Translation of "Wafer inspection" in German
A
wafer
inspection
system
checks
the
quality
of
the
individual
silicon
wafers.
Ein
Wafer-Inspektionssystem
überprüft
die
Qualität
der
einzelnen
Siliziumwafer.
ParaCrawl v7.1
The
wafer
inspection
system
checks
the
quality
of
the
individual
silicon
wafers
efficiently
and
reliably.
Das
Wafer-Inspektionssystem
überprüft
die
Qualität
der
einzelnen
Siliziumwafer
effizient
und
verlässlich.
ParaCrawl v7.1
The
wafer
inspection
system
checks
the
silicon
wafers
and
sorts
them
into
classes
according
to
quality.
Das
Wafer-Inspektionssystem
prüft
die
Siliziumwafer
und
sortiert
sie
gemäß
ihrer
Qualität
nach
Klassen.
ParaCrawl v7.1
The
microscope
is
particularly
suitable
for
inspection
in
the
semiconductor
industry
(wafer
inspection,
LCD
inspection).
Das
Mikroskop
ist
insbesondere
für
die
Inspektion
in
der
Halbleiterindustrie
(Waferinspektion,
LCD-Inspektion)
geeignet.
EuroPat v2
The
approach
according
to
the
present
invention
allows
a
wafer
inspection
process
that
can
be
performed
online
in
a
production
line.
Die
erfindungsgemäße
Lösung
erlaubt
eine
Waferkontrolle,
die
online
in
einer
Produktionslinie
vorgenommen
werden
kann.
EuroPat v2
A
wafer
inspection
system
checks
the
sliced
silicon
wafers
and
sorts
them
into
classes
according
to
quality.
Ein
Wafer-Inspektionssystem
prüft
die
geschnittenen
Siliziumwafer
und
sortiert
sie
gemäß
ihrer
Qualität
nach
Klassen.
ParaCrawl v7.1
Since
the
method
according
to
the
present
invention
dispenses
with
offline
post-inspection,
the
result
is
a
considerable
simplification
in
operation
and
an
appreciable
time
savings
in
wafer
inspection,
together
with
improved
relevance
of
the
conclusions
as
to
whether
the
wafer
can
continue
to
be
used.
Da
das
erfindungsgemäße
Verfahren
ohne
eine
Offline-Nachinspektion
auskommt,
ergibt
sich
eine
deutliche
Vereinfachung
der
Bedienungsführung
sowie
ein
erheblicher
Zeitgewinn
bei
der
Waferkontrolle
bei
gleichzeitig
verbesserter
Relevanz
der
Aussage
hinsichtlich
der
Weiterverwendbarkeit
des
Wafers.
EuroPat v2
For
this
reason,
the
pivoting
part
must
be
rotated
out
of
the
perpendicularly
running
optical
connection
line
each
time
before
a
chip
is
picked
up,
in
order
that
a
so-called
wafer
inspection
can
be
performed.
Deshalb
muss
das
drehbare
Bauteil
aus
der
vertikal
verlaufenden
optischen
Verbindungslinie
jedesmal
vor
der
Aufnahme
eines
Chip
herausgedreht
werden,
um
eine
sogenannte
Waferinspektion
durchführen
zu
können.
EuroPat v2
Laser
scanning
microscopes
of
the
generic
type
have
been
known
for
some
time
and
are
used,
among
other
applications,
in
the
semiconductor
industry
for
wafer
inspection
and
in
biomedical
basic
research.
Laserscanmikroskope
der
gattungsbildenden
Art
sind
seit
geraumer
Zeit
bekannt
und
werden
u.a.
in
der
Halbleiterindustrie
zur
Waferinspektion
sowie
in
der
biomedizinischen
Grundlagenforschung
eingesetzt.
EuroPat v2
Leica
Microsystems'
semiconductor
microscope
imaging
solutions
can
reduce
the
time
it
takes
for
wafer
inspection,
analysis,
and
results
documentation.
Mit
den
Halbleitermikroskopen
von
Leica
Microsystems
lassen
sich
Waferinspektion
und
Analyse
sowie
die
Dokumentation
der
Ergebnisse
erheblich
beschleunigen.
ParaCrawl v7.1
This
combination
enables
detailed
wafer
inspection,
including
inspection
of
the
front
and
rear
sides
as
well
as
the
wafer
edges,
all
in
just
one
system.
Die
Kombination
ermöglicht
eine
umfassende
Wafer-Inspektion,
also
die
Betrachtung
von
Wafervorder-
und
rückseite
sowie
der
Kanten
in
einem
System.
ParaCrawl v7.1
The
object
of
the
invention
is
to
provide
a
device
for
wafer
inspection
with
which
the
position
of
the
stage
can
be
securely
fixed
in
the
event
of
a
special
event.
Der
Erfindung
liegt
die
Aufgabe
eine
Vorrichtung
zur
Waferinspektion
zu
schaffen
mit
der
die
Position
des
Tisches
beim
Auftreten
eines
besonderen
Ereignisses
sicher
fixiert
ist.
EuroPat v2
For
many
practical
applications
(e.g.,
wafer
inspection
with
the
aid
of
bright-field
microscopy),
a
straight-line
scanning
movement
with
an
allowed
deviation
of
20
nanometers
at
most
from
an
ideal
straight
line
is
required.
Für
manche
Anwendungen
(z.B.
Wafer-Inspektion
mittels
Hellfeldmikroskopie)
wird
dabei
eine
geradlinige
Scan-Bewegung
mit
einer
erlaubten
Abweichung
von
höchstens
20
Nanometern
von
einer
idealen
Geraden
gefordert.
EuroPat v2
Experience
the
efficiency
of
powerful
workflow
automation
and
the
ability
to
quickly
switch
between
macro
and
micro
views
for
wafer
inspection.
Erleben
Sie
die
Effizienz
leistungsstarker
Workflow-Automation
und
die
Fähigkeit
zum
schnellen
Wechsel
zwischen
Makro-
und
Mikroansichten
bei
der
Waferinspektion.
ParaCrawl v7.1