Übersetzung für "Turbomolecular pump" in Deutsch
The
turbomolecular
pump
on
the
high
vacuum
side
is
equipped
on
its
forevacuum
side
with
a
cooler.
Die
hochvakuumseitig
angeordnete
Turbomolekularvakuumpumpe
ist
in
ihrem
vorvakuumseitigen
Bereich
mit
einer
Kühlung
ausgerüstet.
EuroPat v2
The
present
invention
permits
to
substantially
reduce
the
number
of
components
of
a
turbomolecular
pump.
Durch
die
erfindungsgemäße
Anordnung
wird
die
Anzahl
der
Bauteile
einer
Turbomolekularpumpe
erheblich
verringert.
EuroPat v2
Also
the
vacuum
pump
apparatus
which
includes
e.g.
a
turbomolecular
pump,
will
not
be
overstrained.
Auch
die
Vakuumpumpvorrichtung,
die
beispielsweise
eine
Turbomolekularpumpe
enthält,
wird
nicht
überlastet.
EuroPat v2
The
further
pump
stage
is
particularly
preferably
configured
as
a
turbomolecular
pump
stage.
Besonders
bevorzugt
ist
die
weitere
Pumpstufe
als
turbomolekulare
Pumpstufe
ausgebildet.
EuroPat v2
Switching
off
the
device
will
go
easy
on
the
turbomolecular
pump.
Die
Turbomolekularpumpe
wird
beim
Abschalten
des
Gerätes
geschont.
EuroPat v2
Gas
inlet
conduit
32
is
further
connected
to
an
intermediate
gas
inlet
37
of
turbomolecular
pump
23
.
Außerdem
ist
die
Gaseingangsleitung
32
mit
einem
Zwischengaseinlass
37
der
Turbomolekularpumpe
23
verbunden.
EuroPat v2
Identical
and
similar
components
are
designated
by
the
same
reference
numerals
as
in
the
turbomolecular
pump
(FIG.
Identische
und
ähnliche
Bauteile
weisen
dieselben
Bezugszeichen
wie
bei
der
Turbomolekularpumpe
(Fig.
EuroPat v2
This
measuring
gas
line
is
then
connected
with
the
turbomolecular
pump
of
the
mass
spectrometer.
Diese
Messgasleitung
ist
dann
mit
der
Turbomolekularpumpe
des
Massenspektrometers
verbunden.
EuroPat v2
The
turbomolecular
pump
14
includes
an
inlet
16
and
an
outlet
18
.
Die
Turbomolekularpumpe
14
weist
einen
Einlass
16
und
einen
Auslass
18
auf.
EuroPat v2
It
is
known
to
produce
the
rotor
of
a
turbomolecular
pump
as
a
single
piece.
Es
ist
bekannt,
den
Rotor
einer
Turbomolekularpumpe
einstückig
herzustellen.
EuroPat v2
The
disclosure
further
refers
to
a
rotor
for
a
vacuum
pump,
in
particular
a
turbomolecular
pump.
Ferner
betrifft
die
Erfindung
einen
Rotor
für
eine
Vakuumpumpe,
insbesondere
eine
Turbomolekularpumpe.
EuroPat v2
This
high
vacuum
will
be
generated
by
a
turbomolecular
pump
27
.
Dieses
wird
von
einer
Turbomolekularpumpe
27
erzeugt.
EuroPat v2
The
drawing
shows
an
embodiment
of
a
turbomolecular
pump
with
a
floating
rotor.
Die
Abbildung
zeigt
das
Beispiel
einer
Turbomolekularpumpe
mit
fliegend
gelagertem
Rotor.
EuroPat v2
The
main
characteristics
of
a
turbomolecular
pump
are
compression
ratio
and
suction
speed.
Die
charakteristischen
Eigenschaften
einer
Turbomolekularpumpe
sind
Kompressions-
und
Saugvermögen.
EuroPat v2
Therefore,
the
turbomolecular
pump
always
has
to
be
operated
below
the
maximally
permissible
rotor
temperature.
Die
Turbomolekularpumpe
muss
daher
stets
unterhalb
der
maximal
zulässigen
Rotortemperatur
betrieben
werden.
EuroPat v2
Such
pressure
conditions
are
obtained
using
a
pump
system
requiring
a
turbomolecular
pump.
Derartige
Druckbedingungen
werden
mit
einem
Pumpsystem
realisiert,
das
eine
Turbomolekularpumpe
erfordert.
EuroPat v2
Cooling
the
rotors
of
a
molecular
or
turbomolecular
vacuum
pump
is
difficult.
Die
Kühlung
der
Rotoren
einer
Molekular-
oder
Turbomolekularvakuumpumpe
ist
mit
Schwierigkeiten
verbunden.
EuroPat v2
The
turbomolecular
vacuum
pump
1
shown
in
the
Figure
has
housing
parts
2,
3
and
4.
Die
in
Figur
1
dargestellte
Turbomolekularvakuumpumpe
1
weist
die
Gehäuseteile
2,
3
und
4
auf.
EuroPat v2
The
casing
3
of
the
turbomolecular
pump
1
has
a
total
of
three
connections
17,
18
and
19.
Das
Gehäuse
3
der
Turbomolekularpumpe
1
weist
insgesamt
drei
Anschlüsse
17,
18
und
19
auf.
EuroPat v2
A
drawback
of
this
prior-art
turbomolecular
pump
is
that
it
can
only
be
used
in
the
vertical
position.
Nachteilig
an
der
vorbekannten
Turbomolekularpumpe
ist,
daß
sie
nur
in
vertikaler
Lage
einsetzbar
ist.
EuroPat v2
The
drawing
shows
in
cross
section
only
the
part
of
the
turbomolecular
pump
that
is
important
to
the
realization
of
the
invention.
Die
Figur
zeigt
lediglich
den
für
die
Realisierung
der
Erfindung
wesentlichen
Teil
der
Turbomolekularpumpe
im
Schnitt.
EuroPat v2
The
stator
bucket
disks
9
and
11
are
mounted
in
the
thereby-common
casing
3
of
the
turbomolecular
pump
by
means
of
spacer
rings
16.
Die
Statorschaufelscheiben
9
und
11
sind
mittels
Dista-zringen
16
im
Gehäuse
3
der
Turbomolekularpumpe
gehaltert.
EuroPat v2