Translation of "Deep uv" in German
These
mixtures
also
do
not
have
an
adequate
sensitivity
in
the
deep
UV
range.
Auch
diese
Mischungen
haben
im
tiefen
UV-Bereich
keine
ausreichende
Empfindlichkeit.
EuroPat v2
Particular
mention
is
made
of
aliphatic
sulfoxonium
salts
which
absorb
in
the
deep
UV
range.
Insbesondere
zu
erwähnen
sind
aliphatische
Sulfoxoniumsalze,
die
im
tiefen
UV-Bereich
absorbieren.
EuroPat v2
The
photoresists
are
preferably
used
for
deep-UV
microlithography.
Die
Photoresists
können
bevorzugt
für
die
Tief-UV-Mikrolithographie
verwendet
werden.
EuroPat v2
Such
resists
demonstrate
high
sensitivity
especially
in
the
DUV
range
(Deep
UV).
Derartige
Resists
zeigen
insbesondere
im
DUV-Bereich
(Deep
UV)
eine
hohe
Empfindlichkeit.
EuroPat v2
They
are
therefore
ideally
suited
for
application
in
deep
UV
lithography.
Sie
sind
daher
ideal
für
die
Anwendung
in
der
Deep/UV-Lithographie
geeignet.
EuroPat v2
The
resolution
capacity
that
can
be
obtained
with
conventional
deep
UV
microlithography,
however,
has
its
limits.
Das
mit
der
herkömmlichen
Deep
UV-Mikrolithographie
erreichbare
Auflösungsvermögen
hat
jedoch
seine
Grenze
erreicht.
EuroPat v2
Such
filters
or
masks
are
suitable
for
UV
and
deep
UV
wavelengths.
Diese
Filter
eignen
sich
für
den
UV
und
fernen
UV-Bereich.
EuroPat v2
Particularly
in
the
deep
UV
range
the
holmium
peaks
are
affected
by
the
absorbance
of
the
carrier
glass.
Insbesondere
im
tiefen
UV-Bereich
werden
die
Holmium-Peaks
von
der
Absorptionskante
des
Trägerglases
überlagert.
ParaCrawl v7.1
Spectrosil®
is
ideally
suited
for
windows
in
Deep
UV
applications.
Spectrosil®
ist
ideal
für
Scheiben
bei
Anwendungen
im
tiefen
UV-Bereich
geeignet.
ParaCrawl v7.1
The
resist
RD
2000N
is
used
in
the
deep
UV-range
(DUV).
Der
Resist
RD
2000N
wird
im
Tief
UV-Bereich
(DUV)
verwendet.
EuroPat v2
Such
dimensions
can
be
manufactured
with
the
assistance
of
electron
beam
lithography
or
deep
UV
lithography.
Derartige
Abmessungen
sind
mit
Hilfe
von
Elektronenstrahllithographie
oder
Deep-UV-Lithographie
herstellbar.
EuroPat v2
In
addition,
their
low
lithographic
sensitivity
and
the
restriction
to
irradiation
wavelengths
in
the
deep
UV
light
range
are
disadvantageous.
Außerdem
ist
nachteilig
ihre
niedrige
lithographische
Empfindlichkeit
und
die
Beschränkung
auf
Bestrahlungswellenlängen
im
tiefen
UV-Licht.
EuroPat v2
The
dish
is
covered
with
a
glass
plate
(deep
UV
filter,
cut-off
310
nm).
Die
Schale
wird
mit
einer
Glasplatte
(Tief-UV-Filter,
Cut-off
310nm)
abgedeckt.
EuroPat v2
The
Petri
dish
is
covered
with
a
glass
plate
(deep
UV
filter,
??310
nm).
Die
Petrischale
wird
mit
einer
Glasplatte
(Tief-UV-Filter,
1
?
310
nm)
abgedeckt.
EuroPat v2
Our
UV
Deep
Clean
-
process
combines
powerful
UV-oxidation
with
the
catalytic
properties
of
titanium
dioxide.
Unser
UV
Deep
Clean
-
Verfahren
verbindet
eine
leistungsfähige
UV-Oxidation
mit
der
katalytischen
Wirkung
von
Titandioxid.
ParaCrawl v7.1
The
first
ESPRIT
project
ran
from
1988
to
1991,
and
led
to
the
development
of
a
248
nanometre
wavelength
Deep
UV
(DUV)
wafer
stepper.
Das
erste
ESPRITProjekt
lief
von
1988
bis
1991
und
führte
zur
Entwicklung
eines
Wafersteppers
mit
einer
DUV
(Deep
UV)
Wellenlänge
von
248
Nanometem.
EUbookshop v2
However,
because
of
the
weak
absorptions
of
the
photolytic
acid
donor
and
its
inadequate
bleaching
properties,
and
also
their
low
sensitivity
in
the
deep
UV,
such
mixtures
are
unsuitable
for
uses
in
this
range
and
also
for
electron
and
X-ray
radiation.
Solche
Mischungen
sind
aber
infolge
der
schwachen
Absorptionen
des
photolytischen
Säurespenders
und
seines
unzureichenden
Ausbleichverhaltens
sowie
ihrer
geringen
Empfindlichkeit
im
tiefen
UV
für
Anwendungen
in
diesem
Bereich,
wie
auch
für
Elektronen-
und
Röntgenstrahlung,
ungeeignet.
EuroPat v2
In
spite
of
the
numerous
inventions
and
improvements
in
this
field,
no
material
is
currently
known
which
suggests
heat-stable
radiation-sensitive
negative-working
mixtures
which
can
be
developed
under
aqueous-alkaline
conditions
and
in
which
a
high
sensitivity
in
the
deep
UV
range,
by
means
of
low-corroding
photolytically
generated
acids,
is
linked
with
a
high
resolution.
Trotz
der
zahlreichen
Erfindungen
und
Verbesserungen
auf
diesem
Gebiet
ist
derzeit
kein
Material
bekannt,
das
wäßrig-alkalisch
entwickelbare,
thermisch
stabile
strahlungsempfindliche
negativ
arbeitende
Gemische
vorschlägt,
in
denen
hohe
Empfindlichkeit
im
tiefen
UV-Bereich
mittels
wenig
korrodierender
photolytisch
erzeugter
Säuren
verknüpft
ist
mit
hoher
Auflösung.
EuroPat v2
The
polymers
are
characterized
by
high
transparency
both
in
the
near
and
the
deep
UV
range,
and
are
therefore
particularly
well
suited
for
use
in
high-contrast
DUV
photoresists,
for
example
for
exposures
with
KrF
excimer
laser
exposure
devices
(at
a
wave
length
of
248
nm).
Die
Polymere
zeichnen
sich
durch
eine
hohe
Transparenz
sowohl
im
nahen
als
auch
im
tiefen
UV-Bereich
aus
und
eignen
sich
daher
in
hervorragender
Weise
für
die
Verwendung
in
Hochkontrast-DUV-Photoresists,
beispielsweise
für
Belichtungen
mit
KrF-Excimerlaser-Belichtungsgeräten
(bei
einer
Wellenlänge
von
248
nm).
EuroPat v2
Owing
to
the
high
sensitivity
and
the
high
optical
transparency
or,
in
other
words,
the
low
optical
absorption
in
the
UV
range
around
250
nm,
they
are
especially
suitable
for
microlithography
applications,
especially
deep
UV
microlithography.
Dank
der
hohen
Empfindlichkeit
und
der
hohen
optischen
Transparenz
bzw.
der
geringen
optischen
Absorption
im
UV-Bereich
um
250
nm
eignen
sie
sich
insbesondere
für
Anwendungen
in
der
Mikrolithographie,
vor
allem
der
Tief-UV-Mikrolithographie.
EuroPat v2
Owing
to
the
high
sensitivity
and
the
high
optical
transparency
or,
in
other
words,
the
low
optical
absorption
in
the
UV
range
around
250
nm,
they
are
especially
suitable
for
use
in
microlithography,
especially
for
use
in
deep
UV
microlithography.
Dank
der
hohen
Empfindlichkeit
und
der
hohen
optischen
Transparenz
bzw.
der
geringen
optischen
Absorption
im
UV-Bereich
um
250
nm
eignen
sie
sich
insbesondere
für
Anwendungen
in
der
Mikrolithographie,
vor
allem
der
Tief-UV-Mikrolithographie.
EuroPat v2