Übersetzung für "Electrostatic chuck" in Deutsch
The
electrostatic
chuck
consists
of
polyimide,
copper,
polyimide.
Das
elektrostatische
Haltesystem
besteht
aus
Polyimid,
Kupfer,
Polyimid.
EuroPat v2
Normally,
the
insulation
layer
of
an
electrostatic
chuck
consists
of
temperature-resistant
plastic
materials
or
ceramic
materials.
Üblicherweise
besteht
die
Isolationsschicht
eines
elektrostatischen
Chucks
aus
temperaturfesten
Kunststoffen
oder
keramischen
Materialien.
EuroPat v2
However
this
mentioned
electrostatic
chuck
is
a
fixed
component
of
the
plant.
Jedoch
ist
dieser
erwähnte
elektrostatische
Chuck
ein
fester
Bestandteil
der
Anlage.
EuroPat v2
EP
0
467
390
A1
describes
an
electrostatic
chuck
in
which
a
liquid-cooled
pedestal
is
used.
Das
EP
0.467.390
A1
beschreibt
ein
elektrostatisches
Haltesystem,
bei
dem
ein
flüssigkeitsgekühlter
Grundkörper
verwendet
wird.
EuroPat v2
Furthermore,
in
plasma
plants
the
principle
of
the
electrostatic
chuck
(E-chuck)
is
known:
In
Plasmaanlagen
ist
darüber
hinaus
das
Prinzip
des
elektrostatischen
Chucks
(E-Chucks)
bekannt:
EuroPat v2
The
electrostatic
chuck
according
to
claim
1,
wherein
the
electrode
is
comprised
of
an
intrinsically
conductive
polymer.
Eine
Elektrode
nach
einem
oder
mehreren
der
Ansprüche
1
bis
5,
wobei
die
Elektrode
aus
einem
eigenleitfähigen
Polymer
besteht.
EuroPat v2
The
electrostatic
chuck
according
to
claim
1,
wherein
the
electrode
is
comprised
of
an
organic
material
rendered
conductive
by
a
filling
of
finely
dispersed
metal
or
conductive
carbon.
Eine
Elektrode
nach
einem
oder
mehreren
der
Ansprüche
1
bis
5,
wobei
die
Elektrode
aus
einem
durch
eine
Füllung
mit
einem
feindispergierten
Metall
oder
leitfähigen
Kohlenstoff
leitfähig
gemachten
organischen
Material
besteht.
EuroPat v2
The
electrostatic
chuck
according
to
claim
1,
wherein
at
least
one
of
the
two
insulating
layers
of
organic
material
comprises
at
least
one
layer
of
foil,
wherein,
for
increasing
the
dielectric
constant,
the
at
least
one
layer
of
foil
is
filled
with
a
filling
material
having
a
higher
dielectric
constant
than
the
organic
material,
wherein
the
filling
material
is
selected
from
the
group
consisting
of
titanium
dioxide,
aluminum
oxide,
alkaline
titanate,
alkaline-earth
titanate
and
alkaline-earth
titanate
modified
with
rare
earths.
Ein
elektrostatisches
Haltesystem
nach
einem
oder
mehreren
der
Ansprüche
1
bis
12,
bei
denen
eine
oder
mehrere
Folienlagen
des
oberen
und
oder
unteren
Dielektrikums
zur
Erhöhung
der
Dielektrizitätskonstante
mit
einem
Material
mit
höherer
Dielektrizitätskonstante
als
das
organische
Folienmaterial
gefüllt
ist
(sind),
zum
Beispiel
Titandioxid,
Aluminiumoxid,
Alkali-
oder
Erdalkalitanate
auch
mit
seltenen
Erden
modifiziert.
EuroPat v2
The
electrostatic
chuck
according
to
claim
16,
wherein
the
at
least
one
foil
filled
with
filling
material
is
comprised
of
a
raw
material
produced
by
mixing
a
dissolved
thermoplastic
polyimide
or
other
soluble
organic
polymer
with
the
filler
material
and
processing
into
a
foil
by
pouring
or
stretching.
Ein
elektrostatisches
Haltesystem
nach
Anspruch
13,
wobei
der
Rohstoff
für
die
gefüllte
Folie
durch
Mischen
eines
gelösten
thermoplastischen
Polyimides
oder
eines
anderen
löslichen
organischen
Polymers
mit
dem
keramischen
Füllstoff
hergestellt
wird
und
durch
Gießen
oder
Streichen
zu
einer
Folie
verarbeitet
wird.
EuroPat v2
EP
0
668
607
A1
describes
a
system
in
which
the
electrostatic
chuck
is
improved
by
additionally
supplying
a
protective
gas
at
the
edge
of
the
system.
Das
EP
0.668.607
A1
beschreibt
ein
System,
bei
dem
das
elektrostatische
Haltesystem
durch
zusätzliche
Zuführung
eines
Schutzgases
am
Rand
des
Systems
verbessert
wird.
EuroPat v2
The
intermediate
layer
may
also
be
inserted
if
it
is
necessary
to
provide
passageways
in
the
central
area
of
the
electrostatic
chuck
in
order
to
distribute
a
gas
for
improving
the
heat
transfer
between
pedestal
(4)
and
substrate
(5).
Diese
Zwischenlage
kann
auch
eingefügt
werden,
wenn
im
zentralen
Bereich
des
elektrostatischen
Haltesystems
Kanäle
notwendig
sind,
um
ein
Gas
zur
Verbesserung
der
Wärmeübertragung
zwischen
Grundkörper
(4)
und
Substrat
(5),
zu
verteilen.
EuroPat v2