Übersetzung für "Source plasma" in Deutsch
A
plasma
source
device
can
have
a
very
simple
structure.
Eine
Plasmaquelle
kann
einen
sehr
einfachen
Aufbau
aufweisen.
EuroPat v2
The
plasma
source
8
is
controlled
by
a
plasma
generator
9.
Die
Plasmaquelle
8
wird
durch
den
Plasmagenerator
9
gesteuert.
EuroPat v2
In
this
case,
the
atomizing
sources
are
simultaneously
used
as
a
coating
source
and
a
plasma
source.
In
diesem
Falle
dienen
die
Zerstäubungsquellen
gleichzeitig
als
Beschichtungsquelle
und
als
Plasmaquelle.
EuroPat v2
In
another
step
the
plasma
of
the
plasma
source
is
ignited.
In
einem
weiteren
Schritt
wird
das
Plasma
der
Plasmaquelle
gezündet.
EuroPat v2
By
way
of
example,
a
plasma
source,
or
else
a
synchrotron,
can
serve
as
a
radiation
source
12
.
Als
Strahlungsquelle
12
kann
beispielsweise
eine
Plasmaquelle
oder
auch
ein
Synchrotron
dienen.
EuroPat v2
Preferred
embodiments
of
the
plasma
source
are
rotationally
symmetric.
Bevorzugte
Ausführungsformen
der
Plasmaquelle
sind
rotationssymmetrisch.
EuroPat v2
It
is
also
possible
that
the
plasma
source
is
integrated
in
the
resonator.
Auch
ist
es
möglich,
dass
die
Plasmaquelle
im
Resonator
integriert
ist.
EuroPat v2
The
resonator
can
also
be
a
part
of
the
plasma
source.
Auch
kann
der
Resonator
Teil
der
Plasmaquelle
sein.
EuroPat v2
Such
a
plasma
source
would
then
be
the
high
energy
source
designated
as
21
as
shown
in
the
FIGURE.
Eine
dahingehende
Plasmaquelle
wäre
dann
die
mit
21
bezeichnete
Hochenergiequelle
nach
der
Figur.
EuroPat v2
On
the
other
hand,
the
passivating
agent
may
also
be
fed
into
the
plasma
beam
outside
the
plasma
source.
Andererseits
kann
das
Passivierungsmittel
auch
außerhalb
der
Plasmaquelle
dem
Plasmastrahl
zugeführt
werden.
EuroPat v2
The
plasma
generator
may
be
constructed
as
a
plasma
source,
as
an
electron
source
or
as
an
ion
source.
Der
Plasmaerzeuger
kann
als
Plasmaquelle,
als
Elektronenquelle
oder
als
Ionenquelle
ausgebildet
sein.
EuroPat v2
Preferably,
activation
of
the
plasma
source
is
ensured
by
means
of
shunts.
Vorzugsweise
wird
das
Einschalten
der
Plasmaquelle
durch
Nebenwiderstände
gewährleistet.
EuroPat v2
The
same
relates
to
the
opening
10
of
the
plasma
source
to
the
vacuum
chamber.
Entsprechendes
gilt
für
die
Öffnung
10
der
Plasmaquelle
zur
Vakuumkammer
hin.
EuroPat v2
Gas
is
introduced
into
the
plasma
source
hollow
body
1
via
a
gas
inlet
7
a
.
Durch
einen
Gaseinlass
7a
wird
Gas
in
den
Plasmaquellenhohlkörper
1
eingelassen.
EuroPat v2
The
distance
between
the
plasma
source
and
the
hollow
anode
is
in
the
range
of
200
to
400
mm.
Der
Abstand
zwischen
Plasmaquelle
und
Hohlanode
liegt
zwischen
200
bis
400mm.
EuroPat v2
Further,
magnetic
fields
can
be
employed
at
the
plasma
source
hollow
body.
Ebenso
können
am
Plasmaquellenhohlkörper
Magnetfelder
zum
Einsatz
kommen.
EuroPat v2
The
expansion
of
the
boundary
surface
can
also
be
prevented
by
the
action
of
the
plasma
source.
Auch
die
Ausdehnung
der
Grenzfläche
kann
durch
Einwirkung
der
Plasmaquelle
verhindert
werden.
EuroPat v2
In
a
further
preferred
embodiment,
the
plasma
source
satisfies
one
of
the
following
functions:
In
einer
weiteren
bevorzugten
Ausführungsform
erfüllt
die
Plasmaquelle
zumindest
eine
der
folgenden
Funktionen:
EuroPat v2
In
a
preferred
embodiment
of
the
apparatus,
the
turntable
is
positioned
above
the
plasma
source.
In
einer
bevorzugten
Ausgestaltungsform
der
Vorrichtung
ist
der
Drehteller
oberhalb
der
Plasmaquelle
lokalisiert.
EuroPat v2
There,
a
plasma
is
ignited
by
means
of
a
plasma
source
25
.
Dort
wird
mit
Hilfe
einer
Plasmaquelle
25
ein
Plasma
gezündet.
EuroPat v2
This
requires
a
plasma
source
19
which
is
tolerant
to
process
fluctuations.
Dies
erfordert
eine
Plasmaquelle
19,
die
tolerant
ist
gegenüber
Prozessschwankungen.
EuroPat v2
A
liquid
which
contains
free
ions
can
also
be
used
instead
of
a
plasma
source.
Anstelle
einer
Plasmaquelle
kann
auch
eine
gelöste
Ionen
enthaltene
Flüssigkeit
eingesetzt
werden.
EuroPat v2