Übersetzung für "Liquid immersion" in Deutsch
Preferably
one
such
immersion
liquid
has
an
index
of
refraction
value
of
greater
than
1.5.
Vorzugsweise
weist
eine
solche
Immersionsflüssigkeit
einen
Brechwert
von
>
1,5
auf.
EuroPat v2
The
immersion
liquid
is
usually
applied
manually
or
by
way
of
a
cumbersome
gestural
system.
Die
Immersionsflüssigkeit
wird
meist
von
Hand
oder
über
eine
umständliche
Mimik
aufgetragen.
EuroPat v2
Cutout
28
is
thereby
filled
with
the
immersion
liquid.
Dadurch
wird
die
Aussparung
28
mit
der
Immersionsflüssigkeit
gefüllt.
EuroPat v2
The
immersion
liquid
can
emerge
from
the
reservoir
through
the
gap.
Die
Immersionsflüssigkeit
kann
über
den
Spalt
aus
dem
Reservoir
austreten.
EuroPat v2
This
makes
application
of
the
immersion
liquid
particularly
laborious.
Dadurch
wird
das
Aufbringen
der
Immersionsflüssigkeit
besonders
aufwendig.
EuroPat v2
Such
a
movement
promotes
wetting
with
the
immersion
liquid.
Eine
solche
Bewegung
begünstigt
die
Benetzung
mit
der
Immersionsflüssigkeit.
EuroPat v2
Immersion
liquid
7
emerges
from
cap
8
through
gap
9
.
Die
Immersionsflüssigkeit
7
tritt
über
den
Spalt
9
aus
der
Kappe
8
aus.
EuroPat v2
At
least
one
micropump
serves
for
the
conveyance
of
at
least
one
type
of
immersion
liquid.
Mindestens
eine
Mikropumpe
dient
zum
Fördern
mindestens
einer
Art
von
Immersionsflüssigkeit.
EuroPat v2
Manual
delivery
and
extraction
of
immersion
liquid
is
also
conceivable.
Ebenso
ist
ein
manuelles
Zuführen
und
Absaugen
von
Immersionsflüssigkeit
denkbar.
EuroPat v2
The
temperature
of
immersion
liquid
7
can
thus
be
kept
constant.
So
lässt
sich
die
Temperatur
der
Immersionsflüssigkeit
7
konstant
halten.
EuroPat v2
Immersion
liquid
is
thereby
transported
in
the
cap
and
pushed
toward
the
outlet.
Dadurch
wird
Immersionsflüssigkeit
in
der
Kappe
befördert
bzw.
zum
Auslass
hin
gedrückt.
EuroPat v2
Changing
the
temperature
of
the
immersion
liquid
38
changes
its
refractive
index.
Durch
Verändern
der
Temperatur
der
Immersionsflüssigkeit
38
verändert
sich
deren
Brechungsindex.
EuroPat v2
Here
highly
pure
water
is
used
between
the
projector
lens
and
the
wafer
surface
as
an
immersion
liquid.
Hier
wird
zwischen
der
Projektorlinse
und
der
Waferoberfläche
hochreines
Wasser
als
Immersionsflüssigkeit
verwendet.
EuroPat v2
This
requires
considerable
time,
and
the
process
of
applying
or
introducing
the
immersion
liquid
is
imprecise.
Dies
erfordert
eine
erhebliche
Zeit
und
der
Vorgang
des
Auftragens
bzw.
Einbringens
von
Immersionsflüssigkeit
ist
ungenau.
EuroPat v2
The
immersion
liquid
can
also
dry
out
during
long-term
investigations,
for
example
those
performed
on
living
cells.
Außerdem
kann
die
Immersionsflüssigkeit
bei
Langzeituntersuchungen,
die
beispielsweise
an
lebenden
Zellen
vorgenommen
werden,
trocknen.
EuroPat v2
A
reservoir
chamber
for
immersion
liquid,
embodied
to
be
as
small
as
possible,
can
be
exchangeable
and/or
refillable.
Eine
möglichst
klein
ausgeführte
Vorratskammer
für
Immersionsflüssigkeit
kann
austauschbar
und/oder
befüllbar
sein.
EuroPat v2
The
purpose
of
adjusting
the
gap
is
to
adapt
to
the
viscosity
and
surface
tension
of
the
particular
immersion
liquid.
Die
Einstellung
des
Spaltes
dient
zur
Anpassung
an
die
Viskosität
und
Oberflächenspannung
der
jeweiligen
Immersionsflüssigkeit.
EuroPat v2
The
preform
is
here
inserted
into
a
measurement
cell
with
an
immersion
liquid
and
the
deflection
angle
distribution
is
measured.
Dabei
wird
die
Vorform
in
eine
Messzelle
mit
einer
Immersionsflüssigkeit
eingelegt
und
die
Ablenkwinkelverteilung
gemessen.
EuroPat v2
The
same
applies
to
the
provision
of
a
control
system
for
metering
the
immersion
liquid
and/or
the
flushing/cleaning
liquid.
Gleiches
gilt
für
die
Vorkehrung
einer
Steuerung
zur
Dosierung
der
Immersionsflüssigkeit
und/oder
der
Spül-/Reinigungsflüssigkeit.
EuroPat v2
In
an
advantageous
refinement,
the
sensor
device
further
encompasses
an
apparatus
for
measuring
the
temperature
of
the
immersion
liquid.
In
einer
vorteilhaften
Weiterbildung
umfasst
die
Sensoreinrichtung
ferner
eine
Vorrichtung
zum
Messen
der
Temperatur
der
Immersionsflüssigkeit.
EuroPat v2
Microvalves
serve
for
individual
selection
of
an
objective
that
is
to
be
supplied
with
immersion
liquid.
Mikroventile
dienen
zur
individuellen
Selektion
eines
Objektivs,
welches
mit
Immersionsflüssigkeit
zu
versorgen
ist.
EuroPat v2
In
the
context
of
process
selection,
an
automatic
adjustment
is
accomplished
by
way
of
immersion
liquid,
regularly
upon
an
objective
change.
Im
Rahmen
der
Prozessauswahl
erfolgt
eine
automatische
Justage
mittels
Immersionsflüssigkeit,
und
zwar
regelmäßig
beim
Objektivwechsel.
EuroPat v2
The
immersion
liquid
accordingly
can
be
replenished
or
withdrawn
only
in
controlled
fashion,
using
pressure
or
suction.
Entsprechend
kann
die
Immersionsflüssigkeit
nur
kontrolliert
durch
Druck
oder
Sog
nachgefüllt
oder
zurückgezogen
werden.
EuroPat v2
Inward
pressure
on
the
outer
casing
causes
immersion
liquid
7
to
be
pushed
outward
through
annular
gap
9
.
Durch
Eindrücken
der
Außenhülle
wird
Immersionsflüssigkeit
7
durch
den
Ringspalt
9
nach
außen
gedrückt.
EuroPat v2
The
known
projection
exposure
apparatus
furthermore
has
a
device
for
regulating
the
temperature
of
the
immersion
liquid,
which
is
arranged
in
the
liquid
circuit.
Die
bekannte
Projektionsbelichtungsanlage
weist
ferner
eine
in
dem
Flüssigkeitskreislauf
angeordnete
Einrichtung
zur
Temperierung
der
Immersionsflüssigkeit
auf.
EuroPat v2
The
reason
for
this
involves
the
dependency
of
the
refractive
index
of
the
immersion
liquid
on
the
temperature.
Die
Ursache
hierfür
liegt
in
der
Abhängigkeit
des
Brechungsindex
der
Immersionsflüssigkeit
von
der
Temperatur.
EuroPat v2