Translation of "Laser annealing" in German
Laser
annealing
can
be
performed
for
example
with
the
aid
of
an
XeCl
excimer
laser
operating
in
pulsed
mode.
Ein
Laser-Glühen
kann
beispielsweise
mit
Hilfe
eines
XeCl-Excimerlasers
in
gepulster
Betriebsart
vorgenommen
werden.
EuroPat v2
The
steps
b)
and
c)
can
preferably
be
carried
out
by
means
of
ion
implantation
and
subsequent
laser
annealing.
Die
Schritte
b)
und
c)
können
bevorzugt
durch
Ionen-Implantation
und
anschließendem
Laserglühen
durchgeführt
werden.
EuroPat v2
Laser
annealing
has
plenty
of
benefits
compared
to
conventional
processes
such
as
the
furnace
process.
Das
Laser
Annealing
hat
gegenüber
herkömmlichen
Verfahren,
wie
beispielsweise
dem
Ofenprozess,
Vorteile.
ParaCrawl v7.1
Furthermore
laser
annealing
ensures
that
the
implants
undergo
uniform
deep
activation.
Darüber
hinaus
hat
das
Laser
Annealing
den
Vorteil,
dass
eine
gleichmäßige
Tiefenaktivierung
der
Implants
erfolgt.
ParaCrawl v7.1
Laser
annealing
is
the
process
with
which
these
ion
implants
can
be
activated.
Laser
Annealing
bezeichnet
das
Verfahren,
mit
dem
diese
Ionen
Implants
aktiviert
werden
können.
ParaCrawl v7.1
On
both
sides
of
the
central
section
21
of
the
shell
20,
herein
the
areas
23
and
25
being
more
easily
deformable
are
formed
by
the
fact
that
the
microstructure
of
the
material
of
the
shell
had
been
changed
in
these
areas
which
for
example
can
be
done
by
induction
annealing
or
laser
annealing.
Beiderseits
des
mittleren
Abschnittes
21
der
Hülse
20
sind
hierbei
die
leichter
verformbaren
Bereiche
23
und
25
dadurch
ausgebildet,
daß
das
Gefüge
des
Materials
der
Hülse
20
in
diesen
Bereichen
geändert
wurde,
was
beispielsweise
durch
Induktionsglühen
oder
Laserglühen
geschehen
kann.
EuroPat v2
For
performing
the
microstructural
change,
in
an
advantageous
way,
the
more
easily
deformable
areas
can
be
produced
by
induction
annealing
of
corresponding
sections
of
the
shell
or
alternatively
by
laser
annealing.
Zur
Gefügeumwandlung
können
in
vorteilhafter
Weise
die
leichter
verformbaren
Bereiche
durch
Induktionsglühen
entsprechender
Bereiche
der
Hülse
ausgebildet
sein
oder
anstelle
dessen
kann
Laserglühen
angewandt
werden.
EuroPat v2
From
the
essay
“Laser
Annealing
of
Zinc
Oxide
Thin
Film
Deposited
by
Spray-CVD”
by
G.
K.
Bhaumik
et
al.,
Elsevier
Materials
Science
and
Engineering
B52
(1998)
25-31,
it
is
known
to
apply
a
polycrystalline
ZnO
film
to
quartz
and
silicon
substrates
by
the
spray-CVD
method.
Aus
dem
Aufsatz
"Laser
annealing
of
zinc
oxide
thin
film
deposited
by
spray-CVD"
von
G.K.Bhaumik
et
al.,
Elsevier
Materials
Science
and
Engineering
B52
(1998)
25-31,
ist
es
bekannt,
einen
polykristallinen
ZnO-Film
auf
Quarz-
und
SiliziumSubstraten
mittels
der
"Sprüh-CVD-Methode"
aufzubringen.
EuroPat v2
For
example,
laser
annealing
does
not
damage
the
protective
foil
on
the
front
of
the
wafers
because
the
process
does
not
overheat
the
wafer
or
foil.
So
wird
beim
Laser
Annealing
die
Schutzfolie
auf
der
Vorderseite
der
Wafer
nicht
beschädigt,
weil
die
Wärmebelastung
nur
gering
ist.
ParaCrawl v7.1
The
method
as
claimed
in
claim
1,
wherein
said
steps
c)
and
d)
are
performed
by
means
of
ion
implantation
and
subsequent
laser
annealing.
Verfahren
nach
Anspruch
1,
bei
dem
die
Schritte
b)
und
c)
durch
Ionen-Implantation
und
anschließendes
Laser-Glühen
durchgeführt
werden.
EuroPat v2