Translation of "Flood exposure" in German
After
the
heat
treatment,
the
photoresist
coating
is
as
a
rule
subjected
to
a
total
exposure
("flood
exposure")
in
order
to
convert
the
still
photosensitive
coating
regions
completely
into
an
alkali-soluble
form.
Nach
der
Wärmebehandlung
wird
die
Photoresistschicht
in
der
Regel
einer
Totalbelichtung
("Flutbelichtung")
unterworfen,
um
die
noch
lichtempfindlichen
Schichtbereiche
vollständig
in
eine
alkalilösliche
Form
umzuwandeln.
EuroPat v2
Following
the
flood
exposure,
development
is
carried
out
with
an
aqueous
alkaline
developer
solution
which
is
normally
also
used
in
the
case
of
a
positive-working
photoresist,
for
example
aqueous
solutions
of
sodium
hydroxide,
tetramethylammonium
hydroxide,
trimethylhydroxyethylammonium
hydroxide,
alkali
phosphates,
alkali
silicates
or
alkali
carbonates,
which
may
contain
wetting
agents
or
small
amounts
of
organic
solvents.
Im
Anschluß
an
die
Flutbelichtung
wird
mit
einer
wäßrigalkalischen
Entwicklerlösung
entwickelt,
die
üblicherweise
auch
bei
einem
positiv
arbeitenden
Photoresist
verwendet
wird,
z.B.
wäßrige
Lösungen
von
Natriumhydroxyd,
Tetramethylammoniumhydroxyd,
Trimethylhydroxyethylammoniumhydroxid,
Alkaliphosphaten,
-silikaten
oder
-carbonaten,
die
Netzmittel
oder
kleinere
Mengen
organischer
Lösemittel
enthalten
können.
EuroPat v2
However,
two
additional
process
steps
are
required
here,
namely
a
metal-free
treatment
with
methyl
isocyanate,
specifically
in
the
vacuum
oven,
as
well
as
flood
exposure.
Hierbei
werden
aber
zwei
zusätzliche
Prozeßschritte
benötigt,
nämlich
eine
metallfreie
Behandlung
mit
Methylisocyanat,
und
zwar
im
Vakuumofen,
sowie
eine
Flutbelichtung.
EuroPat v2
However,
this
method
involves
two
additional
process
steps,
namely
treatment
of
the
exposed
photoresist
layer
with
a
polyfunctional
organic
compound,
especially
a
polyamine,
and
flood
exposure.
Dieses
Verfahren
beinhaltet
aber
Zwei
zusätzliche
Prozeßschritte,
nämlich
eine
Behandlung
der
belichteten
Photoresistschicht
mit
einer
polyfunktionellen
organischen
Verbindung,
insbesondere
einem
Polyamin,
und
eine
Flutbelichtung.
EuroPat v2
After
heat
treating
and
cooling
the
copying
material,
the
photoresist
coating
is
developed
or,
preferably,
exposed,
before
development,
to
UV
irradiation
over
the
entire
surface
(flood
exposure).
Nach
der
Wärmebehandlung
und
Abkühlung
des
Aufzeichnungsmaterials
wird
die
Photoresistschicht
entwickelt
oder
vorzugsweise
vor
der
Entwicklung
einer
ganzflächigen
UV-Bestrahlung
ausgesetzt
(Flutbelichtung).
EuroPat v2
The
flood
exposure
may
in
general
be
carried
out
under
the
same
light
source
which
was
also
used
for
the
exposure
to
image.
Die
Flutbelichtung
kann
im
allgemeinen
unter
der
gleichen
Lichtquelle
erfolgen,
die
auch
für
die
Bildbelichtung
verwendet
wurde.
EuroPat v2
What
is
essential
in
the
process
according
to
the
invention
is
the
fact
that
the
heat-treatment
is
preceded
by
whole-area
irradiation,
so-called
flood
exposure,
that
is
to
say
irradiation
without
a
mask.
Wesentlich
ist
beim
Verfahren
nach
der
Erfindung,
daß
vor
dem
Tempern
eine
ganzflächige
Bestrahlung
durchgeführt
wird,
eine
sogenannte
Flutbelichtung,
d.h.
eine
Bestrahlung
ohne
Maske.
EuroPat v2
It
also
has
been
demonstrated
that
no
final
flood
exposure
is
needed
if
the
sensitizer
is
chosen
such
that
its
acid
photoproduct
is
capable
of
cross-linking
the
exposed
areas
during
a
high
temperature
post-exposure
bake.
Es
ist
auch
nachgewiesen
worden,
daß
eine
abschließende
ganzflächige
Flutbelichtung
nicht
erforderlich
ist,
wenn
der
Sensibilisator
so
gewählt
wird,
daß
die
daraus
photolytisch
gebildete
Säure
die
belichteten
Bereiche
während
einer
Nacherhitzung
bei
hoher
Temperatur
vernetzen
kann.
EuroPat v2
In
the
case
of
the
preferred
curing
by
exposure,
the
sandwich
can
be
cured
over
the
whole
area
by
flood
exposure
with
or
without
a
mask
and
hence
the
refractive
index
gradient
structure
generated
by
the
mask
exposure
can
be
fixed.
Bei
der
bevorzugten
Aushärtung
durch
Belichtung
kann
der
Sandwich
mit
oder
ohne
Maske
durch
eine
Flutbelichtung
ganzflächig
ausgehärtet
und
damit
die
durch
die
Maskenbelichtung
erzeugte
Brechzahlgradientenstruktur
fixiert
werden.
EuroPat v2
In
the
case
of
transparent
backing
films,
the
flood
exposure
can
be
done
from
the
bottom
(through
the
backing
film)
or
else
from
the
top,
especially
in
the
case
of
nontransparent
backing
films.
Die
Flutbelichtung
kann
bei
transparenten
Trägerfolien
von
unten
(durch
die
Trägerfolie
hindurch)
oder
auch
von
oben
geschehen,
insbesondere
bei
nicht
transparenten
Trägerfolien.
EuroPat v2