Translation of "Wet etching" in German
These
positive
resists
are
furthermore
usable
for
alkaline
wet
etching
processes.
Diese
Positivresists
sind
weiter
für
alkalische
Nassätzprozesse
einsetzbar.
EuroPat v2
Such
a
wet-chemical,
isotropic
etching
can
be
easily
controlled
over
the
etching
duration.
Ein
solches
naßchemisches,
isotropes
Ätzen
ist
über
die
Ätzdauer
gut
kontrollierbar.
EuroPat v2
Wet
chemical
etching
could
also
be
used.
Es
kann
auch
ein
nasschemisches
Ätzverfahren
angewandt
werden.
EuroPat v2
These
positive
resists
are
furthermore
unable
for
alkaline
wet
etching
processes.
Diese
Positivresists
sind
weiter
für
alkalische
Nassätzprozesse
einsetzbar.
EuroPat v2
This
can
take
place
by
wet
chemical
etching.
Dies
kann
beispielsweise
durch
nasschemisches
Ätzen
geschehen.
EuroPat v2
The
electrodes
are
structured
by
means
of
lithographical
processes
in
combination
with
wet
or
dry
etching
steps.
Zur
Strukturierung
der
Elektroden
werden
lithographische
Prozesse
verbunden
mit
Naß-
oder
Trockenätzschritten
verwendet.
EuroPat v2
This
advantageously
protects
the
substructure
oxide
105
during
the
subsequent
wet
etching
processes.
Dies
schützt
vorteilhafterweise
das
Unterbauoxid
105
während
der
folgenden
Naßätzprozesse.
EuroPat v2
The
substructure
stop
layer
105
is
then
removed
by
wet
chemical
etching,
for
example.
Die
Unterbau-Stoppschicht
105
wird
dann
beispielsweise
durch
eine
naßchemische
Ätzung
entfernt.
EuroPat v2
Wet
etching
is
likewise
useful
during
the
removal
of
the
sacrificial
material.
Eine
Naßätzung
ist
ebenfalls
nützlich
beim
Entfernen
des
Opfermaterials.
EuroPat v2
In
addition,
this
wet-chemical
etching
process
is
very
complicated,
owing
to
the
numerous
rinsing
processes
required.
Darüber
hinaus
ist
dieses
naßchemische
Ätzverfahren
durch
die
erforderlichen
zahlreichen
Spülprozesse
sehr
aufwendig.
EuroPat v2
The
etching
process
for
manufacturing
the
diaphragm
can
be
executed
as
a
wet
or
dry
etching
process.
Der
Ätzprozess
zur
Herstellung
der
Membrane
kann
als
Nass-
oder
Trockenätzprozess
ausgeführt
werden.
EuroPat v2
With
an
alkali
etch
solution,
a
wet
chemical
etching
method
is
also
possible.
Mit
einer
alkalischen
Ätzlösung
ist
ferner
ein
naßchemisches
Ätzverfahren
möglich.
EuroPat v2
The
process
is
distinguished
by
inexpensive
process
steps,
substantially
wet-chemical
etching
steps.
Das
Verfahren
zeichnet
sich
durch
kostengünstige
Verfahrensschritte,
im
wesentlichen
nasschemischen
Ätzschritten
aus.
EuroPat v2
In
the
following
wet-chemical
etching
step,
the
cantilever
117
is
thinned
to
the
desired
thickness.
Im
nachfolgenden
nasschemischen
Ätzschritt
wird
der
Cantilever
117
auf
die
gewünschte
Dicke
abgedünnt.
EuroPat v2
This
first
thinning
process
can
also
be
carried
out
by
wet
chemical
etching.
Dieser
erste
Dünnprozess
kann
auch
durch
ein
naßchemisches
Ätzen
erfolgen.
EuroPat v2
The
place-saver
61
of
polysilicon
is
etched
out
by
wet
chemical
etching.
Durch
naßchemisches
Ätzen
wird
der
Platzhalter
61
aus
Polysilizium
herausgeätzt.
EuroPat v2
For
contact
opening,
only
the
N-SIPOS
layer
is
removed
by
wet
chemical
etching.
Zur
Kontaktöffnung
wird
lediglich
die
N-SIPOS-Schicht
mit
Hilfe
einer
naßchemischen
Ätzung
entfernt.
EuroPat v2
This
is
not
possible
in
traditional,
wet-chemical
etching
methods
because
of
the
inadequate
selectivity.
Das
ist
bei
herkömmlichen,
naßchemischen
Ätzverfahren
aufgrund
der
ungenügenden
Selektivität
nicht
möglich.
EuroPat v2
The
wet
chemical
etching
is,
for
instance,
performed
with
choline
(4%).
Die
naßchemische
Ätzung
erfolgt
z.
B.
mit
Cholin
(4%).
EuroPat v2
The
trenches
are
then
etched
either
by
wet
chemical
etching
techniques
or
by
reactive
ion
etching.
Diese
Vertiefungen
werden
dann
entweder
durch
nasse
Ätzverfahren
oder
durch
reaktives
Ionenätzen
hergestellt.
EuroPat v2
Then
the
BSG
layer
3
is
removed
by
wet
etching
using
buffered
hydrofluoric
acid.
Anschließend
wird
die
BSG-Schicht
3
durch
Naßätzung
mit
gepufferter
Fluorwasserstoffsäure
entfernt.
EuroPat v2