Translation of "Plasma zünden" in English
Das
Plasma
zu
zünden
war
ein
schlauer
Trick.
That
was
a
clever
trick,
igniting
the
plasma.
OpenSubtitles v2018
Der
Druck
in
der
Vakuumkammer
wird
so
niedrig
eingestellt,
daß
kein
Plasma
zünden
kann.
The
pressure
in
the
vacuum
chamber
is
set
so
low
that
no
plasma
can
ignite.
EuroPat v2
Andererseits
muss
der
Druck
hoch
genug
sein,
um
überhaupt
ein
stabiles
Plasma
zünden
zu
können.
On
the
other
hand,
the
pressure
must
be
high
enough
to
be
able
to
ignite
a
stable
plasma.
EuroPat v2
Vorzugsweise
wird
das
Plasma
mittels
eines
elektrischen
Wechselfeldes
mit
einer
Frequenz
von
weniger
als
12
MHz
aber
mit
einer
ausreichend
hohen
Frequenz
um
in
der
verwendeten
Gasatmosphäre,
welch
das
kontrahierende
Rohr
umgibt,
ein
Plasma
zünden
und
beibehalten
zu
können,
induktiv
erzeugt.
The
plasma
is
preferably
generated
inductively
by
an
alternating
electric
field
having
a
frequency
less
than
12
MHz
but
of
a
sufficiently
high
frequency
to
be
able
to
ignite
and
maintain
a
plasma
in
the
gas
atmosphere
which
surrounds
the
preform
tube
to
be
collapsed.
EuroPat v2
Verfahren
zum
Zünden
von
CVD-Plasmen
in
einer
Reaktionskammer
zur
Beschichtung
von
Substraten,
bei
dem
Reaktionsgas
durch
die
Reaktionskammer
geleitet
wird,
in
der
das
Plasma
nach
dem
Zünden
mittels
Mikrowellenimpulsen
angeregt
und
für
eine
vorgegebene
Zeitspanne
aufrechterhalten
wird,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
das
Plasma
gasausgangsseitig
der
Reaktionskammer
mittels
einer
zumindest
kurzzeitig
angelegten
Hochspannung
gezündet
wird.
A
process
for
the
ignition
of
CVD
plasmas
in
a
reaction
chamber
having
gas
inlet
and
gas
outlet
sides
for
the
cladding
of
substrates
wherein
reaction
gas
is
passed
through
the
reaction
chamber,
the
plasma
being
stimulated
therein,
after
ignition,
by
means
of
microwave
pulses
being
maintained
for
a
predetermined
time
span,
wherein
the
plasma
is
ignited
on
the
gas
outlet
side
of
the
reaction
chamber
by
means
of
a
high
voltage
pulse.
EuroPat v2
Verfahren
zum
Zünden
von
CVD-Plasmen
in
einer
Reaktionskammer
zur
Beschichtung
von
Substraten,
bei
dem
ein
Reaktionsgas
durch
die
Reaktionskammer
geleitet
wird,
in
der
das
Plasma
nach
dem
Zünden
mittels
Mikrowellenimpulsen
angeregt
und
für
eine
vorgegebene
Zeitspanne
aufrechterhalten
wird,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
die
Mikrowellenimpulse
während
der
Dauer
jedes
Mikrowellenimpulses
periodisch
kurzzeitig
überhöht
werden.
A
process
for
the
ignition
of
CVD
plasmas
in
a
reaction
chamber
for
the
cladding
of
substrates
wherein
a
reaction
gas
is
passed
through
the
reaction
chamber,
the
plasma
being
stimulated
therein,
after
ignition,
by
means
of
microwave
pulses
being
maintained
for
a
predetermined
time
span,
wherein
the
microwave
pulses
are
periodically
excessively
increased
during
the
duration
of
each
microwave
pulse.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
ein
Verfahren
zum
Zünden
von
CVD-Plasmen
in
einer
Reaktionskammer
zur
Beschichtung
von
Substraten,
bei
dem
ein
Reaktionsgas
durch
die
Reaktionskammer
geleitet
wird,
in
der
das
Plasma
nach
dem
Zünden
mittels
Mikrowellenimpulsen
angeregt
und
für
eine
vorgegebene
Zeitspanne
aufrechterhalten
wird.
The
invention
relates
to
a
process
for
the
ignition
of
CVD
plasmas
in
a
reaction
chamber
for
the
cladding
of
substrates
wherein
a
reaction
gas
is
passed
through
the
reaction
chamber
wherein
the
plasma,
after
ignition,
is
stimulated
by
means
of
microwave
pulses
and
is
maintained
for
a
predetermined
time
span.
EuroPat v2
Der
Mikrowellenimpuls
kann
aber
auch
zeitverzögert
zum
Hochspannungsimpuls
angelegt
werden,
wobei
dann
allerdings
darauf
zu
achten
ist,
daß
die
Zeitverzögerung
t
noch
innerhalb
einer
Zeitspanne
liegt,
innerhalb
derer
das
Plasma
nach
dem
Zünden
nicht
verlöscht.
However,
the
microwave
pulse
can
also
be
applied
with
a
time
delay
with
respect
to
the
high-voltage
pulse,
although
in
this
case
care
must
be
taken
that
the
time
delay
t
is
still
within
a
time
span
within
which
the
plasma
will
not
be
extinguished
after
ignition.
EuroPat v2
Um
jedoch
eim
Plasma
zünden
zu
können,
müssen
die
Elektronen
in
einer
Umlaufbahn
an
der
Targetoberfläche
gehalten
bzw.
fokussiert
werden.
However,
to
be
able
to
ignite
a
plasma
the
electrons
must
be
held
and
focused
in
a
circulating
path
on
the
target
surface.
EuroPat v2
Wichtig
ist,
daß
die
Leistungsflächendichte
der
eingestrahlten
Mikrowelle
nicht
ausreicht,
um
an
den
Fenstern
ein
Plasma
zu
zünden.
It
is
important
that
the
surface
power
density
of
the
irradiated
microwaves
do
not
suffice
to
ignite
a
plasma
at
the
windows.
EuroPat v2
Bei
den
Systemen
nach
dem
Stand
der
Technik
entsteht
jedoch
zwischen
dem
Substrat
(5)
und
dem
oberen
Dielektrikum
(1)
zwangsläufig
ein
Spalt
(6),
in
dem
unter
ungünstigen
Bedingungen
das
Plasma
zünden
und
das
Dielektrikum
(1)
zerstören
kann.
However,
in
the
state-of-the-art
systems,
a
gap
(6)
inevitably
forms
between
the
substrate
(5)
and
the
upper
dielectric
layer
(1)
and,
under
unfavorable
conditions,
the
plasma
may
ignite
in
the
said
gap
and
destroy
the
dielectric
layer
(1).
EuroPat v2
Alternativ
oder
ergänzend
hierzu
ist
es
auch
möglich,
bereits
in
der
Vorkammer
ein
Plasma
zu
zünden,
welches
zur
Härtung
der
Beschichtung
geeignete
Strahlung
emittiert,
um
somit
bereits
einen
ersten
Härtungsvorgang
der
Beschichtung
zu
bewirken.
Alternatively
or
in
addition
to
this,
it
is
also
possible
to
ignite
a
plasma
in
the
antechamber,
which
emits
radiation
suitable
for
curing
the
coating
to
thus
already
effect
a
first
curing
process
of
the
coating.
EuroPat v2
Darüberhinaus
ist
es
in
einem
solchen
Ätzreaktor
möglich
bei
niedrigen
Gasdrücken
unter
Verwendung
von
ausschließlich
Cl
2,
Br
2
oder
einem
Cl
2
/Br
2
-Gemisch
ein
stabiles
Plasma
zu
zünden.
Over
and
above
this,
it
is
possible
to
ignite
a
stable
plasma
in
such
an
etching
reactor
at
low
gas
pressures
using
only
Cl2,
Br2
or
a
Cl2
/Br2
mixture.
EuroPat v2
Mittels
der
Einkopplungseinrichtung
132
kann
ferner
Mikrowellenstrahlung
vom
Magnetron
140
in
die
Einschleuskammer
160
eingekoppelt
werden,
um
die
Beschichtung
100
direkt
durch
Mikrowellenstrahlung
zu
trocknen
oder,
falls
gewünscht,
bereits
in
der
Einschleuskammer
160
ein
Plasma
zu
zünden,
welche
sichtbare
Strahlung
und
UV-Strahlung
in
die
Beschichtung
emittiert
und
somit
einen
ersten
Härtungsvorgang
der
Beschichtung
bewirkt.
In
addition,
microwave
radiation
from
the
magnetron
140
can
be
input
into
the
feed
chamber
160
by
means
of
the
input
device
132
in
order
to
dry
the
coating
100
directly
by
microwave
radiation,
or
if
desired,
to
ignite
a
plasma
in
the
feed
chamber
160,
which
emits
visible
radiation
and
uv
radiation
into
the
coating
and
thus
effects
a
first
curing
process
of
the
coating.
EuroPat v2
Experimente
haben
gezeigt,
daß
diese
Feldstärke
ausreicht,
um
im
Abgas
eines
Acetylenbrenners
ein
Plasma
zu
zünden
und
stabil
zu
betreiben
(Fig.
Experiments
have
proven
that
this
field
intensity
is
sufficient
in
order
to
ignite
a
plasma
in
the
exhaust
gas
of
an
acetylene
burner
and
to
operate
it
in
a
stable
manner
(FIG.
EuroPat v2
Außerdem
ist
eine
gepulst
betreibbare
Quelle
für
elektromagnetische
Energie
vorgesehen,
um
im
Reaktor
ein
gepulstes
Plasma
zu
zünden.
Moreover,
a
source
for
electromagnetic
energy
which
can
be
operated
in
a
pulsed
fashion
is
provided
in
order
to
ignite
a
pulsed
plasma
in
the
reactor.
EuroPat v2
Der
Leistungswandler
150
kann
mit
einem
PowerON-Signal
wieder
aktiviert
werden,
um
das
Plasma
wieder
zu
zünden,
aber
dieser
Vorgang
kann
langsam
sein.
The
power
converter
150
can
be
reactivated
with
a
PowerON
signal
to
reignite
the
plasma,
but
that
process
can
be
slow.
EuroPat v2
Dementsprechend
ist
unmittelbar
ersichtlich,
dass
die
erfindungsgemäße
Plasmazündvorrichtung
selbsttätig
und
ohne
zusätzliche
Schaltvorrichtungen
oder
Plasmadetektoren
zwischen
den
Betriebszuständen
"Plasma
zünden"
und
"Plasma
aufrechterhalten"
wechselt,
so
dass
durch
einfaches
Einspeisen
des
Ausgangssignals
des
Hochfrequenz-Generators
20
an
die
elektrischen
Kontakte
16,
18
das
Plasma
gezündet
und
aufrechterhalten
wird,
so
lange
das
Ausgangssignal
des
Hochfrequenz-Generators
20
entsprechend
anliegt.
It
will
therefore
at
once
be
apparent
that
the
plasma
ignition
device
according
to
the
invention
changes
between
the
“ignite
plasma”
and
“maintain
plasma”
modes
of
operation
automatically
and
without
any
additional
switching
devices
or
plasma
detectors,
and
thus,
simply
by
feeding
the
output
signal
from
the
high-frequency
generator
20
to
the
electrical
contacts
16,
18,
the
plasma
is
ignited
and
maintained
for
as
long
as
the
output
signal
from
the
high-frequency
generator
20
is
applied
in
this
way.
EuroPat v2
Im
Bereich
des
Plasmagenerators
sind
dann
im
Innenraum
des
Werkzeugs,
der
durch
den
Wandbereich
61
definiert
ist,
die
nötigen
elektrischen
bzw.
elektronischen
Einrichtungen
und
Einbauten
vorhanden,
die
mit
63
symbolisiert
sind,
um
das
Plasma
zu
zünden
und
stabil
generieren
zu
können.
In
the
region
of
the
plasma
generator,
in
the
inner
space
of
the
tool,
which
is
defined
by
the
wall
region
61,
the
necessary
electrical
or
electronic
devices
and
installations
are
present,
which
are
symbolized
by
63,
for
igniting
and
stably
generating
the
plasma.
EuroPat v2
Dagegen
ist
die
Verwendung
von
Edelgasen
bei
Atmoshärendruckplasmen
gewöhnlich
zwingend
erforderlich,
um
das
Plasma
stabil
zünden
zu
können.
In
contrast,
in
atmospheric
pressure
plasmas
the
use
of
noble
gases
is
usually
mandatory
to
allow
for
stable
ignition
of
the
plasma.
EuroPat v2
Bei
einer
alternativen
Ausführungsform
ist
es
auch
denkbar,
die
Kanäle
30
in
den
Auswurfelementen
29
zur
Einbringung
von
Mikrowellen
zu
nutzen
und
so
das
Plasma
zu
zünden.
In
an
alternative
embodiment,
it
is
also
conceivable
for
the
passages
30
in
the
ejector
elements
29
to
be
used
to
introduce
microwaves
in
order
for
the
plasma
to
be
ignited
in
this
way.
EuroPat v2
Bekannte
Überspannungsschutzeinrichtungen
weisen
daher
häufig
mehrere
Kammern
auf,
in
die
das
heiße
Plasma
nach
dem
Zünden
ausweichen
kann
oder
aktiv
durch
Beblasen
getrieben
wird.
Therefore,
known
overvoltage
protection
means
often
have
several
chambers
into
which
the
hot
plasma
can
escape
after
ignition
or
it
is
actively
driven
by
blowing.
EuroPat v2
An
die
Evakuierung
schließt
sich
der
erste
Beschichtungsprozess
an,
welcher
die
Prozessphasen
-
"Zuführen
Prozessgas
Haftvermittler
(D)"-
und
-"
Zünden
Plasma
Haftvermittler
(E)"-
umfasst.
The
evacuation
is
followed
by
the
first
coating
process,
which
comprises
the
process
phases—“supplying
of
process
gas
for
bonding
agent
(D)”—and—“ignition
of
plasma
for
bonding
agent
(E)”.
EuroPat v2
Um
eine
Zerlegung
der
Reaktionsgase
zu
fördern,
schlägt
die
US
4,539,068
vor,
zwischen
dem
Gaseinlassorgan
und
dem
Substrathalter
ein
Plasma
zu
zünden.
To
promote
decomposition
of
the
reaction
gases,
U.S.
Pat.
No.
4,539,068
proposes
that
a
plasma
be
ignited
between
the
gas
inlet
member
and
the
substrate
holder.
EuroPat v2
Für
eine
Innenbeschichtung
wird
die
zweite
Druckkammer
6
auf
einem
Druck
gehalten,
bei
dem
ein
Plasma
leicht
zünden
kann
(gewöhnlich
<1mbar),
während
in
der
Druckkammer
5
ein
höherer
oder
niedriger
Druck
herrscht,
bei
dem
das
Plasma
nicht
zünden
kann.
For
coating
inner
surfaces,
the
second
pressure
chamber
6
is
maintained
at
a
pressure
at
which
a
plasma
can
easily
ignite
(normally
<1
mbar),
whereas
a
higher
or
a
lower
pressure,
at
which
the
plasma
cannot
ignite,
prevails
in
pressure
chamber
5
.
EuroPat v2