Übersetzung für "Plasma deposition" in Deutsch
The
pressure
of
the
argon
plasma
for
the
deposition
of
the
second
monocrystalline
iron
garnet
layer
is
0.47
Pa.
Der
Druck
des
Argonplasmas
zur
Abscheidung
der
zweiten
einkristallinen
Eisengranatschicht
beträgt
0,47
Pa.
EuroPat v2
The
coat
3
is
preferably
applied
by
plasma-activated
deposition
or
sputtering.
Vorzugsweise
wird
der
Überzug
3
durch
plasmaaktivierte
Abscheidung
oder
Sputtern
aufgetragen.
EuroPat v2
The
filter
layer
is
produced
by
sputtering
or
plasma-enhanced
vapor
deposition.
Die
Filterschicht
wird
dabei
durch
Sputtern
oder
plasmaunterstütztes
Bedampfen
hergestellt.
EuroPat v2
The
plasma
deposition
of
such
layers
is
described
in
DE
198
07
086,
for
example.
Die
Plasmaabscheidung
solcher
Schichten
wird
beispielsweise
in
DE
198
07
086
beschrieben.
EuroPat v2
The
barrier
layer
was
deposited
by
plasma-enhanced
vapor
deposition.
Die
Abscheidung
der
Sperrschicht
erfolgte
durch
plasmaunterstützte
chemische
Gasphasenabscheidung.
EuroPat v2
The
plasma
species
for
deposition
also
require
the
wavelengths
to
be
in
the
vacuum
ultraviolet
regions
of
the
electromagnetic
spectrum.
Plasmabestandteile,
die
eine
Abscheidung
bewirken,
erfordern
auch
Wellenlängen
im
Vakuumultraviolett-Bereichs
des
elektromagnetischen
Spektrums.
EuroPat v2
This
kind
of
plasma
generation
can
therefore
only
be
used
for
etching
processes
or
plasma-assisted
layer
deposition.
Diese
Art
der
Plasmaerzeugung
kann
daher
nur
für
Ätzanwendungen
oder
plasmaunterstützte
Schichtabscheidungen
verwendet
werden.
EuroPat v2
Such
structures,
which
also
occur
in
soot,
can
be
produced
deliberately
by
plasma
deposition.
Solche
Strukturen,
die
auch
im
Ruß
vorkommen,
können
durch
Plasmaabscheidung
gezielt
erzeugt
werden.
EuroPat v2
Examples
are
magnetron
sputtering,
plasma-activated
vapor
deposition,
vacuum-arc
coating
and
the
HF-CVD
process.
Beispiele
sind
das
Magnetronsputtern,
das
plasmaaktivierte
Bedampfen,
die
Vakuumbogenbeschichtung
und
das
HF-CVD-Verfahren.
EuroPat v2
Coating
method
involving
the
polymerization
of
organic
molecules
in
a
plasma
and
their
deposition
on
a
substrate’s
surface.
Beschichtungsverfahren,
bei
dem
organische
Moleküle
im
Plasma
polymerisieren
und
sich
auf
einem
Substrat
niederschlagen.
ParaCrawl v7.1
This
blank
can
e.g.
be
made
sticky
by
coating
with
sticky
silicone
or
by
means
of
plasma
deposition.
Dieser
Rohling
kann
beispielsweise
durch
Beschichtung
mit
klebrigen
Silikon
oder
mittels
Plasmaabscheidung
klebrig
gemacht
werden.
EuroPat v2
The
chemical
vapor
deposition
may
alternatively
use
a
reactive
plasma
in
its
deposition
wherein
a
lower
temperature
is
possible
during
the
process.
Das
chemische
Niederschlagen
aus
der
Dampfphase
kann
alternativ
ein
reaktionsfähiges
Plasma
bei
seinem
Niederschlagen
verwenden,
bei
dem
während
des
Prozesses
eine
niedrigere
Temperatur
möglich
ist.
EuroPat v2
In
1986,
his
team
developed
a
process
for
Very
High
Frequency
Plasma
Deposition
(VHF
plasma).
Sein
Team
entwickelte
einen
Prozess
zur
Beschichtung
mittels
Very
High
Frequency
Plasma
Deposition
(VHF
Plasma).
WikiMatrix v1
Onto
the
thick
resist
layer
2
a
silicon
nitride
layer
3
in
a
layer
thickness
of
0.1
to
0.2
?m
is
deposited
by
means
of
plasma
deposition.
Auf
die
dicke
Resistschicht
2
wird
eine
Siliciumnitridschicht
3
in
einer
Schichtdicke
von
0,1
bis
0,2
um
durch
Plasmaabscheidung
aufgetragen.
EuroPat v2
The
method
according
to
claim
1
wherein
the
plasma
deposition
takes
place
by
means
of
radio
frequency.
Verfahren
nach
einem
oder
mehreren
der
Ansprüche
1
bis
4,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Plasmaabscheidung
mittels
Radiofrequenz
erfolgt.
EuroPat v2