Translation of "Target holder" in German
The
inside
diameters
of
the
target
holder
and
the
hollow
cylindrical
sputtering
material
should
also
be
the
same
here.
Die
Innendurchmesser
des
Trägerrohrs
und
des
rohrförmigen
Zerstäubungsmaterials
sollten
auch
hier
gleich
sein.
EuroPat v2
An
embodiment
of
this
type
makes
it
possible
to
keep
the
length
of
the
target
holder
very
short.
Eine
solche
Ausführungsform
ermöglicht
es,
die
Länge
des
Trägerrohrs
sehr
kurz
zu
halten.
EuroPat v2
However,
other
materials
with
similar
properties
may
also
be
used
for
the
target
holder.
Es
können
aber
auch
andere
Materialien
mit
ähnlichen
Eigenschaften
für
das
Trägerrohr
verwendet
werden.
EuroPat v2
High-grade
steel
is
extremely
well
suited
as
a
material
for
the
target
holder
due
to
its
strength
and
corrosion
resistance.
Als
Material
für
das
Trägerrohr
ist
Edelstahl
aufgrund
seiner
Festigkeit
und
Korrosionsbeständigkeit
hervorragend
geeignet.
EuroPat v2
Although
the
use
of
a
bayonet
closure
as
a
clamped
connection
between
the
target
holder
and
the
target
plate
is
preferred,
clamped
connections
of
other
kinds,
for
example,
sliding
guided
connections
or
dovetail
connections,
can
also
be
used
while
realizing
the
described
advantages
of
the
invention.
Obwohl
die
Verwendung
eines
Bajonettverschlußes
als
Klemmverbindung
zwischen
Targethalterung
und
Targetplatte
bevorzugt
ist,
lassen
sich
auch
unter
Realisierung
der
beschriebenen
Vorteile
der
Erfindung
Klemmverbindungen
anderer
Art,
z.B.
Schiebe-Führungsverbindungen
oder
Schwalbenschwanzverbindungen
verwenden.
EuroPat v2
This
target
holder
1
comprises
an
outer
cylinder
10
and
an
inner
cylinder
6
which
is
arranged
coaxial
to
and
spaced
from
the
outer
cylinder
10.
Diese
Targethalterung
1
besteht
aus
einem
Außenzylinder
10
und
einem
Innenzylinder
6,
der
koaxial
und
mit
Abstand
bezüglich
des
Außenzylinders
10
angeordnet
ist.
EuroPat v2
The
spatial
arrangement
of
the
system
is
fixed
by
the
fact
that
the
target
parts
9a,
9b
and
9c
are
disposed,
while
preserving
their
overlap
and
air
gaps,
on
a
target
holder
which
is
configured
as
a
bipartite
body
of
rotation,
consists
of
nonmagnetic
material,
and
has
good
electrical
and
thermal
conductivity
(copper).
Die
räumliche
Fixierung
der
Anordnung
wird
dadurch
erreicht,
daß
die
Targetteile
9a,
9b
und
9c
unter
Wahrung
von
Überlappung
und
Luftspalten
auf
einem
als
zweiteiliger
Umdrehungskörper
ausgebildeten
Targetträger
39
angeordnet
sind,
der
aus
amagnetischem
Werkstoff
besteht
und
eine
gute
elektrische
und
thermische
Leitfähigkeit
aufweist(Kupfer).
EuroPat v2
The
target
parts
9a,
9b
and
9c
form
a
single
structural
unit
with
this
target
holder
39
and
can
be
removed
leftward
with
the
latter
from
the
wall
7
(refers
to
FIG.
4).
Die
Targetteile
9a,
9b
und
9c
bilden
mit
diesem
Targetträger
39
eine
bauliche
Einheit
und
können
mit
ihm
von
der
Wand
7
nach
links
abgezogen
werden
(bezogen
auf
die
Figur
4).
EuroPat v2
In
an
especially
desirable
manner,
the
target
holder
39,
as
seen
axially,
is
divided
in
the
center,
such
that
the
two
support
parts,
which
are
not
here
separately
distinguished,
can
be
placed
in
the
direction
of
the
axis
onto
the
central
target
part
9b.
In
besonders
zweckmäßiger
Weise
ist
der
Targetträger
39
-
axial
gesehen
-
in
der
Mitte
unterteilt,
und
zwar
derart,
daß
die
beiden
hier
nicht
gesondert
hervorgehobenen
Trägerteile
in
axialer
Richtung
auf
das
mittlere
Targetteil
9b
aufschiebbar
sind.
EuroPat v2
Because
of
this,
good
heat
contact
between
the
target
and
the
target
holder
as
well
as
a
cooling
installation,
in
general
a
water
cooling
system,
is
necessary
for
the
holder.
Aus
diesem
Grund
ist
ein
guter
Wärmekontakt
zwischen
Target
und
Targethalterung
sowie
eine
Kühleinrichtung,
im
allgemeinen
eine
Wasserkühlung,
für
die
Halterung
notwendig.
EuroPat v2
Through
the
heat
conducted
layer
4
between
the
target
3
and
holder
1,
a
sufficient
heat
transfer
is
assured,
so
that
the
sputtering
installation
can
be
operated
at
full
capacity.
Durch
die
wärmeleitende
Schicht
4
zwischen
Target
3
und
Halterung
1
ist
eine
ausreichende
Wärmeübertragung
gewährleistet,
so
daß
die
Sputteranlage
mit
voller
Leistung'betrieben
werden
kann.
EuroPat v2
In
the
method
according
to
the
invention
and
the
device
according
to
the
invention,
the
target
temperature
is
adjusted
according
to
a
balance
between
a
specific
electrical
power
input
into
the
gas
discharge
at
the
target
on
the
one
hand,
and
a
specific
heat
extraction
from
the
coating
chamber
on
the
other
hand,
for
example
by
a
defined
heat-resistance
of
the
coating
chamber
walls
or
of
the
target
holder
or
of
a
heat-collecting
shield
optionally
disposed
in
the
vicinity
of
the
target,
via
this
shield?s
dimensions,
position,
orientation
in
the
coating
chamber
and
relative
to
the
target
or
the
substrate,
and
via
its
cooling
power
(shielding
temperature)
control
of
the
heat
extraction
and
thus
of
the
substrate
temperature
is
possible.
Bei
dem
erfindungsgemäßen
Verfahren
und
der
erfindungsgemäßen
Vorrichtung
wird
die
Targettemperatur
eingestellt
entsprechend
einem
Gleichgewicht
zwischen
einem
bestimmten
elektrischen
Leistungseintrag
in
die
Gasentladung
am
Target
einerseits
und
einer
bestimmten
Wärmeabfuhr
aus
der
Beschichtungskammer
andererseits,
beispielsweise
durch
einen
definierten
Wärmewiderstand
der
Beschichtungskammerwände
oder
der
Targethalterung
oder
eines
optional
in
der
Nähe
des
Targets
angeordneten
Wärmeauffangschirmes,
über
dessen
Dimensionierung,
Positionierung,
Orientierung
in
der
Beschichtungskammer
und
relativ
zum
Target
bzw.
Substrat,
und
über
dessen
Kühlleistung
(Schirmtemperatur)
eine
Regelung
der
Wäremeabfuhr
und
damit
der
Substrattemperatur
möglich
ist.
EuroPat v2
The
target
holder
of
a
target
or,
in
the
case
of
mechanically
stable
sputtering
materials,
the
hollow
cylindrical
sputtering
material
itself
is
provided
at
one
end
with
a
helical
groove,
into
which
a
spring
is
inserted.
Das
Trägerrohr
eines
Targets,
oder
bei
mechanisch
stabilen
Zerstäubungsmaterialien
auch
das
rohrförmige
Zerstäubungsmaterial
selbst,
wird
an
einem
Ende
mit
einer
Spiralnut
versehen,
in
die
eine
Feder
eingelegt
wird.
EuroPat v2
On
the
other
hand,
it
is
then
possible
to
separate
the
target
holder
from
the
hollow
cylindrical
sputtering
material
by
simply
unscrewing
it,
so
that
machining
operations
would
be
unnecessary.
Andererseits
ist
es
nun
möglich,
das
Trägerrohr
vom
rohrförmigen
Zerstäubungsmaterial
durch
einfaches
herausschrauben
zu
trennen,
ohne
dass
eine
spanende
Bearbeitung
notwendig
wäre.
EuroPat v2
Especially
when
the
sputtering
material
is
soft
or
susceptible
to
fracture,
it
has
been
found
to
be
effective
for
the
target
holder
to
extend
from
the
sputtering
material
at
both
ends
of
the
target
and
for
it
to
consist
of
a
first,
a
second,
and
a
third
individual
part,
such
that
the
first
and
the
third
individual
parts
extend
from
the
sputtering
material
at
either
end
of
the
target.
Insbesondere
für
bruchanfällige
oder
weiche
Zerstäubungsmaterialien
hat
es
sich
bewährt,
wenn
das
Trägerrohr
an
beiden
Enden
des
Targets
aus
dem
Zerstäubungsmaterial
ragt
und
aus
einem
ersten,
einem
zweiten
und
einem
dritten
Einzelteil
besteht,
wobei
das
erste
und
das
dritte
Einzelteil
je
an
einem
der
beiden
Enden
des
Targets
aus
dem
Zerstäubungsmaterial
ragen.
EuroPat v2
Here
again,
it
is
advantageous
for
the
inside
diameters
of
the
target
holder
and
the
hollow
cylindrical
sputtering
material
to
be
the
same.
Auch
hier
ist
es
vorteilhaft,
wenn
die
Innendurchmesser
des
Trägerrohrs
und
des
rohrförmigen
Zerstäubungsmaterials
gleich
sind.
EuroPat v2
In
another
advantageous
embodiment
of
the
invention
for
mechanically
stable
sputtering
materials,
the
target
holder
extends
from
the
sputtering
material
at
one
end
of
the
target
and
has
a
flange,
which
is
joined
with
the
hollow
cylindrical
sputtering
material
by
at
least
two
screws
at
one
of
the
end
faces
of
the
sputtering
material.
Weiterhin
ist
eine
Ausführungsform
für
mechanisch
stabile
Zerstäubungsmaterialien
vorteilhaft,
bei
der
das
Trägerrohr
an
einem
Ende
des
Targets
aus
dem
Zerstäubungsmaterial
ragt
und
einen
Flansch
aufweist,
der
mit
einer
Stirnfläche
des
Zerstäubungsmaterials
über
mindestens
zwei
Schrauben
mit
dem
rohrförmigen
Zerstäubungsmaterial
verbunden
ist.
EuroPat v2
To
mount
the
hollow
cylindrical
target
1
in
a
cathode
sputtering
unit,
the
part
of
the
target
holder
2
that
extends
from
the
sputtering
material
3
is
connected
with
a
shaft.
Zum
Einbau
des
rohrförmigen
Targets
1
in
eine
Kathodenzerstäubungsanlage
wird
der
aus
dem
Zerstäubungsmaterial
3
ragende
Teil
des
Trägerrohres
2
beispielsweise
mit
einer
Spindel
verbunden.
EuroPat v2