Übersetzung für "Wafer stage" in Deutsch

In particular, phosphor layer 13 can be applied to radiation decoupling surface 12 as early as the wafer composite stage.
Insbesondere kann die Leuchtstoffschicht 13 dabei noch im Waferverbund auf die Strahlungsauskoppelfläche 12 aufgebracht werden.
EuroPat v2
A planar mirror 300 for folding the system is also introduced following the collector 3, in order to provide installation space for mechanical and electronic components in the object plane, 114, in which the wafer stage is positioned.
Zusätzlich eingefügt ist auf den Kollektor 3 folgend ein Planspiegel 200 zur Faltung des Systems, um Bauräume für mechanische und elektronische Komponenten in der Objektebene 114, in der der Waferstage angeordnet ist, zur Verfügung zu stellen.
EuroPat v2
The wafer is held by a device 126 (wafer stage) comprising a scanner drive in order to move the wafer synchronously with the mask 115 in a fashion parallel to the latter.
Der Wafer wird durch eine Einrichtung 126 (wafer stage) gehalten, die einen Scannerantrieb umfasst, um den Wafer synchron mit der Maske 115 parallel zu dieser zu bewegen.
EuroPat v2
The structure-bearing mask 150 is imaged by the projection lens 120 onto a substrate 106 provided with a light-sensitive layer, or onto a wafer, which is arranged on a wafer stage 161 .
Die Struktur tragende Maske 150 wird mit dem Projektionsobjektiv 120 auf ein mit einer lichtempfindlichen Schicht versehenes Substrat 160 bzw. einen Wafer, welcher auf einem Wafertisch (auch üblicherweise bezeichnet als "wafer stage") 161 angeordnet ist, abgebildet.
EuroPat v2
Arranged on a mask stage 620 at the location of the object field is a reflective structure-bearing mask 621, which with the aid of the projection lens is imaged into an image plane, in which there is a substrate 661 coated with a light-sensitive layer (photoresist) on a wafer stage 660 .
Am Ort des Objektfeldes ist eine reflektive strukturtragende Maske 621 auf einem Maskentisch 620 angeordnet, die mit Hilfe des Projektionsobjektivs in eine Bildebene abgebildet wird, in welcher sich ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes Substrat 661 auf einem Wafertisch 660 befindet.
EuroPat v2
At the location of the object field, a reflective structure-bearing mask 31 is arranged on a mask stage 30, said mask being imaged with the aid of the projection lens into an image plane in which a substrate 41 coated with a light-sensitive layer (photoresist) is situated on a wafer stage 40 .
Am Ort des Objektfeldes ist eine reflektive strukturtragende Maske 31 auf einem Maskentisch 30 angeordnet, die mit Hilfe des Projektionsobjektivs in eine Bildebene abgebildet wird, in welcher sich ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes Substrat 41 auf einem Wafertisch 40 befindet.
EuroPat v2
The device 181, which is also designated as “wafer stage”, and the device 171, which is also designated as “reticle stage”, are part of a scanner device controlled by means of a scan control device.
Die Einrichtung 181, die auch als "Waferstage" bezeichnet wird, sowie die Einrichtung 171, die auch als "Retikelstage" bezeichnet wird, sind Bestandteil einer Scannereinrichtung, die über eine Scan-Steuereinrichtung gesteuert wird.
EuroPat v2
This can apply especially to the optical components of the projection exposure apparatus arranged after the coupling element in the direction of the illumination or projection beam such as, for example, a condenser, a REMA (reticle/masking) objective, a reticle or a mask, optical components of a projection objective, immersion layers, the photoresist, the wafer and the wafer stage.
Dies gilt insbesondere auch für die optischen Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage, die in Strahlrichtung des Beleuchtungs- bzw. Projektionsstrahls nach dem Einkoppelelement angeordnet sind, wie zum Beispiel ein Kondensor, ein REMA- (Retikel/Masking-) Objektiv, ein Retikel bzw. eine Maske, optische Komponenten eines Projektionsobjektivs, Immersions-schichten bis hin zum Fotoresist, dem Wafer und dem Waferstage.
EuroPat v2
A reflective structure-bearing mask 521 on a mask stage 520 is arranged at the location of the object field, said mask being imaged into an image plane with the aid of the projection lens, in which image plane is situated a substrate 561 coated with a light-sensitive layer (photoresist) on a wafer stage 560 .
Am Ort des Objektfeldes ist eine reflektive strukturtragende Maske 521 auf einem Maskentisch 520 angeordnet, die mit Hilfe des Projektionsobjektivs in eine Bildebene abgebildet wird, in welcher sich ein mit einer lichtempfindlichen Schicht (Photoresist) beschichtetes Substrat 561 auf einem Wafertisch 560 befindet.
EuroPat v2
The invention is furthermore suitable for separating stacked wafers in other stages of the production process, for example cleaned or even post-treated or polished wafers.
Die Erfindung eignet sich weiterhin zum Vereinzeln von gestapelten Scheiben in anderen Stadien des Herstellungsprozesses, z. B. gereinigten oder auch nachbehandelten oder polierten Scheiben.
EuroPat v2
These glass ceramics are therefore used in transparent form, for example for fireproof glass, as view windows in stoves and furnaces or as cookware, as well as for substrate material for wafer stages or mirrors for telescopes.
Diese Glaskeramiken finden daher in transparenter Form Anwendung zum Beispiel als Brandschutzglas, Kaminsichtscheiben oder Kochgeschirr, sowie als Substratmaterial für wafer stages oder Spiegelträger für Teleskope.
EuroPat v2
With their CMP (chemical-mechanical polishing process) and wet-bench cleaning projects, the two winners have optimized processes in the final wafer treatment stages.
Die beiden Preisträger haben mit ihren Projekten in der CMP-Reinigung (chemisch-mechanisches Polieren) und in der Badreinigungsanlage Prozesse der abschließenden Waferbearbeitung optimiert.
ParaCrawl v7.1
With their CMP (chemical-mechanical polishing process) and wet-bench cleaning projects, the two winners in 2013 improved processes in the final wafer-treatment stages.
Die beiden Preisträger im Jahr 2013 verbesserten mit ihren Projekten in der CMP-Reinigung (chemisch-mechanisches Polieren) und in der Badreinigungsanlage Prozesse der abschließenden Waferbearbeitung.
ParaCrawl v7.1
Wafers in all stages of production can be measured precisely offline and inline within a gauge range of 10 µm - 1000 µm.
Wafer in allen Bearbeitungsstadien können in einem Dickenbereich von 10 µm - 1000 µm präzise offline und inline gemessen werden.
ParaCrawl v7.1
Thus, e.g., with application as substrate materials, wafer stages, or mirror supports for telescopes, thermal expansion in the region of room temperature is minimized.
So wird z. B. bei Anwendung als Substratmaterial, wafer stages oder Spiegelträger für Teleskope die thermische Ausdehnung im Bereich der Raumtemperatur minimiert.
EuroPat v2
These glass ceramics are therefore used in transparent form as, e.g., fire protection glass, fireplace door windows, cookware, and cooking surfaces, as well as substrate material for wafer stages or for mirror supports for telescopes and for reflectors in beamers.
Diese Glaskeramiken finden daher in transparenter Form Anwendung z.B. als Brandschutzglas, Kaminsichtscheiben, Kochgeschirr, Kochflächen, sowie als Substratmaterial für wafer stages oder für Spiegelträger für Teleskope und sowie für Reflektoren in Beamem.
EuroPat v2

Ähnliche Begriffe

at this stage stage by stage stages in stages
to the stage Wafer at the stage not at this stage
stage