Translation of "Alignment error" in German
Thanks
to
the
small
alignment
error,
this
presented
no
problem
to
me.
Dank
des
nur
kleinen
Ausrichtungsfehlers
stellte
mir
das
kein
Problem
für
mich
dar.
ParaCrawl v7.1
Time
alignment
error
on
connection
via
a
router
fixed.
Fehler
beim
Zeitabgleich
behoben,
wenn
über
einen
vorgelagerten
Router
verbunden
wurde.
ParaCrawl v7.1
Thanks
to
the
small
alignment
error,
this
did
not
present
any
problems
to
me.
Dank
des
nur
kleinen
Ausrichtungsfehlers
stellte
das
kein
Problem
für
mich
dar.
ParaCrawl v7.1
The
method
in
accordance
with
the
invention
contains
the
derivation
of
a
signal
corresponding
to
the
alignment
error
from
the
signal
flows
of
all
detection
means.
Das
erfindungsgemässe
Verfahren
beinhaltet
die
Ableitung
eines
dem
Ausrichtungsfehler
proportionalen
Signals
aus
den
Signalströmen
aller
Detektormittel.
EuroPat v2
However,
in
such
prior
art
systems,
the
wafer
and
mask
are
not
realigned
with
each
step
since
it
has
not
heretofore
been
possible
to
conveniently
and
automatically
detect
a
step
alignment
error
and
apply
a
corresponding
correction
in
the
alignment
of
the
wafer
and
the
mask.
Es
werden
aber
Halbleiterplatte
und
Maske
nicht
bei
jedem
Schritt
neu
ausgerichtet,
da
es
bisher
kaum
möglich
war,
in
geeigneter
Weise
und
automatisch
den
durch
einen
Schritt
verursachten
Ausrichtfehler
festzustellen
und
eine
entsprechende
Korrektur
vorzunehmen.
EuroPat v2
The
alignment
error
?X
normal
to
the
corresponding
edges
of
the
window
3
as
well
as
the
focusing
error
is
determined
by
measurement
of
the
time
difference
between
the
passage
of
certain
threshold
values.
Durch
Messung
der
Zeitdifferenzen
zwischen
dem
Durchlaufen
bestimmter
Schwellwerte
wird
der
Ausrichtfehler
normal
zu
den
entsprechenden
Kanten
des
Fensters
3
sowie
der
Fokussierfehler
bestimmt.
EuroPat v2
If
electron
beams
are
used,
a
minor
alignment
error
which
in
connection
with
a
sharply
focussed
image
would
cause
a
gap
between
combinatory
pattern
elements
can
still
be
tolerated,
owing
to
the
scattering
effect
of
the
electrons
and
the
consequent
blurring
of
the
image.
Aufgrund
des
Streueffekts
der
Elektronen
und
der
damit
verbundenen
Unschärfe
der
Abbildung
kann
bei
der
Verwendung
von
Elektronenstrahlen
ein
geringer
Ausrichtungsfehler,
welcher
bei
einer
ganz
scharfen
Abbildung
bereits
eine
Lücke
zwischen
sich
ergänzenden
Musterelementen
hervorruft,
noch
toleriert
werden.
EuroPat v2
Since
the
optical
output
of
the
light
signals
falls
below
that
of
the
unmodulated
light
by
orders
of
magnitude,
it
is
generally
very
difficult
to
generate
a
signal
containing
the
alignment
error
from
the
d.c.
current
of
the
detector
means.
Da
die
optische
Leistung
des
Lichtsignals
diejenige
des
unmodulierten
Lichts
um
Grössenordnungen
unterschreitet,
ist
es
im
allgemeinen
sehr
schwer,
aus
dem
Gleichstrom
der
Detektormittel
ein
den
Ausrichtungsfehler
enthaltendes
Signal
zu
erzeugen.
EuroPat v2
The
alignment
error,
with
which
the
central
axes
of
the
shafts
cross
one
another
at
a
distance,
should
be
indicated
in
such
a
manner,
that
the
error
is
resolved
immediately
into
a
strictly
parallel
misalignment
component
and
a
strictly
angular
misalignment
component,
so
that
both
types
of
error
can
be
identified
separately
by
a
single
measuring
process
in
the
form
of
rotating
the
shafts
through
360°
and
can
then
be
eliminated
by
a
single
process
in
which
one
machine
is
aligned
relative
to
the
other.
Die
Anzeige
eines
Fluchtungsfehlers,
bei
dem
die
Mittelachsen
der
Wellen
einander
im
Abstand
überkreuzen,
soll
dabei
in
einer
Weise
erfolgen,
die
den
Fehler
sofort
in
eine
reine
Parallelversatzkomponente
und
eine
reine
Winkelversatzkomponente
auflöst,
so
daß
beide
Fehlerarten
mit
einem
einzigen
Meßvorgang
in
Form
des
Durchdrehens
der
Wellen
um
360°
gesondert
erkennbar
und
danach
in
einem
einzigen
Richtvorgang
an
der
einen
Maschine
gegenüber
der
anderen
behebbar
sind.
EuroPat v2
Should
the
current
alignment
angle
now
not
be
in
a
region
in
which
an
intensity
band
can
be
electronically
set
because
of
a
very
large
error
alignment
then
an
information
can
be
provided
to
the
user
by
how
much
the
alignment
still
deviates
from
an
ideal
alignment
if
the
current
alignment
angle
still
does
not
fall
into
a
region.
Fällt
der
momentane
Ausrichtwinkel
wegen
sehr
grober
Fehlausrichtung
noch
nicht
in
einen
Bereich,
in
dem
ein
Intensitätsband
elektronisch
einstellbar
ist,
so
kann
dem
Benutzer
eine
Information
gegeben
werden,
um
wieviel
die
Ausrichtung
noch
von
idealer
Ausrichtung
abweicht.
EuroPat v2