Translation of "Splitter plate" in German
The
thickness
of
the
beam
splitter
plate
is
10
millimeters.
Die
Dicke
der
Strahlteilerplatte
beträgt
10
Millimeter.
EuroPat v2
As
the
beam
splitter
plate
45,
a
plate
made
from
a
heavy
type
of
glass
with
a
reflection-reducing
coating
can
then
be
used.
Als
Strahlteilerplatte
45
kann
dann
beispielsweise
eine
Platte
aus
einer
entspiegelten,
schweren
Glassorte
verwendet
werden.
EuroPat v2
The
illuminating
beam
path
(100)
can
also
be
coupled
in
with
a
non-parallel
beam
splitter
plate.
Der
Beleuchtungsstrahlengang
(100)
kann
auch
mit
einer
nicht
planparallelen
Strahlteilerplatte
eingekoppelt
werden.
EuroPat v2
Lateral
beam
offset
D
can
thus
be
adjusted
as
a
function
of
the
thickness
of
beam
splitter
plate
10
.
In
Abhängigkeit
von
der
Dicke
der
Strahlteilerplatte
10
kann
somit
der
laterale
Strahlversatz
D
angepaßt
werden.
EuroPat v2
In
the
other
case,
by
means
of
the
opto-acoustical
beam
splitter
plate
45,
analogously
to
the
above
case,
the
scattered
radiation
is
separated
from
the
acoustic
pulse
generated
in
the
absorption.
Bei
dem
anderen
Fall
wird
durch
die
opto-akustische
Strahlteilerplatte
45
analog
dem
vorstehend
beschriebenen
Fall
die
Streustrahlung
von
dem
bei
der
Absorption
erzeugten
Schallimpuls
getrennt.
EuroPat v2
In
this
case
also,
a
prism
56
and
a
beam
splitter
plate
57
optically
following
a
beam
expansion
and
collimator
system
58
are
used
to
symmetrize
the
phases
in
both
beams
52
and
53.
Zur
Symmetrisierung
der
Phasen
in
beiden
Bündeln
52
und
53
wird
wieder
ein
Prisma
56
und
eine
Strahlteilerplatte
57
verwendet,
die
optisch
hinter
einer
Strahlaufweitungs-
und
Kollimiereinrichtung
58
angeordnet
sind.
EuroPat v2
For
this
purpose,
a
part
of
the
transmitted
beam
is
supplied
to
a
detector
via
a
beam
splitter
(for
instance,
a
weakly
reflecting
splitter
plate)
whereby,
via
suitable
feedback,
the
signal
thereof
controls
the
oscillator
coil
fo
the
modulator.
Dazu
wird
über
einen
Strahlteiler
(bspw.
eine
schwach
reflektierende
Teilerplatte)
ein
Teil
der
transmittierten
Strahlung
einem
Detektor
zugeführt,
dessen
Signal
über
eine
geeignete
Rückkopplung
die
Schwingspule
des
Modulators
ansteuert.
EuroPat v2
The
transmitted
portion
36
of
the
beam
2
emitted
by
the
laser
impinges
upon
a
splitter
plate
38,
which
consists
of
a
transparent
material
of
only
relatively
low
reflectivity.
Der
transmittierte
Anteil
36
der
vom
Laser
ausgeandten
Strahlung
2
fällt
auf
eine
Teilerplatte
38,
die
aus
transparentem
Material
besteht
und
die
relativ
geringe
Reflektivität
aufweist.
EuroPat v2
The
illuminating
beam
path
is
refractively
corrected
in
passthrough
to
compensate
for
aberrations
via
the
special
configuration
of
the
rear
side
of
the
beam
splitter
plate.
Durch
die
spezielle
Gestaltung
der
Rückseite
der
Strahlteilerplatte
wird
der
Beleuchtungsstrahlengang
zur
Kompensation
der
Aberrationen
im
Durchtritt
refraktiv
korrigiert.
EuroPat v2
The
use
of
a
known
plane
parallel
beam
splitter
plate,
which
is
positioned
in
the
beam
path
200
at
an
angle
of
45°,
would
lead
within
the
illuminating
beam
path
100
to
non-rotationally
symmetrical
imaging
errors
such
as
astigmatism
and
coma
in
the
axis.
Die
Verwendung
einer
bekannten
planparallelen,
unter
45°
in
den
Strahlengang
200
gestellten
Strahlteilerplatte
würde
innerhalb
des
Beleuchtungsstrahlengangs
100
zu
nicht
rotationssymmetrischen
Bildfehlern
wie
z.B.
Astigmatismus
und
Koma
in
der
Achse
führen.
EuroPat v2
In
contrast,
within
the
imaging
beam
path
200,
the
use
of
a
polarization
beam
splitter
plate
32
in
transmission
would
not
be
possible
because
of
the
introduced
imaging
errors.
Innerhalb
des
abbildenden
Strahlengangs
200
dagegen
wäre
die
Verwendung
einer
Polarisations-
Strahlteilerplatte
32
in
Transmission
aufgrund
der
eingeführten
Abbildungsfehler
nicht
möglich.
EuroPat v2
In
comparison
to
the
beam
splitter
plate
32,
a
beam
splitter
cube
34
has
the
advantage
that
the
additional
glass
path
through
the
glass
prisms
leads
to
transmission
losses
which
are
disturbing
especially
at
low
wavelengths.
Im
Vergleich
zu
einer
Strahlteilerplatte
dagegen
hat
ein
Strahlteilerwürfel
34
den
Nachteil,
daß
der
zusätzliche
Glasweg
durch
die
Glasprismen
zu
Transmissionsverlusten
führt,
die
gerade
bei
niedrigen
Wellenlängen
störend
sind.
EuroPat v2
The
incoupling
of
the
illuminating
light
via
a
beam
splitter
plate
directly
ahead
of
the
reticle
as
shown
in
Japanese
patent
publication
9-017719
requires,
on
the
one
hand,
the
corresponding
entry
intersection
distance,
and,
on
the
other
hand,
the
passthrough
through
the
planar
plate
leads
to
the
astigmatic
deformation
of
the
illuminating
light
beam
which
disturbs
the
required
clean
pupil
imaging.
Die
Einkopplung
des
Beleuchtungslichts
mittels
einer
Strahlteilerplatte
direkt
vor
dem
Retikel
entsprechend
JP-A
9-017719
erfordert
zum
einen
die
entsprechende
Eingangsschnittweite,
zum
anderen
führt
der
Durchtritt
durch
die
Planplatte
zur
astigmatischen
Deformation
des
Beleuchtungslichtbündels,
welche
die
erforderliche
saubere
Pupillenabbildung
stört.
EuroPat v2
The
beam
splitter
plate
is
so
configured
that
astigmatic
errors
because
of
the
plate
mounted
at
an
angle
can
be
refractively
corrected.
Die
Strahlteilerplatte
ist
so
ausgebildet,
daß
astigmatische
Fehler
auf
Grund
der
schräg
gestellten
Platte
refraktiv
korrigiert
werden.
EuroPat v2
By
mounting
the
beam
splitter
plate
at
an
angle,
the
corrective
surface
exhibits
no
rotational
symmetry,
rather,
a
simple
symmetry
with
respect
to
the
meridian
plane.
Durch
die
Schrägstellung
der
Strahlteilerplatte
weist
die
Korrekturfläche
keine
Rotationssymmetrie,
sondern
eine
einfache
Symmetrie
bezüglich
der
Meridionalebene
auf.
EuroPat v2
A
polarization
beam
splitter
cube
34
has
the
advantage
compared
to
a
beam
splitter
plate
32
that
only
rotationally
symmetrical
imaging
errors
are
introduced
which
can
be
easily
corrected.
Ein
Polarisations-Strahlteilerwürfel
34
hat
gegenüber
einer
Strahlteilerplatte
den
Vorteil,
daß
nur
rotationssymmetrische
Bildfehler
eingeführt
werden,
die
sich
leichter
korrigieren
lassen.
EuroPat v2