Translation of "Electron probe" in German
The
other
end
of
the
resistor
to
be
measured
is
driven
by
a
second
electron
probe.
Das
andere
Ende
des
zu
messenden
Widerstandes
wird
von
einer
zweiten
Elektronensonde
angesteuert.
EuroPat v2
The
secondary
electron
emission
coefficient
at
the
point
of
incidence
of
the
second
electron
probe
must
be
greater
than
1.
Der
Sekundärelektronen-Emissionskoeffizient
am
Auftreffort
der
zweiten
Elektronensonde
muß
größer
als
1
sein.
EuroPat v2
The
keying
or
strobe
frequency
of
the
electron
probe
PE
is
independent
of
an
operating
frequency
of
the
circuit
PR.
Die
Eintastfrequenz
der
Elektronensonde
PE
ist
unabhängig
von
der
Betriebsfrequenz
der
Schaltung
PR.
EuroPat v2
High-frequency
periodic
events
can
be
stroboscopically
measured
in
integrated
circuits
with
an
electron
probe.
Hochfrequente
periodische
Vorgänge
in
integrierten
Schaltungen
können
mit
einer
Elektronensonde
stroboskopisch
gemessen
werden.
EuroPat v2
Accordingly,
a
fine
electron
probe
arises
in
the
object
plane
(16).
In
der
Objektebene
(16)
entsteht
demzufolge
eine
feine
Elektronensonde.
EuroPat v2
An
electron
probe
is
used
for
measurements
of
voltages
and
voltage
progressions
in
the
inside
of
integrated
circuits.
Für
Messungen
von
Spannungen
und
von
Spannungsverläufen
im
Innern
von
integrierten
Schaltungen
wird
eine
Elektronensonde
benutzt.
EuroPat v2
Electrical
potentials
can
be
imaged
at
the
surface
of
integrated
circuits
with
the
assistance
of
an
electron
probe.
Mit
Hilfe
einer
Elektronensonde
können
elektrische
Potentiale
an
der
Oberfläche
integrierter
Schaltungen
abgebildet
werden.
EuroPat v2
Given
the
known
electron
beam
measuring
methods
for
checking
microwired
structures,
interconnect
networks
are
electrically
charged
with
at
least
one
electron
probe.
Bei
den
bekannten
Elektronenstrahl-Meßverfahren
zur
Prüfung
von
Mikroverdrahtungen
werden
Leitbahn-Netzwerke
mit
wenigstens
einer
Elektronensonde
elektrisch
aufgeladen.
EuroPat v2
A
non-pulsed
electron
probe
suitable
for
acquiring
logical
states
at
internal
nodes
of
integrated
circuits.
Eine
nicht-gepulste
Elektronensonde
ist
geeignet,
logische
Zustände
an
internen
Knoten
integrierter
Schaltungen
zu
erfassen.
EuroPat v2
DD
226
428
A1
discloses
a
device
for
setting
an
electron
probe
by
means
of
a
masked
electron
detector.
Die
DD
226
428
A1
offenbart
eine
Einrichtung
zur
Einstellung
einer
Elektronensonde
mittels
eines
maskierten
Elektronendetektors.
EuroPat v2
This
work
was
done
by
Sami
Nabhan
and
Ralf
Milke
of
Freie
Universitšt
using
an
electron
probe
micro-analyzer.
Hierzu
nutzten
Sami
Nabhan
und
Ralf
Milke
von
der
Freien
Universität
eine
sogenannte
Elektronenstrahlmikrosonde.
ParaCrawl v7.1
This
work
was
done
by
Sami
Nabhan
and
Ralf
Milke
of
Freie
Universität
using
an
electron
probe
micro-analyzer.
Hierzu
nutzten
Sami
Nabhan
und
Ralf
Milke
von
der
Freien
Universität
eine
sogenannte
Elektronenstrahlmikrosonde.
ParaCrawl v7.1
Such
a
differently
enlarged
image
on
an
image
reproduction
device
can
also
be
achieved
in
that
the
step
size
or
sweep
for
the
electron
probe
as
it
is
conducted
over
the
subject
is
kept
constant
and
the
step
size
or
sweep
of
the
beam
of
the
image
recording
device
is
varied.
Ein
solch
unterschiedlich
vergrößertes
Bild
auf
einem
Bildwiedergabe-Gerät
kann
auch
dadurch
erzielt
werden,
daß
die
Schrittweite,
mit
der
die
Elektronensonde
über
das
Objekt
geführt
wird,
konstant
gehalten
wird
und
die
Schrittweite,
mit
der
das
Bild
auf
dem
Bildwiedergabe-Gerät
dargestellt
wird,
variabel
gehandhabt
wird.
EuroPat v2
It
would
be
ideal
if,
similar
to
usual
electron
beam
lithography,
the
electron
probe
would
impinge
the
desired
location
on
the
subject
with
high
precision.
Ideal
wäre
es,
wenn
die
Elektronensonde,
ähnlich
wie
bei
der
gewöhnlichen
Etektronenstraht-Lithografie,
die
gewünschte
Stelle
auf
dem
Objekt
mit
hoher
Genauigkeit
treffen
würde.
EuroPat v2
This
high
imprecision
is
not
only
caused
by
the
poor
setting
of
the
table
XY,
but
also
because
of
local
fields
at
the
incidence
point
of
the
electron
probe
within
the
integrated
circuit
IC.
Diese
große
Ungenauigkeit
ist
nicht
nur
dadurch
bedingt,
daß
die
Einstellmöglichkeit
des
Tisches
XY
per
se
so
schlecht
ist,
sondern
auch
dadurch,
daß
am
Auftreffpunkt
der
Elektronensonde
innerhalb
der
integrierten
Schaltung
IC
lokale
Felder
bestehen.
EuroPat v2
This
high
imprecision
of
.+-.15
?m
in
the
positioning
of
the
electron
probe
to
a
measuring
point
within
the
integrated
circuit
IC
is
inadequate
when
one
considers
that
the
width
of
an
electrical
interconnect
within
an
integrated
circuit
IC
is
about
1
?m
and
will
become
even
smaller
in
the
future.
Diese
große
Ungenauigkeit
von
+'15
pm
bei
der
Positionierung
der
Elektronensonde
auf
einem
Meßpunkt
innerhalb
der
integrierten
Schaltung
IC
ist
unzureichend,
wenn
man
bedenkt,
daß
die
Breite
einer
elektrischen
Leiterbahn
innerhalb
einer
integrierten
Schaltung
IC
etwa
1
pm
beträgt
und
in
Zukunft
noch
kleiner
werden
wird.
EuroPat v2