Übersetzung für "Vibration isolated" in Deutsch
Preferably,
the
coil
is
fastened
on
a
vibration-isolated
side
of
the
vibration
isolation
system.
Vorzugsweise
ist
die
Spule
auf
einer
schwingungsisolierten
Seite
des
Schwingungsisolationssystems
befestigt.
EuroPat v2
The
comminuting
body
is
vibration-isolated
from
the
base
body.
Dieser
Zerkleinerungskörper
ist
gegenüber
dem
Grundkörper
schwingungsisoliert.
EuroPat v2
Such
machines,
such
as
wafer
exposure
machines,
are
therefore
supported
in
a
vibration-isolated
way.
Daher
werden
derartige
Maschinen,
wie
Waferbelichtungsmaschinen,
schwingungsisoliert
gelagert.
EuroPat v2
One
device
1
is
arranged
on
the
mass
2
in
a
vibration-isolated
way.
Eine
Einrichtung
1
ist
auf
der
Masse
2
schwingungsisoliert
angeordnet.
EuroPat v2
A
sub-system
is
passively
vibration-isolated
when
its
position
is
not
regulated.
Passiv
schwingungsisoliert
ist
ein
Subsystem,
wenn
dessen
Position
nicht
geregelt
wird.
EuroPat v2
The
frequency
of
the
two
harmonic
oscillations
is
identical
with
that
of
the
vibration
to
be
isolated.
Die
Frequenz
dieser
harmonischen
Schwingungen
ist
identisch
mit
der
Frequenz
der
zu
isolierenden
Schwingung.
EuroPat v2
This
high
track
density
requires
the
best
possible
vibration-isolated
seating
of
the
spindle
of
the
disk
pack
in
the
housing.
Diese
hohe
Spurdichte
erfordert
eine
möglichst
schwingungssteife
Lagerung
der
Spindel
des
Plattenstapels
in
dem
Gehäuse.
EuroPat v2
The
frequency
of
these
harmonic
vibrations
is
identical
to
the
frequency
of
the
vibration
being
isolated.
Die
Frequenz
dieser
harmonischen
Schwingungen
ist
identisch
mit
der
Frequenz
der
zu
isolierenden
Schwingung.
EuroPat v2
Correspondingly,
the
frequency
of
the
vibration
to
be
isolated
is
already
predetermined
by
the
frequency
of
motion
of
the
drive
piston.
Dementsprechend
ist
die
Frequenz
der
zu
isolierenden
Schwingung
bereits
durch
die
Bewegungsfrequenz
des
Antriebskolbens
vorgegeben.
EuroPat v2
The
aggregate
3
comprises
all
components
necessary
for
preparation
and
can
be
pre-assembled
and
installed
in
a
grass-matting
machine
in
vibration-isolated
fashion
via
the
elastic
support
20.
Das
Aggregat
3
umfaßt
alle
zur
Aufbereitung
erforderlichen
Bauteile
und
ist
vormontierbar
über
die
elastische
Lagerung
20
in
einer
Grasmattenmaschine
schwingungsisoliert
einsetzbar.
EuroPat v2
In
order
to
achieve
as
vibration-isolated
a
spindle
seating
as
possible,
a
fixed
bearing
and
a
movable
bearing
are
employed
given
this
two-sided
seating
and
a
spring
is
provided
adjacent
the
movable
bearing,
the
spring
tensing
the
two
bearings
relative
to
one
another
after
assembly
such
that
a
coaxial
spindle
guiding
that
is
as
free
of
play
as
possible
is
achieved.
Um
eine
möglichst
schwingungssteife
Spindellagerung
zu
erreichen,
werden
bei
dieser
beidseitigen
Lagerung
ein
Festlager
und
ein
Loslager
verwendet
und
dem
Loslager
benachbart
eine
Feder
vorgesehen,
die
beide
Lager
nach
dem
Zusammenbau
so
miteinander
verspannt,
daß
eine
koaxiale
und
möglichst
spielfreie
Spindelführung
erzielt
wird.
EuroPat v2
If
an
opposite
joining
tool
is
mounted
flexibly
in
order
to
be
isolated
from
vibrations,
the
static
load
of
the
hold-down
device
can
cause
a
major
deflection
of
the
vibration-isolated
opposite
joining
tool.
Wenn
das
gegenüberliegende
Fügewerkzeugteil
weich
gelagert
ist,
um
schwingungsisoliert
zu
sein,
kann
die
statische
Last
des
Niederhalters
eine
große
Auslenkung
des
schwingungsisolierten
gegenüberliegenden
Fügewerkzeugteils
bewirken.
EuroPat v2
An
additional
reduction
of
reaction
forces
results
if
not
only
the
opposite
joining
tool
but
also
the
excited
joining
tool
are
vibration-isolated
relative
to
the
substructure.
Eine
zusätzliche
Verringerung
der
Reaktionskräfte
ergibt
sich,
wenn
nicht
nur
das
gegenüberliegende,
sondern
auch
das
erregte
Fügewerkzeugteil
gegenüber
der
Unterkonstruktion
schwingungsisoliert
sind.
EuroPat v2
Signal
transducer
2
supplies
a
periodic
time
signal
whose
period
has
a
fixed
relationship
to
the
period
of
the
vibration
being
isolated.
Der
Signalgeber
2
liefert
ein
periodisches
Zeitsignal,
dessen
Periodendauer
in
einem
festen
Verhältnis
zur
Periodendauer
der
zu
isolierenden
Schwingung
steht.
EuroPat v2
You
review
the
data,
compare
with
baseline,
and
confirm
the
vibration
is
isolated
to
one
bearing.
Sie
sehen
sich
die
Daten
an,
vergleichen
diese
mit
den
Ausgangsdaten
und
sehen,
dass
die
Schwingung
sich
nur
auf
ein
einzelnes
Lager
beschränkt.
ParaCrawl v7.1
The
magnetic
actor
is
used,
in
particular,
for
a
vibration
isolation
system
that
is
used
for
the
vibration-isolated
support
of
a
lithography
or
wafer
inspection
device.
Der
Magnetaktor
wird
insbesondere
für
ein
Schwingungsisolationssystem
verwendet,
welches
der
schwingungsisolierten
Lagerung
eines
Lithographie-
oder
Waferinspektionsgerätes
dient.
EuroPat v2
Therefore,
no
force
acts
on
second
cross
member
FY
2
which
also,
other
than
that,
due
to
its
air
bearing
system,
rests
on
a
granite
(base
G)
that
is
vibration-isolated
as
much
as
possible.
Es
wirkt
daher
keine
Kraft
auf
den
zweiten
Querträger
FY2,
der
auch
sonst
dank
seiner
Luftlagerung
auf
einem
möglichst
gut
schwingungsisolierten
Granit
(der
Basis
G)
ruht.
EuroPat v2
The
present
invention
relates
to
a
method
for
regulating
an
active
vibration
isolation
system
and
to
an
active
vibration
isolation
system,
in
particular
for
a
vibration
isolated
positioning
of
lithography-devices,
wafer-handling-systems
and/or
microscopes,
as
for
instance
scanning
microscopes.
Die
vorliegende
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zur
Regelung
eines
aktiven
Schwingungsisolationssystems
und
ein
aktives
Schwingungsisolationssystem,
insbesondere
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
von
Lithographie-Geräten,
Wafer-Handhabungssystemen
und/oder
Mikroskopen,
wie
zum
Beispiel
Rastermikroskopen.
EuroPat v2
For
instance
document
DE
69817750
T2
shows
a
vibration
isolation
system
which
is
particularly
provided
for
a
vibration
isolated
positioning
of
a
lithography-device.
Beispielsweise
zeigt
die
DE
69817750
T2
ein
Schwingungsisolationssystem,
welches
insbesondere
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
eines
Lithographie-Geräts
vorgesehen
ist.
EuroPat v2
More
particularly
the
invention
relates
to
a
vibration
isolation
system
which
is
used
for
vibration-isolated
mounting
of
machines,
in
particular
in
the
field
of
semiconductor
industry.
Insbesondere
betrifft
die
Erfindung
ein
Schwingungsisolationssystem,
welches
zur
schwingungsisolierten
Lagerung
von
Maschinen,
insbesondere
auf
dem
Gebiet
der
Halbleiterindustrie,
verwendet
wird.
EuroPat v2