
present
invention
are
excellently
suited
to
the
preparation
of
radiation-sensitive
compositions
such
as
are
used
for
producing
positive
relief
images
in
the
manufacture
of
printing
plates
are
as
photoresists
in
semiconductor
manufacture.
Die
gemäss
der
vorliegenden
Erfindung
phlegmatisierten
Chinondiazid-Verbindungen
eignen
sich
in
hervorragender
Weise
zur
Herstellung
strahlungsempfindlicher
Zusammensetzungen,
wie
sie
zur
Erzeugung
von
positiven
Reliefbildern
bei
der
Herstellung
von
Druckplatten
oder
als
Fotoresists
bei
der
Halbleiterfertigung
Verwendung
finden.
EuroPat v2
FIG.
1
shows
a
micromechanical
structure
of
a
sensor
according
to
the
invention
including
a
substrate
1
made
of
a
silicon
wafer,
a
sacrificial
layer
7
which
is
located
on
top
of
the
substrate
1
and
is
made
of
silicon
oxide
with
a
thickness
preferably
in
the
region
between
approximately
0.2
and
4
?m,
a
diaphragm
layer
3
made
of
polysilicon
or
monocrystalline
silicon,
a
closure
layer
4
made
of
a
suitable
material
which
is
preferably
BPSG,
an
oxide
or
a
nitride,
an
etch
stop
5
made
of
a
suitable
material,
preferably
aluminum,
undoped
silicon
or
doped
silicon
being
used
as
the
etch
stop,
and
a
terminating
structure
2
composed
of
layers
which
are
customary
in
semiconductor
manufacture.
Figur
1
zeigt
die
mikromechanische
Struktur
eines
erfindungs-Sensors
umfassend
ein
Substrat
1
aus
einem
Siliziumwafer,
einer
darauf
befindlichen
Opferschicht
7
aus
Siliziumoxid
mit
einer
Dicke
vorzugweise
im
Bereich
von
etwa
0,2
bis
4
µm,
eine
Membranschicht
3
aus
Polysilizium
oder
einkristallinem
Silizium,
einer
Verschlußschicht
4
aus
einem
geeigneten
Material,
welches
vorzugsweise
BPSG,
ein
Oxid
oder
ein
Nitrid
ist,
einem
Ätzstopp
5
aus
einem
geeignetem
Material,
wobei
vorzugsweise
als
Ätzstop
Aluminium,
undotiertes
Silizium
oder
dotiertes
Silizium
eingesetzt
wird,
und
einer
Abschlußstruktur
2
bestehend
aus
Schichten,
welche
in
der
Halbleiterfertigung
üblich
sind.
EuroPat v2
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
The
object
underlying
the
invention
is
to
provide
a
process
for
preparing
cleaning
solutions
for
semiconductor
manufacture,
which
process
avoids
said
disadvantages.
Der
Erfindung
liegt
die
Aufgabe
zugrunde,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
von
Reinigungslösungen
für
die
Halbleiterherstellung
bereitzustellen,
das
die
genannten
Nachteile
vermeidet.
EuroPat v2
The
invention
thus
relates
to
a
process
for
the
direct
preparation
of
cleaning
solutions
for
semiconductor
manufacture
which
comprises
generating
the
cleaning
solutions
directly
at
the
site
of
use
by
mixing
a
gas
with
water
or
aqueous
solutions,
with
a
static
mixer
system
being
used.
Gegenstand
der
Erfindung
ist
somit
ein
Verfahren
zur
direkten
Herstellung
von
Reinigungslösungen
für
die
Halbleiterherstellung,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Reinigungslösungen
durch
Mischen
eines
Gases
mit
Wasser
oder
wäßrigen
Lösungen
direkt
am
Ort
der
Verwendung
erzeugt
werden,
wobei
ein
statisches
Mischersystem
eingesetzt
wird.
EuroPat v2
This
device
is
used
especially
in
the
field
of
thin-layer
technology
in
the
production
of
LCD
screen
monitors,
masks
for
semiconductor
manufacture
and
semiconductor
or
ceramic
substrates.
Die
Verwendung
dieser
Vorrichtung
liegt
insbesondere
im
Bereich
der
Dünnschichttechnik
bei
der
Herstellung
von
LCD-Bildschirmen,
Masken
für
die
Halbleiterfertigung
und
Halbleiter-
oder
Keramiksubstraten.
EuroPat v2
This
sensor
can
be
produced
economically
in
batch
processes
that
are
suitable
for
mass
production,
with
recourse
to
methods
known
from
semiconductor
manufacture.
Dieser
Sensor
kann
mit
zur
Massenfertigung
geeigneten
Batchprozessen
kostengünstig
hergestellt
werden,
wobei
auf
aus
der
Halbleiterfertigung
bekannte
Verfahren
zurückgegriffen
wird.
EuroPat v2
The
electrode
chips
designed
as
type
ASIS
or
ASICS
thus
offer
the
advantage
of
a
rational
semiconductor
manufacture
in
spite
of
varied
and
different
application
specifications.
Die
als
ASIS
bzw.
ASICS
ausgeführten
Elektrodenchips
haben
somit
-
trotz
vielseitiger
und
unterschiedlicher
Anwendungsspezifikationen
-
den
Vorteil
einer
rationalen
Halbleiterfertigung.
EuroPat v2
Such
an
extracochlear
transducer
array
in
its
entirety
can
be
developed
and
produced
simply
and
with
high
precision
in
processes
which
are
conventional
in
semiconductor
manufacture
art
using
microsystems
engineering,
for
example,
by
photolithography.
Ein
solches
extracochleäres
Wandler-Array
kann
als
Ganzes
einfach
und
mit
hoher
Genauigkeit
in
aus
der
Halbleiterfertigung
üblichen
Verfahren
mikrosystemtechnisch,
zum
Beispiel
fotolithographisch,
entwickelt
und
hergestellt
werden.
EuroPat v2
This
extracochlear
converter
array
can
be
developed
and
produced,
as
a
whole,
simply
and
with
high
precision
in
processes
conventional
in
semiconductor
manufacture
using
microsystems
engineering
techniques,
for
example,
photolithographically.
Ein
solches
extracochleäres
Wandler-Array
kann
als
Ganzes
einfach
und
mit
hoher
Genauigkeit
in
aus
der
Halbleiterfertigung
üblichen
Verfahren
mikrosystemtechnisch,
zum
Beispiel
fotolithographisch,
entwickelt
und
hergestellt
werden.
EuroPat v2
The
measuring
device
described
above
is
preferably
used
for
determining
the
edges
of
structures
on
masks
and
wafers
for
semiconductor
manufacture.
Das
beschriebene
Meßgerät
wird
vorzugsweise
zur
Bestimmung
der
Kantenlage
von
Strukturen
auf
Masken
und
Wafern
für
die
Halbleiterherstellung
verwendet.
EuroPat v2
The
receiver
depression
arranged
in
the
layer
stack
enables
in
the
manufacture
of
the
connection,
a
simple,
layer
by
layer
installation
of
the
cutback
into
the
boundary
wall
of
the
receiver
depression,
whereby
in
micro-mechanics
and/or
semiconductor
manufacture,
customary
standard
processes
are
used.
Die
in
dem
Schichtstapel
angeordnete
Aufnahmevertiefung
ermöglicht
bei
der
Herstellung
der
Kupplung
eine
einfache,
schichtweise
Einbringung
des
Rücksprungs
in
die
Begrenzungswand
der
Aufnahmevertiefung,
wobei
in
der
Mikromechanik
und/oder
der
Halbleiterfertigung
übliche
Standardprozesse
zur
Anwendung
kommen
können.
EuroPat v2
The
focus
is
on
user
driven
assessment
of
advanced
prototype
equipment,
of
related
OEM
components
and
of
materials
for
semiconductor
manufacture.
Der
Fokus
liegt
auf
der
anwenderseitigen
Beurteilung
von
fortschrittlichen
Prototypausrüstungen,
zugehörigen
OEM-Komponenten
und
von
Werkstoffen
für
die
Halbleiterfertigung.
EUbookshop v2