Translation of "Carbon tetrafluoride" in German
For
example,
hydrocarbons
are
reacted
to
yield
carbon
tetrafluoride.
Kohlenwasserstoffe
beispielsweise
werden
zu
Tetrafluorkohlenstoff
umgesetzt.
EuroPat v2
In
the
present
case,
carbon
tetrafluoride
(CF4)
was
used.
Im
vorliegenden
Fall
wurde
Kohlenstofftetrafluorid
(CF
4)
eingesetzt.
EuroPat v2
Fluorides
This
subheading
includes
the
following
compounds:
carbon
tetrafluoride
(tetrafluoromethane),
1,1difluoroethane,
tetrafluoroethylene,.
trifluoroethylene,
trifluoromethane.
Hierher
gehören
z.B.
1,1Difluoräthan,
Kohlenstofftetrafluorid
(Tetrafluormethan),
Tetrafluoräthylen,
Trifluoräthylen
und
Trifluormethan.
EUbookshop v2
Carbon
compounds
which
are
hydrocarbons
essentially
react
to
form
carbon
tetrafluoride.
Kohlenstoffverbindungen
reagieren
im
wesentlichen
unter
Bildung
von
Kohlenstofftetrafluorid,
wenn
es
sich
um
Kohlenwasserstoffverbindungen
handelt.
EuroPat v2
The
process
according
to
the
invention
has
the
advantage
that
its
impurities
form
reaction
products
which
have
very
low
boiling
points
(e.g.
oxygen,
carbon
tetrafluoride),
metal
fluoro
complexes
having
a
vapor
pressures
which
are
not
detectable
at
the
boiling
point
of
hydrogen
fluoride,
as
well
as
HF
when
the
process
is
carried
out.
Das
erfindungsgemäße
Verfahren
weist
den
Vorteil
auf,
daß
bei
seiner
Durchführung
aus
den
Verunreinigungen
Reaktionsprodukte
mit
sehr
niedrigem
Siedepunkt
(Sauerstoff,
Kohlenstofftetrafluorid),
Metallfluorokomplexe
mit
einem
bei
der
Siedetemperatur
von
Fluorwasserstoff
nicht
nachweisbaren
Dampfdruck
sowie
HF
entstehen.
EuroPat v2
For
this
purpose
a
plasma
etching
method
can
be
used
by
means
of
which
P+
-doped
silicon
is
etched
in
an
atmosphere
containing
carbon
tetrafluoride
with
an
etching
speed
between
approximately
20
and
approximately
40
nm/min.
Dabei
einsetzbar
ist
ein
Plasmaätzverfahren,
mit
welchem
P
+-
dotiertes
Silicium
in
einer
Kohlenstofftetrafluorid
enthaltenden
Atmosphäre
mit
einer
Ätzgeschwindigkeit
im
Bereich
zwischen
etwa
20
und
ungefähr
40
nm/Minute
geätzt
werden
kann.
EuroPat v2
At
this
point
plasma
etching
treatment
with
a
gas
mixture
of
carbon
tetrafluoride
and
oxygen
takes
place,
the
silicon
nitride
layer
and
the
silicon
dioxide
layer
being
removed.
Nun
erfolgt
eine
Plasma-Ätzbehandlung
mit
einem
Gasgemisch
aus
Tetrafluorkohlenstoff
und
Sauerstoff
wobei
die
Siliziumnitridschicht
und
die
Silizumdioxidschicht
entfernt
werden.
EuroPat v2
This
is,
for
example,
a
nitrogen
fluoride,
sulfur
fluoride
or
carbon
fluoride
such
as
nitrogen
trifluoride
(NF3),
sulfur
hexafluoride
(SF6)
or
carbon
tetrafluoride
(CF4).
Hierbei
handelt
es
sich
beispielsweise
um
ein
Stickstoff-,
Schwefel-
oder
Kohlenstofffluorid,
wie
Stickstofftrifluorid
(NF
3),
Schwefelhexafluorid
(SF
6)
oder
Kohlenstofftetrafluorid
(CF
4).
EuroPat v2
The
method
for
preparing
an
electrode
for
a
lithium
secondary
battery
of
Claim
1,
wherein
the
ion
beam
comprises
at
least
one
selected
from
the
group
consisting
of
argon,
oxygen,
nitrogen,
acetic
acid,
methane,
carbon
tetrafluoride,
silane,
ammonia
and
trimethyl
aluminum.
Verfahren
zur
Herstellung
einer
Elektrode
für
eine
Lithium-Sekundärbatterie
gemäß
Anspruch
1,
worin
der
Ionenstrahl
zumindest
eines
umfasst,
ausgewählt
aus
der
Gruppe,
bestehend
aus
Argon,
Sauerstoff,
Stickstoff,
Essigsäure,
Methan,
Kohlenstofftetrafluorid,
Silan,
Ammoniak
und
Trimethylaluminium.
EuroPat v2